볼로미터 멤스 소자 및 볼로미터 멤스 소자의 제조 방법

    公开(公告)号:WO2021182813A2

    公开(公告)日:2021-09-16

    申请号:PCT/KR2021/002799

    申请日:2021-03-08

    Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 멤스 소자는, 하부 기판; 및 상기 하부 기판에 형성된 적외선 센서를 포함한다. 상기 적외선 센서는, 상기 하부 기판의 상부면에 형성되어 검출회로와 전기적으로 연결되는 금속 패드; 상기 금속 패드와 동일한 평면에 배치되고 상기 하부 기판의 상부면에 형성되고 적외선 대역을 반사하는 반사층; 상기 반사층을 덮도록 배치되고 광경로 거리를 변경하는 투과층; 상기 투과층의 상부에 이격되어 형성되고 적외선을 흡수하여 저항을 변화시키는 흡수판; 및 상기 금속 패드의 상부에 형성되어 상기 흡수판을 지지하고 상기 금속 패드와 상기 흡수판을 전기적으로 연결하는 앵커를 포함한다. 상기 반사층의 상부면과 상기 흡수판의 하부면 사이의 거리는 특정 적외선 파장에서 파장/4 보다 작다.

    멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법

    公开(公告)号:WO2020060066A1

    公开(公告)日:2020-03-26

    申请号:PCT/KR2019/011105

    申请日:2019-08-30

    Abstract: 본 발명의 일 실시에에 따른 멤스 소자는, 적외선 센서를 구비한 센서 기판; 및 상기 하부 기판과 접합되어 케비티를 구성하는 캡 기판을 포함한다. 상기 캡 기판은, 상부 기판; 상기 상부 기판의 상부면에 형성된 나방눈(Moth-eye) 구조의 상부 패턴; 상기 상부 패턴을 마주보도록 배치되고 상기 상부 기판의 하부면에서 함몰된 케비티 영역에 형성된 나방눈(Moth-eye) 구조의 하부 패턴; 상기 하부 패턴의 주위에 배치되고 상기 케비티 영역 내에 배치된 게터; 상기 상부 기판의 하부면에서 상기 케비티 영역보다 돌출되고 상기 상부 기판과 동일한 구조와 재질을 가지고 상기 케비티 영역을 감싸도록 배치된 격벽; 상기 상부 기판의 하부면에서 상기 케비티 영역의 배치평면보다 더 함몰되고 상기 격벽을 감싸도록 배치된 절단 부위; 및 상기 격벽의 하부면에 배치된 상부 본딩 패드;를 포함한다.

    다자간 통신에서의 액티브 네트워킹 기술을 이용한흐름제어 방법
    9.
    发明授权
    다자간 통신에서의 액티브 네트워킹 기술을 이용한흐름제어 방법 失效
    다자간통신에서의액티브네트워킹기술을이용한흐름제어방

    公开(公告)号:KR100383665B1

    公开(公告)日:2003-05-16

    申请号:KR1020000083261

    申请日:2000-12-27

    Abstract: PURPOSE: A method for controlling flow by using an active network technique in multipoint communication is provided to provide the scalability even though receivers are increased or are in a wide area, and minimize packet loss in even case that congested situation is generated within a network. CONSTITUTION: Data packets arrive at receivers and intermediate nodes(201). It is determined whether the packets are the first arrived packets of multicast communication(202). A soft storage in the node is initialized to start controlling multicast flow included in a program(203). Data packets arrived at the nodes, are saved at a buffer(204). An output port enabling transmission is searched(207). If data packet is in priority to be transmitted to the corresponding output port(208), data packet is duplicated ad transmitted to bottom nodes in case that the number of allowable credit to the corresponding bottom node is larger than 0(209). If the current node is the final receiver(205), packets are transmitted to an application layer and counter is increased by 1(206). If the counted value becomes a reference counter of flow control and a double number of credit update unit(211), the current node decides the amount of packets receivable from the top node based on the size of virtual buffer to each bottom node and generates credit packets including related information to the top node(213). It is determined whether data packets were transmitted to all corresponding output ports or the application layer(214).

    Abstract translation: 目的:提供一种在多点通信中通过使用主动网络技术来控制流的方法,以提供即使接收器增加或处于广域中也具有可扩展性,并且即使网络中产生拥塞情况也能使包丢失最小化。 构成:数据包到达接收机和中间节点(201)。 确定分组是否是多播通信的第一个到达的分组(202)。 初始化节点中的软存储器以开始控制包含在程序中的组播流(203)。 到达节点的数据包被保存在缓冲区(204)。 搜索(207)输出端口使能传输。 如果数据分组优先被发送到相应的输出端口(208),则在对应的底部节点的允许信用数量大于0的情况下,数据分组被复制和传输到底部节点(209)。 如果当前节点是最终接收器(205),则将分组发送到应用层并且将计数器增加1(206)。 如果计数值变为流量控制的参考计数器和双倍信用更新单元(211),则当前节点基于到每个底部节点的虚拟缓冲区的大小来确定从顶端节点可接收的分组量,并生成信用 将包括相关信息的分组发送给顶层节点(213)。 确定数据分组是否被发送到所有对应的输出端口或应用层(214)。

    칩 스케일 원자시계
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:KR102244798B1

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:KR1020190062685

    申请日:2019-05-28

    Inventor: 박종철 이종권

    Abstract: 본발명의일 관점에따르면, 광발생부; 및상기광 발생부와이격되어배치되며, 상기광 발생부로부터발생된레이저광이입사되고출사되는증기셀과상기증기셀로부터출사되는광을수신하는광 검출부가접합되어구성된융합소자; 를포함하는, 칩스케일원자시계의물리부를제공한다.

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