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公开(公告)号：KR20210024299A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020190102478A
申请日：2019-08-21
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01J3/0208 , G01J3/18 , G02B26/08 , G02B5/20 , G01J2003/062 , G01J2003/1204
Abstract: 본 발명의 일 실시예는, 조사광을 방출하는 광원부; 상기 광원부에서 방출된 상기 조사광의 광경로에 나란한 제1 반사광으로 반사하는 제1 오목 거울; 상기 제1 반사광의 광경로 상에 회동가능하게 배치되는 터릿(turret); 상기 터릿 상에 배치되어 회전 구동되어 상기 제1 반사광을 파장별로 나누어 스펙트럼을 형성하는 복수의 회절 격자 패널; 상기 복수의 회절 격자 패널을 회전 구동하여 각각의 지향각을 미세 조정하는 복수의 제1 구동부; 상기 복수의 제1 구동부가 배치되는 터릿; 상기 터릿을 회전 구동하는 제2 구동부; 및 상기 스펙트럼을 반사하여 파장별로 집광하는 제2 오목 거울;을 포함하며, 상기 복수의 제1 구동부는 각각 상기 제2 구동부 보다 각가속도가 빠르며, 상기 제2 구동부는 상기 복수의 제1 구동부 보다 최대 회전속도가 빠른 단색화 장치를 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020160121206A
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：KR1020150050912
申请日：2015-04-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G03F7/70633 , G01B11/14 , G01B11/27 , H01L22/12 , H01L23/544
Abstract: 오버레이에러의검출방법이제공된다. 오버레이에러의검출방법은, 제1 레이어에제1 오버레이키를형성하고, 상기제1 오버레이키는제1 피치를갖는복수의제1 타겟패턴을포함하고, 상기제1 레이어에대해수직으로배치된제2 레이어에제2 오버레이키를형성하고, 상기제2 오버레이키는상기제1 피치와다른제2 피치를갖는복수의제2 타겟패턴을포함하고, 상기제1 레이어및 상기제2 레이어에제1 파장을갖는입사광을조사하고, 상기제1 레이어및 상기제2 레이어로부터반사된반사광으로부터상기입사광에대한상기반사광의위상패턴을획득하고, 상기반사광의위상패턴을분석하여상기제1 레이어및 상기제2 레이어의오버레이에러를검출하는것을포함한다.
Abstract translation: 一种用于检测覆盖误差的方法包括：形成第一覆盖键，该第一覆盖键包括在衬底的第一层上具有第一间距的多个间隔开的第一目标图案; 形成第二覆盖键，其包括在所述第一层下方的所述基板的第二层上具有不同于所述第一间距的第二间距的多个间隔开的第二目标图案; 用具有第一波长的入射光照射第一层和第二层; 获得从第一层和第二层反射的光的相位图案; 计算反射光的相位图案的峰值点或谷点的位置; 以及使用相位图案的峰值点或谷点的位置来检测第一层和第二层的覆盖误差。
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公开(公告)号：KR1020120051119A
公开(公告)日：2012-05-22
申请号：KR1020100112378
申请日：2010-11-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/165
CPC classification number: B41J2/16585 , B41J2/16526 , B41J2/16538 , B41J2/16552 , B41J2/16517
Abstract: PURPOSE: An inkjet head cleaning device and a method thereof are provided to form a uniform ink film between a bottom plane of an inkjet head and a top plane through purging by placing a cleaning blade in the bottom plane of the inkjet head. CONSTITUTION: An inkjet head cleaning device comprises a cleaning blade(300) and a driving unit(500). The cleaning blade is installed by being spaced at a predetermined interval to form a residual ink(10) film between a bottom plane(150) of an inkjet head(100) and the cleaning blade. The driving unit transfers the cleaning blade to a direction parallel to the bottom plane of the inkjet head. The top plane of the cleaning blade is flatly formed while being parallel to the bottom plane of the inkjet head so that an link film is formed between the top plane of the cleaning blade and the bottom plane of the inkjet head. A thin groove(350) having a predetermined width in a longitudinal direction of the cleaning blade is formed in the middle part of the top plane of the cleaning blade.
