기판상에 금속박막을 증착하는 방법
    2.
    发明申请
    기판상에 금속박막을 증착하는 방법 审中-公开
    在基板上沉积薄金属膜的方法

    公开(公告)号:WO2014046332A1

    公开(公告)日:2014-03-27

    申请号:PCT/KR2012/008662

    申请日:2012-10-22

    CPC classification number: C23C14/35 C23C14/3485 H01J37/3405 H01J37/3467

    Abstract: 기판상에 금속박막을 증착하는 방법이 개시된다. 본 발명에 의한 기판상에 금속박막을 증착하는 방법은 진공챔버 내부에 위치한 기판 장착대에 기판을 장착하는 단계, 진공펌프를 이용하여 상기 진공챔버 내부를 진공시키는 단계, 상기 진공챔버 내에 사용할 가스를 인입하여 내부의 압력을 일정한 압력으로 유지하는 단계, 및 상기 진공챔버에 장착된 마그네트론 스퍼터링 증착원에 양극성 펄스직류 전원장치에서 발생된 양극성 펄스직류를 인가하는 단계를 포함한다.

    Abstract translation: 公开了一种在衬底上沉积薄金属膜的方法。 根据本发明的在基板上沉积金属薄膜的方法包括以下步骤:将基板安装在位于真空室内部的基板安装台上; 使用真空泵对真空室进行抽真空; 通过将真空室内的气体注入真空室来保持真空室的内部压力恒定; 以及将在双极脉冲直流发电机处产生的双极脉冲直流电应用到安装在真空室上的磁控溅射沉积源。

    결정화도가 향상된 박막의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 박막
    5.
    发明授权
    결정화도가 향상된 박막의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 박막 有权
    制造具有高结晶度的薄膜的方法及其制造的薄膜

    公开(公告)号:KR101466975B1

    公开(公告)日:2014-12-01

    申请号:KR1020130076213

    申请日:2013-07-01

    CPC classification number: H01L21/02672 H01L21/324 H01L21/326 H01L27/1277

    Abstract: 본 발명은 결정화도가 향상된 박막의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 박막에 관한 것이다. 보다 상세하게는 결정화 촉매 금속 원소와 자기장을 동시에 적용함으로써 결정화도가 향상된 박막을 제조하는 방법 및 이에 의하여 제조된 박막에 관한 것이다. 본 발명은 결정화 촉매 금속을 이용하여 비정질 박막을 결정화하는 방법에 있어서 비정질 박막의 열처리시 자기장을 동시에 인가하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면 본 발명에 의하면, 열처리시 자기장을 인가함으로써 열처리시 자기장을 인가하지 않은 경우와 비교하여 결정화도가 높은 박막을 제조할 수 있다. 또한 결정화 촉매 금속 원소의 잔류량을 현저히 줄일 수 있다. 또한, 결정화 촉매 금속 원소의 이온 주입 조건을 조절함으로써 박막의 결정 사이즈를 조절할 수 있다. 또한 열처리 온도를 낮출 수 있으므로 플렉서블 기판(Flexible substrate)을 사용하는 경우에도 적용이 가능하다. 또한 열처리 온도가 낮고 열처리 시간도 단축할 수 있으므로 생산 비용을 줄일 수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种制造具有改善的结晶度的薄膜的方法和由该薄膜制造的薄膜,更具体地说,涉及通过施加结晶催化剂金属元素和磁场制造具有改善的结晶度的薄膜的方法 以及由其制造的薄膜。 根据本发明提供的使用结晶催化剂金属的非晶态薄膜的结晶方法,当进行非晶薄膜的热处理时,同时施加磁场。 根据本发明,通过在热处理期间施加磁场,与不施加磁场的情况相比,可以制造具有更高结晶度的薄膜。 此外,结晶催化剂金属元素的剩余量可以显着降低。 此外,可以通过调节结晶催化剂金属元素的离子注入的条件来调节薄膜的晶体尺寸。 此外,由于可以降低热处理温度,所以该方法可以应用于使用柔性基板的情况。 另外,由于热处理温度低,能够降低热处理时间,所以能够降低制造成本。

    고표면적의 구리나노입자를 포함하는 구리/아연/알루미늄 촉매 및 그 제조방법
    10.
    发明公开
    고표면적의 구리나노입자를 포함하는 구리/아연/알루미늄 촉매 및 그 제조방법 有权
    包含高表面积的铜纳米颗粒的CU / ZN / AL催化剂及其制备方法

    公开(公告)号:KR1020140060417A

    公开(公告)日:2014-05-20

    申请号:KR1020120126757

    申请日:2012-11-09

    Abstract: The present invention relates to a Cu/Zn/Al catalyst comprising nanoparticles having a high surface area and a method for producing the catalyst and, more particularly, to a Cu/Zn/Al catalyst comprising nanoparticles having a high surface area and a method for producing the catalyst, wherein the method comprises: a metal precursor solution production step of dissolving copper, zinc and aluminum precursors in an organic solvent to produce a metal precursor solution; a base aqueous solution production step of producing a base aqueous solution; a metal nanoparticle precipitation step of adding the produced base aqueous solution in the produced metal precursor solution, mixing and stirring the base aqueous solution and the metal precursor solution to precipitate metal nanoparticles; and a catalyst production step of collecting, cleaning, drying the precipitated metal nanoparticles, and plasticizing the precipitated metal nanoparticles to obtain a Cu/Zn/Al catalyst. According to the method of the present invention, a Cu/Zn/Al catalyst with superior vitality can be obtained.

    Abstract translation: 本发明涉及包含高表面积的纳米颗粒的Cu / Zn / Al催化剂和用于制备催化剂的方法,更具体地说,涉及包含具有高表面积的纳米颗粒的Cu / Zn / Al催化剂和用于 制备催化剂,其中所述方法包括:将铜,锌和铝前体溶解在有机溶剂中以生产金属前体溶液的金属前体溶液的制备步骤; 生产碱性水溶液的碱性水溶液生产步骤; 金属纳米颗粒沉淀步骤,将所制备的碱水溶液加入到所制备的金属前体溶液中,混合并搅拌碱水溶液和金属前体溶液以沉淀金属纳米颗粒; 以及催化剂制造步骤,收集,清洗,干燥沉淀的金属纳米颗粒,并使沉淀的金属纳米颗粒增塑,得到Cu / Zn / Al催化剂。 根据本发明的方法,可以获得具有优异活力的Cu / Zn / Al催化剂。

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