Abstract:
본 발명은 새로운 말레이미드계 단량체인 N-터셔리-부록시말레이미드를 라디칼 개시제 존재하에 단독 중합시키거나 또는 이 단량체와 스티렌계의 단량체등 다른 단량체와 라디칼 개시제 존재하에 공중합시켜 Nt-부톡시말레이미드 공중합체를 제조하고, 이 공중합체를 이용하여 미세가공 공정의 레지스트 미세화상을 형성하는 방법으로, 본 발명에 의하여 고감도, 고해상성으로 만들어지는 레지스트 화상은 내열성이 매우 우수하여 초미세가공공정에 유리하게 적용될수 있다.
Abstract:
This is a new N-tert-butoxycarbonylmaleimide (t-BOCMI) of formula (I) . The method comprises (A) reacting maleimide and furan and forming 3,6-epoxy- 1,2,3,6-tetrahydrophthalimide by Diels - Alder reaction; (B) making N-(t-butoxycarbonyl)3,6-epoxy- 1,2,3,6- tetrahydrophthalimide by reacting (A) and di-t- butyldicarbonate; and (C) heating and decomposing (B) in toluen and getting final product of (I). Total process yield is 87% and melting pt. of the product is 62 deg.C. The product is identified by IR, C13 and H1 NMR, MS, GC/MS, and component analysis. The above t-BOCMI is a very good resist material.
Abstract:
NP-톨루엔술폰일옥시말레이미드(TsOMI), N-메탄술폰일옥시말레이미드(MsOMI), N-트리플로로메탄술폰일옥시말레이미드(TfOMI) 중에서 선택한 광산 발생형 단량체 X-OMI와 Nt-부틸옥시카보닐말레이미드(t-BOCMI), 말레이미드(MI), N-히드록시말레이미드(HOMI) 중에서 선택한 말레이미드 단량체 Y-MI와 스티렌(St), 히드록시스티렌(HOSt), t-부틸옥시카보닐옥시스티렌(t-BOCSt) 중에서 선택한 스티렌 유도체(Z-St)를 라디칼공중합시켜 X-OMI:Y-MI:Z-St=0.7∼1.5:0.7∼1.5:1.5∼2.5 (몰%)의 조성을 가진 N-치환된 술폰일옥시말레이미드 단량체를 이용한 삼원공중합체 P(X-OMI/Y-MI/Z-St)의 제조방법 및 이를 이용한 내열성 레지스트 화상형성방법.
Abstract:
NP-톨루엔술폰일옥시말레이미드(TsOMI), N-메탄술론일옥시말레이미드(MsOMI), N-트리플로로메탄술폰일옥시말레이미드(TfOMI) 중에서 선택한 광산 발생형 단량체 X-OMI와 Nt-부틸옥시카보닐말레이미드(t-BOCMI), 말레이미드(MI), N-히드록시말레이미드(HOMI) 중에서 선택한 말레이미드 단량체 Y-MI와 스티렌(St), 히드록시스티렌(HOSt), t-부틸옥시카보닐옥시스티렌(t-BOCSt) 중에서 선택한 스티렌 유도체(Z-St)를 라디칼공중합시켜 X-OMI : Y-MI : Z-St = 0.7∼1.5 : 0.7∼1.5 : 1.5∼2.5 (몰%)의 조성을 가진 N-치환된 술폰일옥시말레이미드 단량체를 이용한 삼원공중합체P(X0OMI/Y-MI/Z∼St)의 제조방법 및 이를 이용한 내열성 레지스트 화상형성방법.
Abstract:
N-tertiary butoxy maleimide of formula (1) is prepd. by: reacting maleic anhydride and furan to prepare 3,6-epoxy-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride of formula (2); reacting the cpd. (2) with hydroxyl amine to prepare N-hydroxy-3,6-epoxy-1,2,3,6-tetrahydrophthal imide of formula (3); reacting the cpd. (3) with isobutylene at 110 deg.C in the presence of acid catalyst to prepare N-(t-butoxy)-3,6-epoxy-1,2,3,6-tetrahydrophthal amide of formula (4); then pyrolysis of the cpd. (4) at 145 deg.C. The obtd. maleimide derv. is useful for germicide or insecticide, and good heat resistance.
Abstract:
본 발명은 신규한 화학물인 N-터셔리-부톡시말레이미드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 3,6-1,2,3,6-테트라히드로프탈릭안히드리드와 히드록실아민을 반응시켜 N-히드톡시-3,6-에폭시-1,2,3,6-테트라히드로프탈이미드를 제조하여 산촉매하에 이소부틸렌과 반응시켜 N-히드톡시-3,6-에폭시-1,2,3,6-테트라히드로프탈이미드를 합성하고, 145℃에서 열분해 시킴과 동시에 승화시켜 구조식 I의 N-터셔리-부톡시말레이미드를 고수율로 제조한다. 본 발명으로 제조한 Nt-부톡시말레이미드는 공중합체의 제조에 적합한 새로운 단량체로 이용되고, 이 고분자는 감도와 내열성이 우수한 미세가공용 레지스트 재료로 이용될 수 있다.