公开(公告)号：KR1020160121206A

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：KR1020150050912

申请日：2015-04-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 고강웅 ,  전형조 ,  호리에마사히로 ,  송길우

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G03F7/70633 ,  G01B11/14 ,  G01B11/27 ,  H01L22/12 ,  H01L23/544

Abstract: 오버레이에러의검출방법이제공된다. 오버레이에러의검출방법은, 제1 레이어에제1 오버레이키를형성하고, 상기제1 오버레이키는제1 피치를갖는복수의제1 타겟패턴을포함하고, 상기제1 레이어에대해수직으로배치된제2 레이어에제2 오버레이키를형성하고, 상기제2 오버레이키는상기제1 피치와다른제2 피치를갖는복수의제2 타겟패턴을포함하고, 상기제1 레이어및 상기제2 레이어에제1 파장을갖는입사광을조사하고, 상기제1 레이어및 상기제2 레이어로부터반사된반사광으로부터상기입사광에대한상기반사광의위상패턴을획득하고, 상기반사광의위상패턴을분석하여상기제1 레이어및 상기제2 레이어의오버레이에러를검출하는것을포함한다.

Abstract translation: 一种用于检测覆盖误差的方法包括：形成第一覆盖键，该第一覆盖键包括在衬底的第一层上具有第一间距的多个间隔开的第一目标图案; 形成第二覆盖键，其包括在所述第一层下方的所述基板的第二层上具有不同于所述第一间距的第二间距的多个间隔开的第二目标图案; 用具有第一波长的入射光照射第一层和第二层; 获得从第一层和第二层反射的光的相位图案; 计算反射光的相位图案的峰值点或谷点的位置; 以及使用相位图案的峰值点或谷点的位置来检测第一层和第二层的覆盖误差。

公开(公告)号：KR1020160066448A

公开(公告)日：2016-06-10

申请号：KR1020140170833

申请日：2014-12-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 고강웅 ,  류성윤 ,  손영훈 ,  송길우 ,  안태흥 ,  전형조 ,  한상경 ,  호리에마사히로 ,  고우석 ,  양유신 ,  이상길 ,  전병환

IPC: G01N21/956 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01J4/00 ,  G01J2004/001 ,  G01N21/21 ,  G01N21/211 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/213 ,  G01N2021/8848 ,  G01N21/95607

Abstract: 본발명의기술적사상에따른표면검사방법은, 제1 편광상태의입사광을단면적을가지는평행광선으로조정하여검사대상에조사하는단계; 및상기검사대상으로부터반사되는반사광의제2 편광상태를측정하는단계;를포함하고, 상기제1 편광상태와상기제2 편광상태의변화량을이용하여, 상기검사대상중 상기입사광이조사된전체면적에대한검사가이루질수 있다.

Abstract translation: 根据本发明的技术思想，一种检查表面的方法包括：通过将第一偏振态的入射光改变成具有横截面的平行光来照射测试对象的步骤; 以及测量从测试对象反射的光的第二偏振状态的步骤。 可以使用第一偏振态和第二偏振态之间的变化来检查在检查对象中发射入射光的整个区域的检查。 因此，能够提高检查速度。