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公开(公告)号：KR101425796B1
公开(公告)日：2014-08-04
申请号：KR1020070101118
申请日：2007-10-08
Applicant: 삼성전자주식회사 , 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01P3/08
CPC classification number: H01P11/001 , H01P3/003 , H01P3/081 , Y10T29/49016
Abstract: 본 발명은 다층 금속 구조체의 전송선로 및 이의 형성 방법에 관한 것으로, 기판상에 다수의 금속층을 적층하되, 각 금속층간에 절연층이 삽입되는 다층 금속 구조체의 전송선로에 있어서, 신호선과 접지선 사이의 전류 분포를 넓은 면적에 분산하여 도전체 손실을 최소화할 수 있도록 한 것이다.
다층 금속 구조, 전송선로, 신호선, 접지선, 손실-
公开(公告)号：KR1020090036030A
公开(公告)日：2009-04-13
申请号：KR1020070101118
申请日：2007-10-08
Applicant: 삼성전자주식회사 , 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01P3/08
CPC classification number: H01P11/001 , H01P3/003 , H01P3/081 , Y10T29/49016
Abstract: A multi-metal waveguide and manufacturing method thereof is provided to minimize loss by increasing a current distribution area through insertion of an insulating layer between metal layers. A plurality of metal layers is laminated on a substrate while a power transmission line which is composed of a plurality of metal including a signal line(200). The signal line comprises a first signal part(210) and a second signal part(220). The first signal part is formed in at least one of metal layers and is formed with separated with a ground line. The second signal part has the width wider than that of the first signal part while being separated with the ground line by a different height. The transmission line of the multi-metal includes a metal connection unit(300).
Abstract translation: 提供多金属波导及其制造方法，以通过在金属层之间插入绝缘层来增加电流分布面积来最小化损耗。 多个金属层层叠在基板上，而由包括信号线（200）的多个金属构成的输电线路。 信号线包括第一信号部分（210）和第二信号部分（220）。 第一信号部分形成在金属层中的至少一个中，并且被形成为用接地线分开。 第二信号部分的宽度比第一信号部分的宽度宽，同时用接地线分开不同的高度。 多金属的传输线包括金属连接单元（300）。
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公开(公告)号：KR100718883B1
公开(公告)日：2007-05-17
申请号：KR1020000047534
申请日：2000-08-17
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01Q3/26
CPC classification number: H01Q3/26 , H01Q3/08 , H01Q3/44 , Y10T29/49016
Abstract: 본 발명은 전기적 위상 제어와 기계적인 마이크로스트립 패치 안테나의 움직임을 동시에 이용하여 안테나의 효율을 향상시키는 안테나 시스템을 구축하기 위한 기본 요소 안테나에 대한 것이다. 전기적인 위상 제어만을 사용한 어레이 안테나 시스템은 빔의 방향을 원하는 방향으로 제어할 수 있지만 그 방향이 안테나에 수직한 방향으로부터 벗어나는 경우 안테나의 효율이 낮아지는 단점이 있다. 전기적인 위상 제어와 동시에 각 요소 안테나를 보내고자 하는 빔의 방향으로 기계적으로 움직이면 보다 효율이 높은 어레이 안테나 시스템을 구축할 수 있다. 마이크로스트립 패치 안테나를 사용하는 경우 패치만을 기계적으로 움직이는 경우는 임피던스의 변화가 심하므로 피드 구조로부터 적정한 수준의 임피던스 정합을 이루기가 어렵다. 따라서 마이크로스트립 안테나의 유전체도 같이 움직이는 구조를 사용하여야 한다. 이와 같은 구조를 구현하기 위해 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 기술로 2 자유도를 가지고 움직일 수 있는 폴리머 플랫폼을 제작하고 이를 구동하여 안테나로 사용한다. 기판으로부터 분리되어 기계적인 움직임이 가능한 유전체 플랫폼 위에 안테나 요소들을 배치하여, 플랫폼 자체를 움직임으로써 안테나 요소들을 움직이게 되며 이 경우 안테나에 수직한 축을 기준으로 임의의 방향으로 안테나를 제어할 수 있다. 이와 같은 구조는 안테나 피드로서 마이크로스트립 라인 피드 구조가 적합하다. 마이크로스트립 라인 및 패치는 폴리머 몰드를 이용한 전해 도금 기술을 이용하여 간편하게 제작되며, 유전체 플랫폼에 폴리머 재료를 사용함으로서 큰 각도의 기계적인 움직임을 용이하게 하고 MEMS 기술과의 호환성을 가진다. 제작된 안테나는 큰 각도의 움직임을 필요로 하므로 패치의 뒷부분에 니켈과 같은 자성 재료를 전해 도금하고 구조물에 자기장을 인가하여 회전력을 발생시키는 자력 구동(magnetic drive) 방식을 사용한다. 이와 같은 구조는 MEMS 기술을 사용하여 제작되므로 매우 작은 크기의 안테나 시스템을 구성할 수 있으며, 동작 주파수가 수 kHz에 이르는 정도의 빠른 기계적인 움직임이 가능하게 된다. 또한 일괄 공정을 통해 안테나 어레이의 구현이 가능하므로 대량 생산이 용이하다.
