Abstract:
본 발명은 하기 단계를 이어서 수행하는 것을 포함하는, 표적 기판상에 적어도 부분적으로 이완된 변형된 물질을 형성하는 방법에 관한 것이다: 중간 기판상에 변형된 물질층으로부터 아일랜드를 형성하는 단계; 변형된 물질 아일랜드를, 첫번째 열 처리에 의해 적어도 부분적으로 이완시키는 단계; 및 적어도 부분적으로 이완된 변형된 물질 아일랜드를 표적 기판으로 이동시키는 단계.
Abstract:
본 발명은 n-형 층(132), 활성층(133) 및 p-형층(134)을 각각 포함하는 기본 구조들(150)의 형성을 포함하는 발광 다이오드(LED) 디바이스들의 일괄 제조 방법에 관한 것으로서, 이 방법은 - 각각의 기본 LED 구조(150)의 부분의 횡방향 치수의 감소; - 기본 구조들(150)의 측면들 상의 절연 재료(139)의 일부의 형성; - n-형 전기 접촉 패드들(145) 및 p-형 전기 접촉 패드들(138)의 형성; - 기본 구조들(150) 상에의 도전 재료층(141)의 침착 및 도전 재료층(141)의 폴리싱; 및 - 상기 구조(70)의 폴리싱된 표면(70a) 상에의 제 2 기판(50)의 분자 접착에 의한 접합을 포함한다.
Abstract:
본 발명은 적어도 하나의 p-형층(20), 활성 영역(18) 및 n-형층(12)을 각각 포함하는 기본 LED 또는 광기전 구조들의 제 1 기판(10) 상에의 형성, 기본 구조들에의 제 1 평탄 금속층(42)의 형성, 제 2 평탄 금속층(46)을 포함하는 전사 기판(50)의 제공, 실온에서 분자 접착에 의한 제 1 및 제 2 금속층들(42, 46)의 접합에 의한 전사 기판(50)과 기본 구조들의 조립, 및 제 1 기판(10)의 제거를 포함하는 제조 방법에 관한 것이다.
Abstract:
PURPOSE: A method for reproducing a supply substrate is provided to reduce the time, quality, and costs of a reproduction operation by easily removing a remaining material ring on a donor substrate. CONSTITUTION: A weak interface is generated(110). A supply substrate is contacted with a support substrate(120). The supply substrate is thermally processed(130). An electromagnetic wave is selectively irradiated to the supply substrate(210). The supply substrate is chemically and mechanically polished(220).
Abstract:
본 발명은 하기 단계를 이어서 수행하는 것을 포함하는, 표적 기판상에 적어도 부분적으로 이완된 변형된 물질을 형성하는 방법에 관한 것이다: 중간 기판상에 변형된 물질층으로부터 아일랜드를 형성하는 단계; 변형된 물질 아일랜드를, 첫번째 열 처리에 의해 적어도 부분적으로 이완시키는 단계; 및 적어도 부분적으로 이완된 변형된 물질 아일랜드를 표적 기판으로 이동시키는 단계.
Abstract:
본 발명은 하기 단계를 이어서 수행하는 것을 포함하는, 표적 기판상에 적어도 부분적으로 이완된 변형된 물질을 형성하는 방법에 관한 것이다: 중간 기판상에 변형된 물질층으로부터 아일랜드를 형성하는 단계; 변형된 물질 아일랜드를, 첫번째 열 처리에 의해 적어도 부분적으로 이완시키는 단계; 및 적어도 부분적으로 이완된 변형된 물질 아일랜드를 표적 기판으로 이동시키는 단계.