Abstract:
본 발명의 일 실시예는, 소정간격으로 온(on)/오프(off)되는 시퀀스(sequence)를 갖는 조사광을 생성하는 광원부; 플라즈마를 이용하여 반도체 기판을 처리하는 내부 공간을 가지는 챔버의 상단에 배치되어 상기 조사광을 상기 반도체 기판에 조사하고, 상기 광원부의 상기 시퀀스와 동기화되어, 상기 광원부가 온(on)되는 시간동안 집광된 제1 측정광을 제1 광경로로 분기하며, 상기 광원부가 오프(off)되는 동안 집광된 제2 측정광을 제2 광경로로 분기하는 광학부; 및 상기 제1 및 제2 광경로 상에 배치되며, 상기 제1 측정광의 스펙트럼에서 상기 제2 측정광의 스펙트럼을 감산하여 상기 조사광이 상기 반도체 기판의 표면에서 반사된 반사광의 스펙트럼을 검출하고, 상기 제2 측정광의 스펙트럼에 기초하여 상기 플라즈마에서 방출된 플라즈마 방출광을 검출하는 광검출부;를 포함하는 반도체 기판 측정 장치를 제공한다.
Abstract:
예시적인 실시예들에 따른 반도체 소자 제조 장치는, 스핀 코터 및 코팅 층 검사기를 포함한다. 상기 스핀 코터는, 척, 척을 회전시키도록 구성된 회전 구동기; 상기 코팅 층 중 상기 웨이퍼의 에지부 상에 형성된 부분에 용해액을 분사하도록 구성된 용해액 디스펜서; 를 포함하고, 상기 코팅 층 검사기는, 에지부 카메라 및 상기 웨이퍼의 상기 에지부의 상기 이미지들에 기초하여 상기 코팅 층의 반경, 편심 및 위에서 본 형상을 결정하도록 구성된 검사 제어기를 포함한다.
Abstract:
본 개시는 LTE(Long Term Evolution)와 같은 4G(4th generation) 통신 시스템 이후 보다 높은 데이터 전송률을 지원하기 위한 5G(5th generation) 또는 pre-5G 통신 시스템에 관련된 것이다. 무선 통신 시스템에서 단말의 동작 방법은 기지국으로부터 비-승인(grant-free) 통신을 위한 제어 정보를 수신하는 과정과, 상기 제어 정보에 포함된 기준 신호에 대한 시퀀스 집합(sequence set) 정보에 포함된 시퀀스들 중 하나의 시퀀스를 이용하여 상기 기준 신호를 생성하고, 상기 제어 정보에 포함된 비-승인 자원 영역 정보를 이용하여 상기 기지국에게 상기 기준 신호 및 데이터 신호를 송신하는 과정을 포함한다. 상기 하나의 시퀀스는, 상기 기지국에 의한 상기 단말의 식별을 위해 이용된다.
Abstract:
본 발명은 단일 칩 패키지에 관한 것으로 랜드 그리드 어레이(LGA:Land Grid Arrary) 접합을 이용한 단일 칩 패키지를 위한 장치에 있어서, 적어도 하나 이상의 기판의 층(layer)을 가지고, 최 하위 기판의 층에 적어도 하나의 제 1 칩 영역 및 적어도 하나의 제 2 칩 영역을 구비하고, 상기 제 1 칩 영역에 접합된 적어도 하나의 집적회로 칩으로부터의 신호를 coaxial 형태 또는 CPW(Co-Planar Waveguide guide) 형태로 수직구조의 전송선로 트랜지션을 구성하고, 상기 최 하위 층에 PCB(Printed Circuit Board)와 연결하기 위한 LGA 접합 패드를 구비하는 다층 회로 기판과, 상기 제 1 칩 영역 및 상기 2칩 영역에 접합되는 적어도 하나의 집적회로 칩과, 상기 LGA 접합 패드를 통해 상기 다층 회로 기판과 LGA 접합으로 연결되는 상기 PCB를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
A multi-metal waveguide and manufacturing method thereof is provided to minimize loss by increasing a current distribution area through insertion of an insulating layer between metal layers. A plurality of metal layers is laminated on a substrate while a power transmission line which is composed of a plurality of metal including a signal line(200). The signal line comprises a first signal part(210) and a second signal part(220). The first signal part is formed in at least one of metal layers and is formed with separated with a ground line. The second signal part has the width wider than that of the first signal part while being separated with the ground line by a different height. The transmission line of the multi-metal includes a metal connection unit(300).
Abstract:
본 발명은 다층 금속 구조체의 전송선로 및 이의 형성 방법에 관한 것으로, 기판상에 다수의 금속층을 적층하되, 각 금속층간에 절연층이 삽입되는 다층 금속 구조체의 전송선로에 있어서, 신호선과 접지선 사이의 전류 분포를 넓은 면적에 분산하여 도전체 손실을 최소화할 수 있도록 한 것이다. 다층 금속 구조, 전송선로, 신호선, 접지선, 손실
Abstract:
Novel monogalactosyldiacylglycerol compounds isolated from Sargassum Thunbergii are provided which shows anti-fungal activity on Candida albican and contains both alpha-linoleic acid and eicosapentaenoic acid(EPA). A [(2S)-1-O-(5Z,8Z,11Z,14Z,17Z -eicosapentaenoyl)-2-O-(9Z,12Z,15Z-octadecatrienoyl)-3-O-beta-Dgalactopyranosyl-sn-glycerol] is represented by the formula(1). A (2S)-1-O-(9Z,12Z,15Z-octadecatrienoyl)-2-O-(6Z,9Z,12Z,15Z-octadecatetraenoyl)-3-O-beta-D-galactopyranosyl-sn-glycerol is represented by the formula(2). A method for preparing the monogalactosyldiacylglycerol compound comprises the steps of: (a) after mixing cut Sargassum Thunbergii with methanol in a weight ratio of 1:1-1:3 and leaving it for 48-72 hours, filtering it; (b) concentrating the methanol filtrate under reduced pressure and adding a mixture solution of butanol and water in a weight ratio of 1:1 thereto; (c) concentrating solvent of the butanol layer under reduced pressure and adding a mixture solution consisting of methanol and water in a weight ratio of 15:85 and normal hexane thereto; and (d) concentrating solvent of the methanol layer under reduced pressure and isolating the desired product through a reverse silica flash chromatography.
Abstract:
A pharmaceutical composition including a transglutaminase(TGase 2) inhibitor or N-acetylcysteine(NAC) is provided to prevent or cure fibrosis and to specifically show the molecular mechanism about the fibrosis. A pharmaceutical composition for preventing and treating fibrosis comprises (a) pharmaceutically effective dose of a transglutaminase(TGase 2) inhibitor or N-acetylcysteine(NAC); and (b)a pharmaceutically allowable carrier. A screening method of a material for preventing and treating fibrosis comprises the steps of: (i) contacting a testing material with a transglutaminase(TGase 2) protein; and (ii) measuring the activity of the TGase 2. The transglutaminase(TGase 2) inhibitor is the cystamine or the cysteamine.