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公开(公告)号：KR101487271B1
公开(公告)日：2015-01-29
申请号：KR1020130096572
申请日：2013-08-14
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H01S3/117 , H01S3/08027 , H01S3/1062 , H01S3/1068 , H01S3/11 , H01S3/1103 , H01S3/1106 , H01S3/1109 , H01S3/1112 , H01S3/1623
Abstract: 본 발명은 레이저 광을 생성하는 펄스 레이저 장치에 관한 것으로, 공진기의 양쪽 끝에 배치되어 레이저 광을 반사시키는 제1미러와 제2미러, 상기 제1미러와 상기 제2미러 사이에 배치되고, 외부에서 입사된 광을 증폭하여 출력하는 이득매질, 레이저 광의 펄스폭을 조정하는 에탈론, 상기 제1미러와 상기 제2미러 사이에 배치되고, 레이저 광으로부터 모드록킹 및 Q-스위칭 출력과 버스트를 발생시키는 음향광학 변조기를 구비하고, 레이저 광 중 일부가 상기 제1미러 또는 상기 제2미러를 통하여 공진기 외부로 출력되는 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种激光装置，更具体地说，涉及一种控制激光器的脉冲宽度和脉冲能量的脉冲激光装置。 本发明涉及一种用于产生激光束的脉冲激光装置，包括安装在谐振器的两端侧并反射激光的第一和第二反射镜; 增益介质，其安装在第一和第二反射镜之间并放大并输出来自外部的入射光; 控制激光的脉冲宽度的标准具; 以及声光调制器，其安装在第一和第二反射镜之间并产生模式锁定，Q开关输出和来自激光的突发。 在本发明中，一些激光经由第一和第二反射镜输出到谐振器的外部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101682593B1
公开(公告)日：2016-12-05
申请号：KR1020150072797
申请日：2015-05-26
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H01S3/1109 , H01S3/115 , H01S3/127 , H01S3/1305
Abstract: 제1 미러와제2 미러, 이득매질, 모드록킹및 Q-스위칭을각각수행하는전기광학변조기들을구비하는공진기를포함하는단일펄스레이저장치에있어서, 상기공진기에서발진되는레이저광을측정하는포토다이오드; 상기레이저광을측정하여생성된전기신호를 TTL 신호로변환하는동기화부; 상기 TTL 신호에, 모드록킹및 Q-스위칭된펄스들간의동기화를시키기위하여결정된지연시간을설정하고, 상기지연시간에따라트리거 TTL 신호를출력하는지연부; 및상기트리거 TTL 신호를 Q-스위칭을수행하는전기광학변조기에입력하여동작시키는 Q-드라이버를포함한다.
Abstract translation: 提供单脉冲激光装置。 该装置包括具有执行每个模式锁定和Q开关的第一反射镜，第二镜，增益介质和电光调制器（EOM）的谐振器，该装置包括光电二极管，其测量从 谐振器，将通过测量激光产生的电信号转换为晶体管晶体管逻辑（TTL）信号的同步器;延迟单元，其设定为将锁定脉冲与Q切换脉冲同步的等待时间 TTL信号，并根据延迟输出触发TTL信号，以及将触发TTL信号输入到执行Q切换的EOM的Q驱动器，并使EOM工作。
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公开(公告)号：KR101542333B1
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：KR1020140191162
申请日：2014-12-26
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05G2/00
Abstract: 본발명은다중가스셀모듈을이용한극자외선빔 생성장치에관한것으로, 버퍼챔버의역할을하는보조가스셀을주 가스셀옆에추가하여진공챔버내에가스가직접유출되는것을막아서가스의확산속도를늦추어, 고진공을유지할수 있게함으로써보다고출력의연속적인극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV) 빔을생성할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用多气体单元模块产生极紫外光束的装置。 用作缓冲室的副气室放置在主气体单元旁边，以防止气体从真空室直接流出并降低气体的扩散速度。 因此，可以保持高真空状态，并且能够连续生成具有高功率的极紫外（EUV）。
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公开(公告)号：KR1020170141455A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：KR1020160074509
申请日：2016-06-15
Applicant: 한국과학기술연구원 , 주식회사 라이트팜텍
IPC: H01S5/0687 , H01S3/13 , H01S5/024 , H01S5/042 , H01S5/0683
Abstract: 본발명은레이저파장안정화시스템에관한것으로서, 레이저로부터도파하는광을일정비율로나누는광 커플러; 상기광 커플러로부터전달받은광의특정파장영역만투과시키는제1 광학필터및 제2 광학필터; 상기제1 광학필터및 제2 광학필터를통과한광이전압신호로변환되어안정화신호가생성되면, 상기안정화신호를입력받아동조신호를생성하는피드백제어기; 및상기동조신호를입력받아상기레이저의온도를조절하는온도제어기를포함한다.
Abstract translation: 激光波长稳定系统技术领域本发明涉及一种激光波长稳定系统，其包括：光耦合器，用于以预定比率分割从激光器引导的光; 第一光学滤波器和第二光学滤波器仅传输从光耦合器接收的光的特定波长区域; 反馈控制器，用于当通过将通过第一光学滤波器和第二光学滤波器的光转换成电压信号而产生稳定信号时，接收稳定信号并产生调谐信号; 还有一个温度控制器，接收调谐信号并调节激光器的温度。
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公开(公告)号：KR101797118B1
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：KR1020160056385
申请日：2016-05-09
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H01S3/10046 , H01S3/08027 , H01S3/08054 , H01S3/094076 , H01S3/1024 , H01S3/1062 , H01S3/1068 , H01S3/1075 , H01S3/1103 , H01S3/1106 , H01S3/1109 , H01S3/115 , H01S3/117 , H01S3/127 , H01S3/1305 , H01S3/1306 , H01S2301/02 , H01S5/0262 , H01S5/1234
Abstract: 본발명은단일펄스레이저장치로서, 제1 미러와제2 미러, 이득매질, 단일펄스스위칭을수행하는전기광학변조기및 모드록킹을수행하는음향광학변조기를구비하는공진기를포함하고, 상기공진기에서발진되는레이저광을측정하는포토다이오드; 상기레이저광을측정하여생성된전기신호를 TTL 신호로변환하는동기화부; 상기 TTL 신호에, 상기전기광학변조기및 상기음향광학변조기를동기화하기위한지연시간을설정하고, 상기지연시간에따라트리거 TTL 신호를출력하는지연부; 상기트리거 TTL 신호를, 모드록킹을수행하는음향광학변조기에입력하여동작시키는음향광학변조기드라이버; 및상기트리거 TTL 신호를, 단일펄스스위칭을수행하는전기광학변조기에입력하여동작시키는전기광학변조기드라이버를포함한다.
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公开(公告)号：KR101500688B1
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：KR1020140065251
申请日：2014-05-29
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/0297 , G01J3/10 , G01J3/28 , G01J3/2803 , G01J2003/282
Abstract: 본 발명은 극자외선 분광기 캘리브레이션 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 극자외선 노광기술, 마스크 검사기술에 이용되는 극자외선 광의 스펙트럼의 파장을 정확하게 측정할 수 있는 효과가 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于极紫外光谱仪校准的装置和方法，以便精确测量在极紫外曝光技术中使用的极紫外光谱的波长和掩模检查技术。 根据本发明的用于极紫外光谱仪校准的装置包括：极紫外线发生模块; 铝过滤器 衍射光栅; 拍摄与衍射光栅分离的特定波段的波长的极紫外光的CCD照相机; 频谱转换模块; 和控制模块。
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