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1.发明专利
公开(公告)号：KR20210027220A
公开(公告)日：2021-03-10
申请号：KR1020200111756A
申请日：2020-09-02
CPC classification number: A61B5/6821 , A61B3/10 , A61B5/398 , G02C7/04 , A61B2562/12 , A61B2562/16
Abstract: 본 발명은 망막 전위도 검사용 광원 일체형 콘택트렌즈로서, 광원; 상기 광원으로부터의 빛을 산란하는 산란 물질; 및 상기 광원으로부터의 자극에 의한 망막 전위도 변화를 측정하기 위한 전극;을 포함하는 망막전위도 검사용 광원 일체형 콘택트렌즈 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：WO2022260331A1
公开(公告)日：2022-12-15
申请号：PCT/KR2022/007671
申请日：2022-05-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L31/103 , H01L31/18 , H01L31/0224
Abstract: 본 발명의 일 실시에에 따른 포토다이오드는 원호 섹션을 포함하고, 상기 원호 섹션은, 제1 곡률을 가진 내측 곡선부; 제1 방향으로 이격되고 상기 내측 곡선부와 동일한 구조를 가진 외측 곡선부; 상기 내측 곡선부의 일단에서 상기 외측 곡선부의 중심으로부터 반경 방향으로 연장되는 제1 반경부; 상기 내측 곡선부의 타단에서 상기 외측 곡선부의 중심으로부터 반경 방향으로 연장되는 제2 반경부; 상기 제1 반경부와 상기 외측 곡선부의 일단을 연결하는 제1 직선부; 및 상기 제1 반경부와 상기 외측 곡선부의 타탄을 연결하는 제2 직선부를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2021045509A1
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：PCT/KR2020/011793
申请日：2020-09-02
Abstract: 본 명세서는 망막 전위도 검사용 광원 일체형 콘택트렌즈로서, 광원; 상기 광원으로부터의 빛을 산란하는 산란 물질; 및 상기 광원으로부터의 자극에 의한 망막 전위도 변화를 측정하기 위한 전극;을 포함하는 망막전위도 검사용 광원 일체형 콘택트렌즈 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：WO2022065586A1
公开(公告)日：2022-03-31
申请号：PCT/KR2020/016586
申请日：2020-11-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L31/0236 , H01L31/103 , H01L31/18
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘 포토다이오드는, 제1 도전 영역 및 상기 제1 도전 영역과 수평으로 이격되어 배치된 제2 도전 영역을 구비한 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판 상에 형성된 랜덤하게 배치된 복수의 금속 나노 입자들; 상기 금속 나노 입자들을 덮는 무반사층; 상기 무반사층을 관통하여 상기 제1 도전 영역에 연결되는 제1 콘택; 및 상기 무반사층을 관통하여 상기 제2 도전 영역에 연결되는 제2 콘택을 포함한다.
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公开(公告)号：WO2020060066A1
公开(公告)日：2020-03-26
申请号：PCT/KR2019/011105
申请日：2019-08-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명의 일 실시에에 따른 멤스 소자는, 적외선 센서를 구비한 센서 기판; 및 상기 하부 기판과 접합되어 케비티를 구성하는 캡 기판을 포함한다. 상기 캡 기판은, 상부 기판; 상기 상부 기판의 상부면에 형성된 나방눈(Moth-eye) 구조의 상부 패턴; 상기 상부 패턴을 마주보도록 배치되고 상기 상부 기판의 하부면에서 함몰된 케비티 영역에 형성된 나방눈(Moth-eye) 구조의 하부 패턴; 상기 하부 패턴의 주위에 배치되고 상기 케비티 영역 내에 배치된 게터; 상기 상부 기판의 하부면에서 상기 케비티 영역보다 돌출되고 상기 상부 기판과 동일한 구조와 재질을 가지고 상기 케비티 영역을 감싸도록 배치된 격벽; 상기 상부 기판의 하부면에서 상기 케비티 영역의 배치평면보다 더 함몰되고 상기 격벽을 감싸도록 배치된 절단 부위; 및 상기 격벽의 하부면에 배치된 상부 본딩 패드;를 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2022250260A1
公开(公告)日：2022-12-01
申请号：PCT/KR2022/003599
申请日：2022-03-15
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 MEMS 소자의 제조 방법은, 실리콘 기판 상에 복수의 MEMS 소자들을 형성하는 단계; 스텔스 다이싱 정렬키를 포함하고 상기 스텔스 다이싱 정렬키와 연속적으로 연결되고 상기 MEMS 소자들을 서로 분리하고 상기 실리콘 기판 상에 모든 박막을 제거하는 스텔스 다이싱 패턴을 형성하는 단계; 상기 실리콘 기판의 하부면에서 상기 스텔스 다이싱 정렬키에 정렬된 백사이드 정렬키와 MEMS 소자와 정렬된 백사이드 식각 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 스텔스 다이싱 패턴을 따라 레이저 빔을 조사하여 상기 실리콘 기판을 다이싱하는 단계;를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2021182813A2
公开(公告)日：2021-09-16
申请号：PCT/KR2021/002799
申请日：2021-03-08
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J5/20 , B81C1/00 , B81B7/00 , B81B7/0032 , B81C1/00039 , B81C1/00063 , B81C1/00087 , B81C2203/03
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 멤스 소자는, 하부 기판; 및 상기 하부 기판에 형성된 적외선 센서를 포함한다. 상기 적외선 센서는, 상기 하부 기판의 상부면에 형성되어 검출회로와 전기적으로 연결되는 금속 패드; 상기 금속 패드와 동일한 평면에 배치되고 상기 하부 기판의 상부면에 형성되고 적외선 대역을 반사하는 반사층; 상기 반사층을 덮도록 배치되고 광경로 거리를 변경하는 투과층; 상기 투과층의 상부에 이격되어 형성되고 적외선을 흡수하여 저항을 변화시키는 흡수판; 및 상기 금속 패드의 상부에 형성되어 상기 흡수판을 지지하고 상기 금속 패드와 상기 흡수판을 전기적으로 연결하는 앵커를 포함한다. 상기 반사층의 상부면과 상기 흡수판의 하부면 사이의 거리는 특정 적외선 파장에서 파장/4 보다 작다.
