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公开(公告)号：KR102070859B1
公开(公告)日：2020-01-28
申请号：KR1020170137563
申请日：2017-10-23
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Inventor： 서수정 , 김태유 , 최호준 , 나영일 , 박정갑 , 노재철 , 이정우 , 박종환 , 김석훈 , 신세희 , 김선우 , 안병욱 , 박정호
IPC: H01L23/552 , H01L23/28 , H01L23/60 , H01L23/485 , H01L21/56