Abstract translation: 目的：提供一种喷墨头清洁装置及其方法，通过将清洁刮板放置在喷墨头的底面中，通过清洗在喷墨头的底面与顶面之间形成均匀的墨膜。 构成：喷墨头清洁装置包括清洁刮板（300）和驱动单元（500）。 清洁刮板通过以预定间隔间隔安装，以在喷墨头（100）的底面（150）和清洁刮板之间形成残留油墨（10）。 驱动单元将清洁刮板传送到与喷墨头的底平面平行的方向。 清洁刮板的顶面在平行于喷墨头的底面的同时平坦地形成，使得在清洁刮板的顶面和喷墨头的底面之间形成连接膜。 在清洁刮板的顶面的中间部分形成有在清洁刮板的长度方向上具有预定宽度的细槽（350）。
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公开(公告)号：KR1020120051118A
公开(公告)日：2012-05-22
申请号：KR1020100112377
申请日：2010-11-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/21 , B41J29/393 , H04N1/407
CPC classification number: B41J2/2114 , H04N1/4076 , B41J29/393
Abstract: PURPOSE: AN ink discharging device of an inkjet head and a control method thereof are provided to accurately measure amount of transparent ink spread and to reduce a session for DPN(Drive Per Nozzle) based on an accurate measurement. CONSTITUTION: AN ink discharging device(100) of an inkjet head(200) comprises a transparent inkjet head, a color inkjet head, a plurality of pixels(500), a color value measuring unit, and a control unit. The transparent inkjet head comprises a plurality of nozzles(240-1, 240-2,240-n) discharging transparent ink. The color inkjet head is perpendicularly mounted in the transparent inkjet head and comprises a plurality of nozzles discharging color ink. The plurality of pixels spread the color ink and transparent ink through the color inkjet head and transparent inkjet head. The color value measuring unit measures a color value of the ink spread on the plurality of pixels based on signals applied to the plurality of nozzles of the transparent inkjet head and the plurality of nozzles of the color inkjet head. The control unit changes the signals applied to the plurality of nozzles of the transparent inkjet head to make the measured color values of the ink spread on the plurality of pixels uniform.
Abstract translation: 目的：提供喷墨头的墨水排出装置及其控制方法，以精确地测量透明墨水的扩散量，并且基于准确的测量来减少DPN（每个喷嘴驱动）的会话。 构成：喷墨头（200）的喷墨装置（100）包括透明喷墨头，彩色喷墨头，多个像素（500），颜色值测量单元和控制单元。 透明喷墨头包括排放透明油墨的多个喷嘴（240-1,240-2,240-n）。 彩色喷墨头垂直地安装在透明喷墨头中，并且包括排出彩色墨水的多个喷嘴。 多个像素通过彩色喷墨头和透明喷墨头将彩色油墨和透明油墨分散。 颜色值测量单元基于施加到透明喷墨头的多个喷嘴和彩色喷墨头的多个喷嘴的信号来测量在多个像素上展开的油墨的颜色值。 控制单元改变施加到透明喷墨头的多个喷嘴的信号，使得在多个像素上扩散的油墨的测量颜色值均匀。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170083678A
公开(公告)日：2017-07-19
申请号：KR1020160002690
申请日：2016-01-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66 , G03F7/20 , H01L31/101
CPC classification number: H01L22/20 , G01N21/9501 , G01N21/95607 , G01N2021/8864 , G06F17/5081 , H01L22/12
Abstract: 본발명의실시예에따른기판검사방법은, 제 1 공정이완료된기판상에광을조사하는것, 상기기판으로부터출사된상기광의스펙트럼데이터를획득하는것, 상기스펙트럼데이터로부터상기기판의불량영역을검출하는것 및상기불량영역중 상기제 1 공정에의해발생된상기기판의제 1 불량영역을추출하는것을포함하되, 상기제 1 불량영역을추출하는것은, 상기제 1 공정이상기기판에대해영향을미치는유효영역을설정하는것 및상기불량영역중 상기유효영역과중첩되는중첩영역을추출하는것을포함하되, 상기중첩영역은상기제 1 불량영역으로정의된다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例的基板检查方法中，第一步是haneungeot整个衬底上照射光，haneungeot获得所述从基底发射的光的光谱数据，从haneungeot的光谱数据来检测所述基板的缺陷区 并且从所述缺陷区域中提取由所述第一处理生成的所述衬底的第一缺陷区域，其中提取所述第一缺陷区域包括： 并且提取与缺陷区域中的有效区域重叠的重叠区域，其中重叠区域被定义为第一缺陷区域。
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公开(公告)号：KR1020150031827A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：KR1020130111516
申请日：2013-09-17
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01N21/211 , G01N2021/213 , G01N2021/214
