N-터셔리-부톡시말레이미드 공중합체 제조방법

    公开(公告)号:KR1019930019714A

    公开(公告)日:1993-10-18

    申请号:KR1019920003540

    申请日:1992-03-04

    Abstract: 본 발명은 새로운 말레이미드계 단량체인 N-터셔리-부록시말레이미드를 라디칼 개시제 존재하에 단독 중합시키거나 또는 이 단량체와 스티렌계의 단량체등 다른 단량체와 라디칼 개시제 존재하에 공중합시켜 Nt-부톡시말레이미드 공중합체를 제조하고, 이 공중합체를 이용하여 미세가공 공정의 레지스트 미세화상을 형성하는 방법으로, 본 발명에 의하여 고감도, 고해상성으로 만들어지는 레지스트 화상은 내열성이 매우 우수하여 초미세가공공정에 유리하게 적용될수 있다.

    N-터셔리-부톡시카르보닐말레이미드 단량체 제조방법
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:KR1019930009814B1

    公开(公告)日:1993-10-11

    申请号:KR1019910010273

    申请日:1991-06-21

    Abstract: This is a new N-tert-butoxycarbonylmaleimide (t-BOCMI) of formula (I) . The method comprises (A) reacting maleimide and furan and forming 3,6-epoxy- 1,2,3,6-tetrahydrophthalimide by Diels - Alder reaction; (B) making N-(t-butoxycarbonyl)3,6-epoxy- 1,2,3,6- tetrahydrophthalimide by reacting (A) and di-t- butyldicarbonate; and (C) heating and decomposing (B) in toluen and getting final product of (I). Total process yield is 87% and melting pt. of the product is 62 deg.C. The product is identified by IR, C13 and H1 NMR, MS, GC/MS, and component analysis. The above t-BOCMI is a very good resist material.

    Abstract translation: 这是式(I)的新的N-叔丁氧基羰基马来酰亚胺(t-BOCMI)。 该方法包括(A)使马来酰亚胺和呋喃反应,并通过Diels-Alder反应形成3,6-环氧-1,2,3,6-四氢邻苯二甲酰亚胺; (B)通过使(A)和二碳酸二叔丁酯反应制备N-(叔丁氧基羰基)3,6-环氧-1,2,3,6-四氢邻苯二甲酰亚胺; 和(C)在甲苯中加热分解(B)并得到(I)的最终产物。 总工艺产量为87%,熔点pt。 的产品是62摄氏度 该产品通过IR,C13和H1 NMR,MS,GC / MS和组分分析鉴定。 上述t-BOCMI是一种很好的抗蚀材料。

    N-터셔리-부톡시말레이미드 및 그 제조방법
    9.
    发明授权
    N-터셔리-부톡시말레이미드 및 그 제조방법 失效
    N-叔丁氧基咪唑及其制备方法

    公开(公告)号:KR1019950002550B1

    公开(公告)日:1995-03-21

    申请号:KR1019920003539

    申请日:1992-03-04

    Inventor: 안광덕 구덕일

    Abstract: N-tertiary butoxy maleimide of formula (1) is prepd. by: reacting maleic anhydride and furan to prepare 3,6-epoxy-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride of formula (2); reacting the cpd. (2) with hydroxyl amine to prepare N-hydroxy-3,6-epoxy-1,2,3,6-tetrahydrophthal imide of formula (3); reacting the cpd. (3) with isobutylene at 110 deg.C in the presence of acid catalyst to prepare N-(t-butoxy)-3,6-epoxy-1,2,3,6-tetrahydrophthal amide of formula (4); then pyrolysis of the cpd. (4) at 145 deg.C. The obtd. maleimide derv. is useful for germicide or insecticide, and good heat resistance.

    Abstract translation: 制备式(1)的N-叔丁氧基马来酰亚胺。 通过:使马来酸酐和呋喃反应制备式(2)的3,6-环氧-1,2,3,6-四氢邻苯二甲酸酐; 反应cpd。 (2)与羟胺反应制备式(3)的N-羟基-3,6-环氧-1,2,3,6-四氢化邻苯二酰亚胺; 反应cpd。 (3)在酸催化剂存在下在110℃下加入异丁烯以制备式(4)的N-(叔丁氧基)-3,6-环氧-1,2,3,6-四氢邻苯二甲酰胺; 然后热解cpd。 (4)在145℃。 有限公司 马来酰亚胺衍生物 对杀菌剂或杀虫剂有用,耐热性好。

    N-터셔리-부톡시말레이미드 및 그 제조방법
    10.
    发明公开
    N-터셔리-부톡시말레이미드 및 그 제조방법 失效
    N-叔丁氧基马来酰亚胺及其制备方法

    公开(公告)号:KR1019930019624A

    公开(公告)日:1993-10-18

    申请号:KR1019920003539

    申请日:1992-03-04

    Inventor: 안광덕 구덕일

    Abstract: 본 발명은 신규한 화학물인 N-터셔리-부톡시말레이미드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 3,6-1,2,3,6-테트라히드로프탈릭안히드리드와 히드록실아민을 반응시켜 N-히드톡시-3,6-에폭시-1,2,3,6-테트라히드로프탈이미드를 제조하여 산촉매하에 이소부틸렌과 반응시켜 N-히드톡시-3,6-에폭시-1,2,3,6-테트라히드로프탈이미드를 합성하고, 145℃에서 열분해 시킴과 동시에 승화시켜 구조식 I의 N-터셔리-부톡시말레이미드를 고수율로 제조한다. 본 발명으로 제조한 Nt-부톡시말레이미드는 공중합체의 제조에 적합한 새로운 단량체로 이용되고, 이 고분자는 감도와 내열성이 우수한 미세가공용 레지스트 재료로 이용될 수 있다.

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