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8.发明申请칩 스케일 원자시계를 위한 전기 광학 기능이 구비된 증기셀 및 칩 스케일 기기를 위한 밀폐용기 제작 방법 审中-公开用于芯片尺寸原子钟的包含电光功能的蒸气池以及用于制造用于芯片尺寸仪器的密封容器的方法
公开(公告)号：WO2017018846A1
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：PCT/KR2016/008332
申请日：2016-07-29
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G04F5/14
CPC classification number: G04F5/14
Abstract: 본 발명에 의하면, 제 1 및 제 2 유리기판을 지지하는 실리콘 몸체 자체가 전열 장치로서의 역할도 수행하기 때문에 관통부 내부의 온도를 일정하게 유지시킬 수 있다. 게다가, 관통부 내부의 온도를 조절하기 위하여 히터와 같은 전열 장치를 별도로 구비하거나, 추가적인 가열 패턴을 형성할 필요가 없기 때문에 증기셀의 제작 공정을 간소화시킬 수 있다. 본 발명에 의하면, 밀폐용기에 다른 물질의 개입 없이 기체 상태의 반응성 물질 및 버퍼 가스만 주입시킬 수 있으며, 증기셀 영역 자체에 반응성 물질의 필을 실장하기 위한 별도의 공간을 마련하지 않아도 되기 때문에 밀폐용기의 크기를 작게 할 수 있다.
Abstract translation: 根据本发明，由于支撑第一和第二玻璃基板的硅体本身也具有电加热装置的作用，因此贯通部件内部的温度可以保持恒定。 此外，由于不需要包括诸如加热器的单独的电加热装置或为了形成额外的加热模式来控制通孔内部的温度，因此可以简化蒸气发生器的制造工艺 。 根据本发明，只有气体状态的反应性材料和缓冲气体才能被注入到密封容器中而不用其他材料的干预，并且密封容器的尺寸可以减小，因为不需要制备单独的 用于将反应材料的丸剂安装在蒸气室区域本身中的空间。
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公开(公告)号：KR101867054B1
公开(公告)日：2018-07-23
申请号：KR1020160098182
申请日：2016-08-01
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 기판및 상기기판의단부를지지하여소정의높이로현수할수 있는지지부로이루어진현수프레임을복수개로포함하며, 상기복수개의현수프레임이적층배열되는구조를가지는원자시계물리부가제공된다. 상기물리부는상기지지부각각에형성된관통영역이서로상하로연결되어형성된연결관통부내부에는자기차폐막이배치되며, 상기자기차폐막으로둘러싸인내부영역에는광 발생부가장착된제 1 현수프레임, 상기제 1 현수프레임의상부에배치되고상기광 발생부로부터발생된레이저광이입사되고출사되는증기셀이장착된제 2 현수프레임및 상기제 2 현수프레임상부에배치되고상기증기셀로부터출사되는광을수신하는광 검출부가장착된제 3 현수프레임이포함되며, 상기현수프레임중 적어도어느하나의기판은일면에금속배선이형성된유연기판이며, 상기금속배선은상기현수프레임의지지부의최외곽면까지연장되어외부전원공급배선과연결되는구성을가진다.
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公开(公告)号：KR101709557B1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：KR1020150108253
申请日：2015-07-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G04F5/14
Abstract: 본발명에따른칩 스케일원자시계를위한전기광학기능이구비된증기셀은, 반응성물질이수용되는공간인관통부를구비하는실리콘몸체; 상기실리콘몸체의일면에배치되어상기관통부의일측을폐색하는제 1 유리기판; 및상기실리콘몸체의타면에배치되어상기관통부의타측을폐색하는제 2 유리기판을포함하여형성되되, 상기관통부내부의온도를조절하기위하여상기실리콘몸체에전압이인가되는것을특징으로한다. 본발명에의하면, 제 1 및제 2 유리기판을지지하는실리콘몸체자체가전열장치로서의역할도수행하기때문에관통부내부의온도를일정하게유지시킬수 있다. 게다가, 관통부내부의온도를조절하기위하여히터와같은전열장치를별도로구비하거나, 추가적인가열패턴을형성할필요가없기때문에증기셀의제작공정을간소화시킬수 있다.
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