Abstract:
전극막의 제조 방법 및 이를 이용하는 커패시터의 제조 방법을 제공한다. 전극막 제조 방법은, 기판 상에 주석 전구체 및 산소 소스를 순차적으로 제공하는 제1 서브 사이클(first sub-cycle)을 수행하고, 제1 서브 사이클을 수행한 기판 상으로 주석 전구체, 탄탈륨 전구체, 및 산소 소스를 순차적으로 제공하는 제2 서브 사이클을 수행하고, 제1 서브 사이클 및 제2 서브 사이클이 하나의 사이클(cycle)을 구성하며, 사이클을 반복 수행하여, 기판 상에 탄탈륨이 도핑된 주석 산화막을 형성하는 것을 포함한다. 탄탈륨이 도핑된 주석 산화막 내 탄탈륨 농도는 제2 서브 사이클에서 제공되는 주석 전구체에 의해 결정된다.
Abstract:
박막 전지용 양극 형성 방법은, 기판 상에 양극 활물질을 증착하는 단계; 및 상기 양극 활물질 상에 레이저를 조사하여 상기 양극 활물질을 결정화하는 단계;를 포함할 수 있다. 양극 활물질은 상온에서 기판 상에 증착될 수 있고, 레이저를 이용하여 저온에서 양극 활물질을 결정화함으로써 가볍고 가공이 용이한 고분자 기판을 사용할 수 있게 된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 양극 제조 방법으로 제조된 양극을 포함하는 박막 전지는 높은 방전 용량 등 우수한 충·방전 특성을 가질 수 있다.
Abstract:
광촉매의 효율이 더욱 향상된 분말 형태의 광촉매 및 그의 제조 방법을 제공하는 것이다. 본 발명에 따른 광촉매 분말 제조 방법은, 강유전 특성과 광촉매 특성을 동시에 지니는 조성을 분말 형태로 합성하는 단계; 및 상기 분말을 폴링하여 유전 분극을 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 강유전 특성과 광촉매 특성을 동시에 지니는 조성을 분말로 합성한 후 분말 형태로 바로 폴링함에 따라 폴링하지 않는 경우에 비하여 촉매 특성(광촉매 반응 효율)이 향상된다. 또한, 박막 형태나 펠렛 형태를 폴링한 후 분말로 분쇄하는 경우에 발생하는 유전 분극 특성 감소 문제도 없다.