公开(公告)号：KR1020090036030A

公开(公告)日：2009-04-13

申请号：KR1020070101118

申请日：2007-10-08

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 이동현 ,  김영환 ,  최성태 ,  최정환 ,  황철규 ,  권영우 ,  최우열

IPC: H01P3/08

CPC classification number: H01P11/001 ,  H01P3/003 ,  H01P3/081 ,  Y10T29/49016

Abstract: A multi-metal waveguide and manufacturing method thereof is provided to minimize loss by increasing a current distribution area through insertion of an insulating layer between metal layers. A plurality of metal layers is laminated on a substrate while a power transmission line which is composed of a plurality of metal including a signal line(200). The signal line comprises a first signal part(210) and a second signal part(220). The first signal part is formed in at least one of metal layers and is formed with separated with a ground line. The second signal part has the width wider than that of the first signal part while being separated with the ground line by a different height. The transmission line of the multi-metal includes a metal connection unit(300).

Abstract translation: 提供多金属波导及其制造方法，以通过在金属层之间插入绝缘层来增加电流分布面积来最小化损耗。 多个金属层层叠在基板上，而由包括信号线（200）的多个金属构成的输电线路。 信号线包括第一信号部分（210）和第二信号部分（220）。 第一信号部分形成在金属层中的至少一个中，并且被形成为用接地线分开。 第二信号部分的宽度比第一信号部分的宽度宽，同时用接地线分开不同的高度。 多金属的传输线包括金属连接单元（300）。

公开(公告)号：KR101425796B1

公开(公告)日：2014-08-04

申请号：KR1020070101118

申请日：2007-10-08

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 이동현 ,  김영환 ,  최성태 ,  최정환 ,  황철규 ,  권영우 ,  최우열

IPC: H01P3/08

CPC classification number: H01P11/001 ,  H01P3/003 ,  H01P3/081 ,  Y10T29/49016

Abstract: 본 발명은 다층 금속 구조체의 전송선로 및 이의 형성 방법에 관한 것으로, 기판상에 다수의 금속층을 적층하되, 각 금속층간에 절연층이 삽입되는 다층 금속 구조체의 전송선로에 있어서, 신호선과 접지선 사이의 전류 분포를 넓은 면적에 분산하여 도전체 손실을 최소화할 수 있도록 한 것이다.
다층 금속 구조, 전송선로, 신호선, 접지선, 손실

公开(公告)号：KR1019980051761A

公开(公告)日：1998-09-25

申请号：KR1019960070676

申请日：1996-12-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  최규상 ,  최우열

IPC: H01L21/203

Abstract: 본 발명은 반도체 제조용 자동시너공급장치 및 자동시너공급방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 자동시너공급장치는, 웨이퍼(6)를 린스하기 위한 분사노즐(4)을 갖는 시너공급장치에 있어서, 주공급탱크(11)와, 공급관(2)을 경유하여 상기 주공급탱크(11)에 연결되는 보조공급탱크(14) 및 상기 보조공급탱크(14)에 연결되는 다기관(16)으로 이루어지며, 또한 자동시너공급방법은, 웨이퍼(6) 상으로 시너를 분사하기 위한 분사노즐(4)에 시너를 공급함에 있어, 주공급탱크(11)내의 시너를 보조공급탱크(14)에 유입시키고, 보조공급탱크(14)내의 시너를 분사노즐(4)이 연결된 다기관(16)으로 유입시키도록 이루어진다.
따라서, 분사노즐(4)에 기포가 유입되지 않도록 하고, 항상 일정하게 시너가 분사될 수 있도록 하여 균일한 린스효과를 얻을 수 있도록 하는 효과가 있으며, 그에 의하여 웨이퍼(6)의 균일한 린스를 가능하게 하고, 반도체 장치의 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019970067666A

公开(公告)日：1997-10-13

申请号：KR1019960006865

申请日：1996-03-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  최우열

IPC: H01L21/304

Abstract: 스핀 방식에 의한 포토레지스트 도포작업에서 고속 회전에 따른 잉여 액상이 되튀겨지지 않도록 받아주는 캣치컵을 세정하도록 하는 반도체 제조설비의 캣치컵 세정장치에 관한 것이다.
본 발명은 캣치컵을 다수개 수용하는 바스켓 및 소정량의 세정액을 수용할 수 있는 세정챔버가 형성된 세정 장치가 있어서, 세정액을 소정량 저장하도록 형성된 저장탱크; 상기 저장탱크와 연결된 연결관을 통항 세정액을 상기 저장탱크에 투입하도록 형성된 세정액 투입부; 및 상기 저장탱크와 연결되어 상기 저장탱크 내부에 투입된 세정액을 다수개의 세정챔버에 공급하는 세정액 공급펌프를 포함한 구성으로 이루어진다.
따라서, 캣치컵에 의한 화재의 위험을 방지하고, 작업자의 신체에 대한 손상이 없도록 하며, 작업자의 노동력과 세정에 소요되는 시간을 단축하게 되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019990009666A

