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公开(公告)号：WO2021167210A1
公开(公告)日：2021-08-26
申请号：PCT/KR2020/016640
申请日：2020-11-24
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 서버가 개시된다. 본 서버는 페이크 영상을 식별하도록 학습된 인공지능 모델이 저장된 메모리 및 메모리와 연결되어, 서버를 제어하는 프로세서를 포함하며, 프로세서는 영상을 인공지능 모델에 입력하여 영상이 페이크 영상인지를 식별하며, 인공지능 모델은 각각 얼굴 영역의 랜드마크에 대한 정보를 포함하는 원본 영상들 및 페이크 영상들에 기초하여 학습된 모델이다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160121206A
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：KR1020150050912
申请日：2015-04-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G03F7/70633 , G01B11/14 , G01B11/27 , H01L22/12 , H01L23/544
Abstract: 오버레이에러의검출방법이제공된다. 오버레이에러의검출방법은, 제1 레이어에제1 오버레이키를형성하고, 상기제1 오버레이키는제1 피치를갖는복수의제1 타겟패턴을포함하고, 상기제1 레이어에대해수직으로배치된제2 레이어에제2 오버레이키를형성하고, 상기제2 오버레이키는상기제1 피치와다른제2 피치를갖는복수의제2 타겟패턴을포함하고, 상기제1 레이어및 상기제2 레이어에제1 파장을갖는입사광을조사하고, 상기제1 레이어및 상기제2 레이어로부터반사된반사광으로부터상기입사광에대한상기반사광의위상패턴을획득하고, 상기반사광의위상패턴을분석하여상기제1 레이어및 상기제2 레이어의오버레이에러를검출하는것을포함한다.
Abstract translation: 一种用于检测覆盖误差的方法包括：形成第一覆盖键，该第一覆盖键包括在衬底的第一层上具有第一间距的多个间隔开的第一目标图案; 形成第二覆盖键，其包括在所述第一层下方的所述基板的第二层上具有不同于所述第一间距的第二间距的多个间隔开的第二目标图案; 用具有第一波长的入射光照射第一层和第二层; 获得从第一层和第二层反射的光的相位图案; 计算反射光的相位图案的峰值点或谷点的位置; 以及使用相位图案的峰值点或谷点的位置来检测第一层和第二层的覆盖误差。
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公开(公告)号：KR1020160066448A
公开(公告)日：2016-06-10
申请号：KR1020140170833
申请日：2014-12-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N21/956 , H01L21/66
CPC classification number: G01N21/8806 , G01J4/00 , G01J2004/001 , G01N21/21 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/213 , G01N2021/8848 , G01N21/95607
Abstract: 본발명의기술적사상에따른표면검사방법은, 제1 편광상태의입사광을단면적을가지는평행광선으로조정하여검사대상에조사하는단계; 및상기검사대상으로부터반사되는반사광의제2 편광상태를측정하는단계;를포함하고, 상기제1 편광상태와상기제2 편광상태의변화량을이용하여, 상기검사대상중 상기입사광이조사된전체면적에대한검사가이루질수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的技术思想，一种检查表面的方法包括：通过将第一偏振态的入射光改变成具有横截面的平行光来照射测试对象的步骤; 以及测量从测试对象反射的光的第二偏振状态的步骤。 可以使用第一偏振态和第二偏振态之间的变化来检查在检查对象中发射入射光的整个区域的检查。 因此，能够提高检查速度。
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公开(公告)号：KR1020170083678A
公开(公告)日：2017-07-19
申请号：KR1020160002690
申请日：2016-01-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66 , G03F7/20 , H01L31/101
CPC classification number: H01L22/20 , G01N21/9501 , G01N21/95607 , G01N2021/8864 , G06F17/5081 , H01L22/12
Abstract: 본발명의실시예에따른기판검사방법은, 제 1 공정이완료된기판상에광을조사하는것, 상기기판으로부터출사된상기광의스펙트럼데이터를획득하는것, 상기스펙트럼데이터로부터상기기판의불량영역을검출하는것 및상기불량영역중 상기제 1 공정에의해발생된상기기판의제 1 불량영역을추출하는것을포함하되, 상기제 1 불량영역을추출하는것은, 상기제 1 공정이상기기판에대해영향을미치는유효영역을설정하는것 및상기불량영역중 상기유효영역과중첩되는중첩영역을추출하는것을포함하되, 상기중첩영역은상기제 1 불량영역으로정의된다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例的基板检查方法中，第一步是haneungeot整个衬底上照射光，haneungeot获得所述从基底发射的光的光谱数据，从haneungeot的光谱数据来检测所述基板的缺陷区 并且从所述缺陷区域中提取由所述第一处理生成的所述衬底的第一缺陷区域，其中提取所述第一缺陷区域包括： 并且提取与缺陷区域中的有效区域重叠的重叠区域，其中重叠区域被定义为第一缺陷区域。
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公开(公告)号：KR1020150031827A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：KR1020130111516
申请日：2013-09-17
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01N21/211 , G01N2021/213 , G01N2021/214
Abstract: The present invention relates to an ellipsometer for detecting a surface to prevent the loss of a measurement area due to a change in an azimuth angle and improve the processing speed of data as a measured value can be changed in accordance with a measured azimuth angle when measuring physical properties of a measurement object. According to an embodiment of the present invention, the ellipsometer for detecting a surface comprises a light source irradiating light to a substrate; a polarizing unit polarizing the light irradiated from the light source and breaking down the polarized light; a detector measuring an amount of the polarized light passing through a polarization analyzer; and a driving unit rotating the detector to allow the detector to be rotated as much as the azimuth angle as the substrate is rotated in the direction of the azimuth angle. In addition, the present invention may include a control unit controlling the rotation drive of the driving unit to allow the detector to be rotated as much as the azimuth by calculating a rotating azimuth angle of the substrate.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测表面以防止由于方位角的变化导致的测量区域的损失的椭圆偏振仪，并且当测量时可以根据测量的方位角改变作为测量值的数据的处理速度 测量物体的物理性质。 根据本发明的实施例，用于检测表面的椭偏仪包括将光照射到衬底的光源; 偏振单元，偏振从光源照射的光并分解偏振光; 测量通过偏振分析器的偏振光的量的检测器; 以及驱动单元，其使所述检测器旋转，以使得所述检测器在所述基板沿所述方位角的方向旋转时旋转所述方位角。 此外，本发明可以包括控制单元，该控制单元通过计算基板的旋转方位角来控制驱动单元的旋转驱动以允许检测器旋转多达方位角。
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