안테나, 전기적 위상제어, 기계적 빔 스티어링, 마이크로스트립 패치, 임피던스 정합, 폴리머 유전체, 2 자유도 액추에이터, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)-
公开(公告)号：KR100644131B1
公开(公告)日：2006-11-10
申请号：KR1020050106661
申请日：2005-11-08
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: A61B5/00
Abstract: An apparatus for detecting and treating cancer is provided to accurately detect the cancer and to treat an affected part by using a super high frequency. A second conductor plate is opposite to a first conductor plate and includes a first opening(321). A first signal line is formed between the first conductor plate and the second conductor plate. One end of a first contact member(323) is exposed through the first opening. The other end of the first contact member is connected with the first signal line. A dielectric part is used for filling a gap between the first and second conductor plates and the first signal line. A conductive layer is used for covering both of exposed sides and a front end side of the dielectric part.
Abstract translation: 提供了一种用于检测和治疗癌症的装置，以准确检测癌症并通过使用超高频治疗患部。 第二导体板与第一导体板相对并且包括第一开口（321）。 第一信号线形成在第一导体板和第二导体板之间。 第一接触构件（323）的一端通过第一开口暴露。 第一接触构件的另一端与第一信号线连接。 电介质部分用于填充第一导体板和第二导体板与第一信号线之间的间隙。 导电层被用于覆盖电介质部分的暴露侧和前端侧。
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公开(公告)号：KR100596601B1
公开(公告)日：2006-07-03
申请号：KR1020040028344
申请日：2004-04-23
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: B81B7/02
Abstract: 본 발명은 MEMS를 이용한 평면 구조의 프로브에 관한 것으로서, 본 발명의 프로브는 기판, 기판 위에 형성되어 있는 제1 도전 패턴, 제1 도전 패턴 및 기판 위에 형성되어 있는 절연막, 절연막 위에 형성되어 있으며, 절연막의 내부에 형성되어 있는 연결 부재를 통해 제1 도전 패턴과 연결되는 제2 도전 패턴을 포함하고, 제1 도전 패턴은 전송선, 전송선의 좌측 또는 우측에 형성되어 있는 접지선을 포함하며, 전송선은 연결 부재를 통해 제2 도전 패턴과 연결되는 것이 바람직하다. 따라서, MEMS 및 마이크로머시닝 기법을 이용하여 저가의 비용으로 대량생산가능한 직경 1 mm 이하의 평면 구조의 프로브를 제조함으로써 종래의 개방형 동축 프로브의 소형화에 따른 가격 상승에 대한 문제점을 해결할 수 있다.
MEMS, 마이크로머시닝, 코플래나 웨이브가이드, 프로브, 평면구조, 동축개구면, IC integration-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020080009459A
公开(公告)日：2008-01-29
申请号：KR1020060069067
申请日：2006-07-24
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
Abstract: A planar applicator radiator using resonance is provided to transmit necessary energy to the concerned tissue with a small amount of power, and to minimize the damage of a normal tissue by forming it in a planar shape. A planar applicator radiator using resonance transmits energy to a tumor tissue by using high frequency signal. The planar applicator radiator using resonance comprises at least one aperture that is disposed to generate resonance when the high frequency signal passes, and has a planar shape. The high frequency signal is a microwave or millimeter wave signal. The planar applicator radiator using resonance is embodied in a PCB(printed circuit board). The aperture has a slot shape, and the gap between the slots is 1/2 of the wave length of high frequency signal.
Abstract translation: 提供使用谐振的平面施加器辐射器，以少量的功率将必要的能量传递到相关组织，并且通过将其形成为平面形状来最小化正常组织的损伤。 使用共振的平面施加器辐射器通过使用高频信号将能量传递到肿瘤组织。 使用谐振的平面施用器辐射器包括至少一个孔，其设置成当高频信号通过时产生谐振，并且具有平面形状。 高频信号是微波或毫米波信号。 使用共振的平面施加器散热器体现在PCB（印刷电路板）中。 该孔具有槽形，槽之间的间隙为高频信号的波长的1/2。
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公开(公告)号：KR100550929B1
公开(公告)日：2006-02-13
申请号：KR1020030067868
申请日：2003-09-30
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01H59/00
Abstract: 본 발명은 마이크로 기계구조를 이용한 코플래너 웨이브가이드 가변 인덕터에 관한 것으로서, 이 시스템은 마이크로 기계구조로 제작된 접촉식 스위치와 코플래너 웨이브가이드 및 코플래너 스트립라인으로 구성된다.
코플래너 웨이브가이드의 구조적 특징을 이용하여 같은 평면 위에서 코플래너 스트립라인을 코플래너 웨이브가이드의 그라운드 평면에 배치하여 소형화된 코플래너 직렬 인덕턴스를 얻을 수 있다. 이에 나아가 코플래너 스트립라인의 전기적 길이를 접촉식 스위치를 이용하여 바꿈으로써 가변 인덕터로 사용할 수 있다.