Abstract: The present invention relates to an ellipsometer for detecting a surface to prevent the loss of a measurement area due to a change in an azimuth angle and improve the processing speed of data as a measured value can be changed in accordance with a measured azimuth angle when measuring physical properties of a measurement object. According to an embodiment of the present invention, the ellipsometer for detecting a surface comprises a light source irradiating light to a substrate; a polarizing unit polarizing the light irradiated from the light source and breaking down the polarized light; a detector measuring an amount of the polarized light passing through a polarization analyzer; and a driving unit rotating the detector to allow the detector to be rotated as much as the azimuth angle as the substrate is rotated in the direction of the azimuth angle. In addition, the present invention may include a control unit controlling the rotation drive of the driving unit to allow the detector to be rotated as much as the azimuth by calculating a rotating azimuth angle of the substrate.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测表面以防止由于方位角的变化导致的测量区域的损失的椭圆偏振仪，并且当测量时可以根据测量的方位角改变作为测量值的数据的处理速度 测量物体的物理性质。 根据本发明的实施例，用于检测表面的椭偏仪包括将光照射到衬底的光源; 偏振单元，偏振从光源照射的光并分解偏振光; 测量通过偏振分析器的偏振光的量的检测器; 以及驱动单元，其使所述检测器旋转，以使得所述检测器在所述基板沿所述方位角的方向旋转时旋转所述方位角。 此外，本发明可以包括控制单元，该控制单元通过计算基板的旋转方位角来控制驱动单元的旋转驱动以允许检测器旋转多达方位角。
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公开(公告)号：KR101692270B1
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：KR1020100112378
申请日：2010-11-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/165
CPC classification number: B41J2/16585 , B41J2/16526 , B41J2/16538 , B41J2/16552
Abstract: 본발명은접촉방식이아닌비접촉방식으로잉크젯헤드밑면의잉크를제거하여접촉에의한잉크젯헤드의손상을일으키지않도록하고, 소모성자재를사용함으로써발생하는주기적인교체의필요성, 장기간사용시성능하락등의문제점들이발생하지않도록하여잉크젯기술을통해생산되는제품의생산성또는품질을향상시킬수 있는잉크젯헤드크리닝장치및 방법을제공한다. 이를위해, 잉크젯헤드의밑면과의사이에잉크막이형성되도록소정의거리를두고설치되는크리닝블레이드, 잉크젯헤드의밑면과평행한방향으로크리닝블레이드를이동시키는구동부를포함하고, 크리닝블레이드는그 상면과잉크젯헤드의밑면사이에잉크막이형성되도록크리닝블레이드의상면은잉크젯헤드의밑면과평행하면서평평하고크리닝블레이드의상면가운데에길이방향으로소정의폭을가지는가는홈이파여있는것을특징으로한다. 이를통해, 비접촉방식으로잉크젯헤드를크리닝하므로크리닝블레이드를반영구적으로사용할수 있고, 잉크젯헤드를손상시키지않고, 크리닝후 잉크젯헤드에잔존잉크가없도록하고, 반영구적크리닝장치이므로생산단가를낮추고생산시간을단축시킬수 있다.
Abstract translation: 根据示例性实施例，一种在非接触式清洗操作之后从喷墨头去除墨残留物的喷墨头清洁装置包括清洁刮板和驱动单元。 清洁刮板与喷墨头的底部距离一定距离。 驱动单元构造成沿着平行于喷墨头底部的方向移动清洁刮板。 清洁刮板包括与喷墨头底部平行的平坦的上表面，并且在清洁刮板的平坦的上表面和喷墨头底部之间产生墨膜。 清洁刮板还包括在清洁刮板的上表面中纵向延伸的细长槽。
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公开(公告)号：KR101637953B1
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：KR1020090114149
申请日：2009-11-24
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B41J2/2128 , B41J2202/12
Abstract: 잉크젯헤드에서토출되는잉크액적(droplet)의양을균일하게하기위한잉크토출장치및 그제어방법을개시한다. 잉크젯헤드의복수의노즐별로각각의특성이다름을인식하고, 상이한특성을가진복수의노즐에서토출되는잉크액적의양을균일하게하기위해복수의노즐각각에인가되는전압을변경한다. 복수의노즐전체의색 값산포를맞추기위해서는고정된목표색 값을이용하여인가전압의증분을계산하고, 인접픽셀과의색 값의차이를만족시키기위해서는노즐별로서로다른목표색 값을이용하여인가전압의증분을계산함으로써 DPN(Driver per Nozzle) 공정의시간을단축하고, 과도한인가전압의변화를방지하여 LCD 패널양산을위해필요한준비시간을단축할수 있을뿐만아니라생산수율도올라갈수 있게된다.
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公开(公告)号：KR1020160066448A
公开(公告)日：2016-06-10
申请号：KR1020140170833
申请日：2014-12-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N21/956 , H01L21/66
CPC classification number: G01N21/8806 , G01J4/00 , G01J2004/001 , G01N21/21 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/213 , G01N2021/8848 , G01N21/95607
Abstract: 본발명의기술적사상에따른표면검사방법은, 제1 편광상태의입사광을단면적을가지는평행광선으로조정하여검사대상에조사하는단계; 및상기검사대상으로부터반사되는반사광의제2 편광상태를측정하는단계;를포함하고, 상기제1 편광상태와상기제2 편광상태의변화량을이용하여, 상기검사대상중 상기입사광이조사된전체면적에대한검사가이루질수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的技术思想，一种检查表面的方法包括：通过将第一偏振态的入射光改变成具有横截面的平行光来照射测试对象的步骤; 以及测量从测试对象反射的光的第二偏振状态的步骤。 可以使用第一偏振态和第二偏振态之间的变化来检查在检查对象中发射入射光的整个区域的检查。 因此，能够提高检查速度。
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