公开(公告)日：1999-02-05

申请号：KR1019970032134

申请日：1997-07-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  최우열 ,  최규상

IPC: H01L21/02

Abstract: 에어샤워기의 샤워링 인원을 통제하고, 정원 초과시 경보를 발생하며, 입실 인원수를 표시하도록 개선시킨 에어샤워기의 수용인원 통제 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
본 발명은, 에어샤워기의 수용인원 통제를 위하여, 입실자를 감지하는 감지부, 상기 감지부에 연결되어 소정 인원이상 과수용된 상태이면 에어샤워 동작을 인터로크 시키는 제어부 및 상기 제어부의 제어에 따라 에어샤워를 위한 송풍을 수행하는 송풍부를 구비하여 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 에어샤워기 내부로 입실한 인원이 디스플레이되고, 수용인원 이내의 범위에서 샤워링이 실시되어서 청정실의 오염을 방지하고, 설비의 수율을 향상시키는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100238944B1

公开(公告)日：2000-01-15

申请号：KR1019970000382

申请日：1997-01-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  최우열

IPC: H01L21/30

CPC classification number: F27D1/1858 ,  F27B17/02

Abstract: 습식식각공정을 마친 웨이퍼를 하드 베이크(Hard Bake)하는 베이크설비에서 카세트가 출입하는 통로를 개폐하는 도어개폐장치에 관한 것이다.
본 발명은 베이크설비의 공정챔버 도어개폐장치에 있어서, 공정챔버의 출입구 일측에 형성된 보스와, 상기 보스에 회전가능하게 관통된 회전축과, 상기 공정챔버에 고정되어 회전축의 양단을 회전지지하는 베어링과, 상기 회전축을 소정각도 정,역회전시키는 구동수단과, 상기 회전축에 일측이 고정되고 회전축과 연동하여 출입구를 개폐하는 도어를 포함하여 구성된 것이다.
따라서 도어의 개폐동작이 자동화됨으로써 작업성이 향상되고, 도어의 회전동작이 원활하게 이루어져 회전부위에서의 마모로 인한 파티클이 감소되어 수율이 향상되며, 작업자가 직접 도어를 개폐할 필요가 있어 공정챔버내의 고열로부터 작업자를 보호할 수 있는 효과를 갖는다.

公开(公告)号：KR100217322B1

公开(公告)日：1999-09-01

申请号：KR1019960006865

申请日：1996-03-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  최우열

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 스핀 방식에 의한 포토레지스트 도포작업에서 고속 회전에 따른 잉여 액상이 되튀겨지지 않도록 받아주는 캣치컵을 세정하도록 하는 반도체 제조설비의 캣치컵 세정장치에 관한 것으로, 그 구성은 캣치컵을 다수개 수용하는 바스켓 및 소정량의 세정액을 수용할 수 있는 세정챔버가 형성된 세정장치에 있어서, 소정량의 세정액을 저장하기 위한 저장탱크와, 상기 저정탱크로 세정액을 공급할 수 있도록 연결된 세정액 투입용 공급용기가 구비되고 상기 공급용기의 일측면에는 세정액 정량용기를 착탈시킬 수 있는 용기 케이스가 고정된 회전대가 수평배치되어 그 양단이 자전 가능하도록 지지되며 상기 회전대 일단의 굴곡부에는 실린더 축이 연결되어 상기 회전대를 회전시킬 수 있도록 된 세정액 투입부와, 상기 저장탱크와 연결되어 상기 저장탱크 내부에 투입된 세정액을 다수개의 세정챔버에 공급하는 세정액 공급펌프;를 포함한 구성으로 이루어진다.
따라서, 캣치컵에 의한 화재의 위험을 방지하고, 작업자의 신체에 대한 손상이 없도록 하며, 작업자의 노동력과 세정에 소요되는 시간을 단축하게 되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019980065413A

公开(公告)日：1998-10-15

申请号：KR1019970000382

申请日：1997-01-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  최우열

IPC: H01L21/30

Abstract: 습식식각공정을 마친 웨이퍼를 하드 베이크(Hard Bake)하는 베이크설비에서 카세트가 출입하는 통로를 개폐하는 도어개폐장치에 관한 것이다.
본 발명은 베이크설비의 공정챔버 도어개폐장치에 있어서, 공정챔버의 출입구 일측에 형성된 보스와, 상기 보스에 회전가능하게 관통된 회전축과, 상기 공정챔버에 고정되어 회전축의 양단을 회전지지하는 베어링과, 상기 회전축을 소정각도 정,역회전시키는 구동수단과, 상기 회전축에 일측이 고정되고 회전축과 연동하여 출입구를 개폐하는 도어를 포함하여 구성된 것이다.
따라서 도어의 개폐동작이 자동화됨으로써 작업성이 향상되고, 도어의 회전동작이 원활하게 이루어져 회전부위에서의 마모로 인한 파티클이 감소되어 수율이 향상되며, 작업자가 직접 도어를 개폐할 필요가 있어 공정챔버내의 고열로부터 작업자를 보호할 수 있는 효과를 갖는다.