公开(公告)号：KR20180004583A

公开(公告)日：2018-01-12

申请号：KR20160084351

申请日：2016-07-04

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 김종규 ,  김재원 ,  황선용 ,  김동영 ,  정호경

IPC: B32B15/08 ,  H05K1/03 ,  H05K3/02

CPC classification number: B32B15/08 ,  H05K1/0326 ,  H05K1/0393 ,  H05K3/025 ,  H05K2201/0141 ,  H05K2201/0209 ,  H05K2201/0355

Abstract: 본발명은유연성반도체필름및 그제조방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따르면, 본발명의일 실시예에따르면, 유연성금속필름, 상기유연성금속필름상에배치되며, 이차원층상재료를포함하는중간층, 및상기중간층상에배치되며, 에피택시얼성장으로이루어진반도체층을포함하는, 유연성반도체필름을제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种柔性半导体膜及其制造方法。 根据本发明的一个实施例，提供了一种柔性金属膜，包括：柔性金属膜;设置在所述柔性金属膜上的中间层，所述中间层包括二维层状材料; 并且由具有高结晶度的材料制成的半导体层。

公开(公告)号：KR101903848B1

公开(公告)日：2018-10-02

申请号：KR1020160084351

申请日：2016-07-04

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 김종규 ,  김재원 ,  황선용 ,  김동영 ,  정호경

IPC: B32B15/08 ,  H05K3/02 ,  H05K1/03

Abstract: 본발명은유연성반도체필름및 그제조방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따르면, 본발명의일 실시예에따르면, 유연성금속필름, 상기유연성금속필름상에배치되며, 이차원층상재료를포함하는중간층, 및상기중간층상에배치되며, 에피택시얼성장으로이루어진반도체층을포함하는, 유연성반도체필름을제공한다.

公开(公告)号：KR101874225B1

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：KR1020170001327

申请日：2017-01-04

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 김종규 ,  김동영 ,  한남 ,  김재원 ,  정호경

IPC: H01L33/00 ,  H01L33/02 ,  C23C16/34 ,  C23C16/18

CPC classification number: H01L33/007 ,  C23C16/18 ,  C23C16/342 ,  H01L33/02 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2933/0033

Abstract: 본발명은질화물반도체물질의제조방법에관한것이다. 본발명은챔버내에기판을배치하는단계, 및챔버내에붕소및 질소를각각포함하는기상물질들을주입하고, 질소공극형성을위해설정된공정조건에따라화학반응을이용하여기판상에이차원층상구조의육방정질화붕소를형성하는단계를포함하는질화물반도체물질의제조방법을제공한다.