다중층 선택 소자 및 그 제조 방법

    公开(公告)号:WO2022103110A1

    公开(公告)日:2022-05-19

    申请号:PCT/KR2021/016197

    申请日:2021-11-09

    Abstract: 본 발명은, 문턱 전압을 제어하여 낮은 누설 전류를 나타내는 다중층 선택 소자를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 다중층 선택 소자는, 기판; 상기 기판 상에 위치하는 하부 전극층; 상기 하부 전극층 상에 위치하고, 상기 하부 전극층을 노출하도록 관통하는 비아홀을 구비한 절연층; 상기 비아홀 내에서 상기 하부 전극층 상에 위치하고, 전도성 필라멘트의 형성과 파괴에 의하여 스위칭 동작을 수행하고, 상기 전도성 필라멘트의 형성을 제어하도록 다중층으로 이루어진 스위칭층; 및 상기 스위칭층 상에 위치하는 상부 전극층;을 포함한다.

    저항변화메모리 및 그 제조방법
    2.
    发明授权
    저항변화메모리 및 그 제조방법 有权
    电阻变化记忆体及其制造方法

    公开(公告)号:KR101735406B1

    公开(公告)日:2017-05-15

    申请号:KR1020150104837

    申请日:2015-07-24

    Abstract: 본발명은기판; 상기기판상에형성되고, 고체폴리머전해질(solid polymer electrolyte)을구비하는저항변화층(resistive switching layer); 및상기저항변화층상에형성된복수개의마그네슘전극과칼슘전극중 적어도하나;를포함하는, 저항변화메모리및 저항변화메모리의제조방법을제공한다.

    Abstract translation: 基板本发明涉及基板, 形成在基板上并具有固体聚合物电解质的电阻切换层; 并且多个镁电极中的至少一个和形成在电阻变化层上的钙电极。

    상향식 저항변화메모리 및 상향식 저항변화메모리의 제조방법
    3.
    发明公开
    상향식 저항변화메모리 및 상향식 저항변화메모리의 제조방법 有权
    自底向上电阻随机存取存储器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020160123792A

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:KR1020150054416

    申请日:2015-04-17

    Inventor: 이장식 한언빈

    Abstract: 본발명은기판을준비하는단계; 상기기판상에복수개의홀(hole)을가지는구조체를형성하는단계; 상기복수개의홀을가지는구조체내에전기화학증착(electrochemical deposition) 방법을이용하여제 1 금속층을형성하는단계; 상기제 1 금속층상에금속산화물층을형성하는단계; 및상기금속산화물층상에제 2 금속층을형성하는단계;를포함하고, 상기제 1 금속층, 상기금속산화물층및 상기제 2 금속층은연속적인공정으로바텀-업(bottom-up) 방식으로성장시켜형성된, 상향식저항변화메모리의제조방법및 이를이용하여구현한상향식저항변화메모리를제공한다.

    상향식 저항변화메모리 및 상향식 저항변화메모리의 제조방법
    4.
    发明授权
    상향식 저항변화메모리 및 상향식 저항변화메모리의 제조방법 有权
    一种制造自底向上电阻变化存储器和自底向上电阻变化存储器的方法

    公开(公告)号:KR101764336B1

    公开(公告)日:2017-08-03

    申请号:KR1020150054416

    申请日:2015-04-17

    Inventor: 이장식 한언빈

    Abstract: 본발명은기판을준비하는단계; 상기기판상에복수개의홀(hole)을가지는구조체를형성하는단계; 상기복수개의홀을가지는구조체내에전기화학증착(electrochemical deposition) 방법을이용하여제 1 금속층을형성하는단계; 상기제 1 금속층상에금속산화물층을형성하는단계; 및상기금속산화물층상에제 2 금속층을형성하는단계;를포함하고, 상기제 1 금속층, 상기금속산화물층및 상기제 2 금속층은연속적인공정으로바텀-업(bottom-up) 방식으로성장시켜형성된, 상향식저항변화메모리의제조방법및 이를이용하여구현한상향식저항변화메모리를제공한다.

    Abstract translation: 本发明提供了一种制造半导体器件的方法,包括:准备衬底; 在衬底上形成具有多个孔的结构; 使用电化学沉积方法在具有多个孔的结构中形成第一金属层; 在第一金属层上形成金属氧化物层; 并且在所述金属氧化物层上形成第二金属层,其中所述第一金属层,所述金属氧化物层和所述第二金属层以连续工艺以自下而上的方式生长, 制造自下而上电阻变化存储器的方法以及使用该方法实现的自底向上电阻变化存储器。

    저항변화메모리 및 저항변화메모리의 제조방법
    7.
    发明公开
    저항변화메모리 및 저항변화메모리의 제조방법 有权
    制造电阻变化记忆和电阻变化记忆的方法

    公开(公告)号:KR1020160118848A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:KR1020150047652

    申请日:2015-04-03

    Abstract: 본발명은기판상에제 1 전극을형성하는단계; 상기제 1 전극상에고체폴리머전해질(solid polymer electrolyte)을구비하는저항변화층(resistive switching layer)을형성하는단계; 및상기저항변화층상에제 2 전극을형성하는단계;를포함하는, 저항변화메모리의제조방법및 이를이용하여구현한저항변화메모리를제공한다.

    Abstract translation: 该方法包括在衬底上形成第一电极; 在第一电极上形成具有固体聚合物电解质的电阻切换层; 并且在电阻变化层上形成第二电极,以及使用该方法实现的电阻变化存储器。

    불휘발성 강유전체 인버터 및 작동방법
    9.
    发明公开
    불휘발성 강유전체 인버터 및 작동방법 有权
    非易失性铁电逆变器及其操作方法

    公开(公告)号:KR1020180034813A

    公开(公告)日:2018-04-05

    申请号:KR1020160124492

    申请日:2016-09-28

    CPC classification number: H01L27/092 H01L21/8238 H01L29/516

    Abstract: 게이트전극과기판사이에강유전체층및 삽입층을도입한불휘발성강유전체인버터및 이의작동방법이개시된다. 불휘발성강유전체인버터의반복동작시, 강유전체층의피로도가증가하게된다. 이를억제하여소자의신뢰도및 수명향상을위해강유전체층의양측으로삽입층을배치한불휘발성강유전체인버터를제작한다.

    Abstract translation: 本发明公开了一种在栅电极和衬底之间结合有铁电层和层间层的铁电铁电逆变器及其操作方法。 在非易失性铁电逆变器的重复操作期间,铁电层的疲劳增加。 为了通过抑制器件来提高器件的可靠性和寿命,制造了在铁电层的两侧设置插入层的铁电体铁电逆变器。

    저항변화메모리 및 그 제조방법
    10.
    发明公开
    저항변화메모리 및 그 제조방법 有权
    电阻式开关存储器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020170011709A

    公开(公告)日:2017-02-02

    申请号:KR1020150104837

    申请日:2015-07-24

    Abstract: 본발명은기판; 상기기판상에형성되고, 고체폴리머전해질(solid polymer electrolyte)을구비하는저항변화층(resistive switching layer); 및상기저항변화층상에형성된복수개의마그네슘전극과칼슘전극중 적어도하나;를포함하는, 저항변화메모리및 저항변화메모리의제조방법을제공한다.

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