마이크로 기계구조의 접촉 스위치는 전기적 스위치에 비하여 손실면이나 사용 주파수 대역면, 그리고 전력 소모면에서 장점을 가지기 때문에 높은 Q값과 넓은 대역폭을 가지는 가변 인덕터를 제작할 수 있게 한다.
저손실, 큰 인덕턴스 가변량, 넓은 사용 주파수 대역폭 등의 장점을 가지는 본 발명의 가변 인덕터를 사용하여 마이크로파 대역에서 향상된 특성을 갖는 주파수 가변 필터를 제작할 수 있을 것이다.
가변 인덕터, 코플래너 웨이브가이드, 코플래너 스트립 라인, 마이크로 기계구조, 접촉식 스위치-
公开(公告)号：KR1020050031648A
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：KR1020030067868
申请日：2003-09-30
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01H59/00
Abstract: A switch using an MEMS(Micro Electro-Mechanical System) and a variable inductor using the switch are provided to simply design a bias circuit with small parasite components as well as low contact resistance, thereby fabricating a miniaturized variable inductor having a big operational frequency range with a high Q value. A support(17) is made of a conductive material on a substrate(14). Metal supporting substances(18) are formed on the support(17), bent in a spot rising up to a predetermined height from the substrate(14), and are formed in parallel with a surface of the substrate(14). Supporting beams promote structural stability by connecting both metal supporting substances(18). An insulated supporting substance(19) is attached to the metal supporting substances(18). A connection metal(20) is supported by being attached to the insulated supporting substance(19), and floats up into the air.
Abstract translation: 提供使用MEMS（微机电系统）和使用该开关的可变电感器的开关，以简单地设计具有较小寄生电子元件以及低接触电阻的偏置电路，从而制造具有大的工作频率范围的小型化可变电感器 具有高Q值。 支撑体（17）由衬底（14）上的导电材料制成。 金属支撑物质（18）形成在支撑体（17）上，从与基板（14）上升到预定高度的点弯曲，并且与基板（14）的表面平行地形成。 支撑梁通过连接金属支撑物质（18）来促进结构稳定性。 绝缘支撑物质（19）附着在金属支撑物质（18）上。 连接金属（20）通过附接到绝缘支撑物质（19）而被支撑，并浮起到空气中。
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公开(公告)号：KR1020020014318A
公开(公告)日：2002-02-25
申请号：KR1020000047533
申请日：2000-08-17
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01P3/123
Abstract: PURPOSE: An inverted overlay coplanar wave guide using micro-machining is provided to cover wide range of impedance required in semiconductor integrated circuit design, reduce power loss, improve yield and uniformity of devices, and reduce reflection loss and radiation loss. CONSTITUTION: An inverted overlay coplanar wave guide using micro-machining comprises a substrate(20), a center transmission line(22) of a Au stripe on the substrate(20), and ground transmission lines(21) of Au stripes at both sides of the center transmission line(22) and separated from the center transmission line(22). The side of each of the ground transmission lines(21) near the center transmission line(22) is lifted from the substrate(20) by a height H and has a part(O) overlapped with or separated from some part of the center transmission line(22). The Impedance of the inverted overlay coplanar wave guide is adjusted by an overlapped or separated width between the center transmission line(22) and the ground transmission line(21).
Abstract translation: 目的：提供使用微加工的倒置叠层共面波导，以覆盖半导体集成电路设计所需的宽范围阻抗，降低功耗，提高器件的产量和均匀性，并减少反射损耗和辐射损耗。 构成：使用微加工的反向覆盖共面波导包括基板（20），基板（20）上的Au条的中心传输线（22）和两侧的Au条纹的接地传输线（21） 的中心传输线（22），并与中心传输线（22）分离。 靠近中心传输线（22）的每个接地传输线（21）的一侧从基板（20）提升高度H，并且具有与中心传动件的一些部分重叠或分离的部分（O） 线（22）。 反向叠层共面波导的阻抗通过中心传输线（22）和地面传输线（21）之间的重叠或分开的宽度来调节。
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公开(公告)号：KR100691586B1
公开(公告)日：2007-03-09
申请号：KR1020040063135
申请日：2004-08-11
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: G01R1/067
Abstract: 본 발명은 사진 식각 기술을 이용한 저가의 대량 생산 공급이 가능하고 기존의 개방형 동축 프로브를 대체 할 수 있는 동축 개구면을 가진 평면구조의 프로브에 관한 것으로서, TEM 전자기파를 전송할 수 있는 완전 차폐된 코플래나 웨이브가이드 또는 스트립 라인과 샘플과 접촉 할 수 있는 수평면 상의 동축 개구면으로 구성된다.
동축 개구면(coaxial aperture), 사진 식각(photo etching), 프로브(probe)
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