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公开(公告)号:KR1020110026029A
公开(公告)日:2011-03-15
申请号:KR1020090081562
申请日:2009-08-31
Applicant: 영남대학교 산학협력단
Abstract: PURPOSE: A scanner for scanning probe microscope is provided to increase displacement of the mobile stage to X-axis, and Y-axis by forming a flexure hinge into the staple shape. CONSTITUTION: A moving stage(200) is moveable about a base(100). Fracture hinges(300) interlinks the base and the moving stage. Actuators(400) pressurizes the base and the moving stage between the base and the moving stage, and forms symmetry about the center of the moving stage. A flexure hinge has the staple shape in order to increase the displacement of the moving stage to the X-axis, and Y-axis.
Abstract translation: 目的:提供用于扫描探针显微镜的扫描仪,以通过将挠性铰链成形为钉状,增加移动台对X轴和Y轴的位移。 构成:移动台(200)可围绕底座(100)移动。 断裂铰链(300)将基座和移动台相互连接。 致动器(400)对基座和移动台之间的基座和移动台进行加压,并且围绕移动台的中心形成对称性。 弯曲铰链具有订书钉形状,以便增加移动台到X轴和Y轴的位移。
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公开(公告)号:KR1020110023590A
公开(公告)日:2011-03-08
申请号:KR1020090081561
申请日:2009-08-31
Applicant: 영남대학교 산학협력단
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/68785
Abstract: PURPOSE: A stage apparatus is provided to reduce a rotation position error of a second stage by using a piezoelectric driver using a piezoelectric device as an actuator. CONSTITUTION: A first stage(200) and a second stage(300) are rotatably installed on a base(100). A connection hinge(400) connects the first stage to the second stage. A rotation hinge(500) connects the second stage to the base. An actuator(600) pressurizes the first stage and the base and is symmetrical with regard to the center of the second stage.
Abstract translation: 目的:提供一种舞台装置,通过使用使用压电装置作为致动器的压电驱动器来减小第二级的旋转位置误差。 构成:第一阶段(200)和第二阶段(300)可旋转地安装在基座(100)上。 连接铰链(400)将第一阶段连接到第二阶段。 旋转铰链(500)将第二级连接到基座。 致动器(600)对第一级和底座加压,并且相对于第二级的中心对称。
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公开(公告)号:KR1020100055287A
公开(公告)日:2010-05-26
申请号:KR1020080114285
申请日:2008-11-17
Applicant: 영남대학교 산학협력단
CPC classification number: B60T7/042 , B60T7/06 , B60Y2400/81 , G05G1/30
Abstract: PURPOSE: A pedal system for a brake-by-wire is provided to improve safety by operating another sensor when one sensor is broken. CONSTITUTION: A pedal system for a brake-by-wire comprises a lower plate(110), a principal shaft(200), a first link, an auxiliary shaft(400), a second link(500), a pedal member(600), and an elastic member. The principal shaft is respectively fixed to a horizontal arm(210) facing outside. The first link is combined with the end on the vertical shaft of the horizontal arm to be rotated. The auxiliary shaft is inserted into a through hole. The second link is coupled with the lower end of the auxiliary shaft to rotate on the horizontal shaft. The pedal member fixes the central part to be rotated.
Abstract translation: 目的:提供用于线控制动的踏板系统,以便在传感器损坏时通过操作另一个传感器来提高安全性。 构成:用于线控制动器的踏板系统包括下板(110),主轴(200),第一连杆,辅助轴(400),第二连杆(500),踏板部件(600) )和弹性构件。 主轴分别固定在面向外侧的水平臂(210)上。 第一连杆与水平臂的垂直轴的端部组合以旋转。 辅助轴插入通孔。 第二连杆与辅助轴的下端联接以在水平轴上旋转。 踏板构件固定要旋转的中心部分。
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公开(公告)号:KR101103174B1
公开(公告)日:2012-01-04
申请号:KR1020090081561
申请日:2009-08-31
Applicant: 영남대학교 산학협력단
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은, 베이스, 베이스에 대해 회전가능하게 마련된 제1 및 제2스테이지, 제1스테이지 및 제2스테이지를 연결하는 적어도 하나의 연결힌지, 제2스테이지 및 베이스를 연결하는 적어도 하나의 회전힌지, 제1스테이지 및 베이스 사이에 마련되어 제1스테이지 및 베이스를 가압하며, 제2스테이지의 중심에 대해 대칭을 이루도록 마련된 복수의 엑츄에이터를 포함하는 스테이지장치를 제공한다.
이와 같은, 스테이지장치는, 압전소자를 이용하는 엑츄에이터로부터 가압력을 전달받아 회전하는 제1스테이지의 회전력이 플렉쳐힌지 구조를 가지면서 각각 제1스테이지 및 제2스테이지, 제2스테이지 및 베이스를 연결하는 연결힌지 및 회전힌지에 의해 제1스테이지 내측의 시편이 올려지는 제2스테이지에 전달된다. 따라서, 제2스테이지의 회전 위치오차를 줄일 수 있어 초정밀의 위치제어가 가능하게 된다.-
公开(公告)号:KR101040421B1
公开(公告)日:2011-06-13
申请号:KR1020080114285
申请日:2008-11-17
Applicant: 영남대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명에 따르면, 하판; 일측에 외부를 향하는 수평암의 일단이 각각 고정되고, 외주면에 구비된 기어에 의해 서로 맞물리며, 하단이 상기 하판의 상부에 회전 가능하도록 구비되는 한 쌍의 주축; 일단이 상기 수평암의 타단과 수직축상 회동 가능하도록 각각 결합되며, 타단에는 관통홀이 형성된 한 쌍의 제1 링크; 상기 관통홀들에 삽입되도록 제공되는 보조축; 일단이 상기 보조축의 하단과 수평축상 회동 가능하도록 결합되는 제2 링크; 중앙부가 수평축상 회전가능하도록 고정되고, 일단이 상기 제2 링크의 타단과 수평축상 회동 가능하도록 결합되는 ㄱ자 형상의 페달부재; 및 상기 보조축의 상단과 결합하여 상기 페달부재의 일단이 상기 주축 방향을 향하도록 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함하는 브레이크 바이 와이어용 페달 시스템이 제공된다.
본 발명에 따르면, 링크 조인트마다 각각 4개의 토션 스프링이 비선형 답력을 생성하게 되고, 토션 스프링의 일부가 기능을 상실하여도 다른 토션 스프링이 그 기능을 수행할 수 있으므로 안전성이 향상되고, 한 쌍의 포텐셔미터에 의해 브레이크 시그널을 전자제어장치로 전달할 수 있는 장점이 있다.
주축, 링크, 페달부재, 브레이크 바이 와이어
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