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1.发明申请나노전사 프린팅 방법 및 이를 이용하여 제작되는 SERS 기판， SERS 바이얼 및 SERS 패치 审中-公开NANOTRANSFER印刷方法和SERS基材，SERS VIAL和SERS PATCH制造使用相同
公开(公告)号：WO2016068538A1
公开(公告)日：2016-05-06
申请号：PCT/KR2015/011082
申请日：2015-10-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 일실시예에 따른 나노전사 프린팅 방법은 표면 패턴이 형성된 템플릿 기판 상에 고분자 박막을 코팅하는 단계; 상기 고분자 박막 및 접착 필름을 이용하여 상기 고분자 박막을 복제 박막 몰드로 제작하는 단계; 상기 복제 박막 몰드 상에 나노구조체를 형성하는 단계; 상기 접착 필름과 상기 복제 박막 몰드간 접착력을 선택적으로 약화시키는 단계; 및 상기 나노구조체를 대상 물체에 전사하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 根据实施方案的纳米转印印刷方法包括以下步骤：用聚合物薄膜涂覆其上形成有表面图案的模板基材; 使用聚合物薄膜和粘合膜从聚合物薄膜制造复制薄膜模具; 在复制薄膜模具上形成纳米结构; 选择性地削弱粘合膜和复制薄膜模具之间的粘合力; 并将纳米结构转移到目标物体上。
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公开(公告)号：KR1020150125291A
公开(公告)日：2015-11-09
申请号：KR1020140052377
申请日：2014-04-30
Abstract: 본발명은기판을준비하는단계; 및상기기판에서로다른 2 이상의블록공중합체를차례로코팅및 산화시키는단계를포함하고, 상기코팅및 산화된블록공중합체의굴절률은먼저코팅및 산화된것이나중에코팅및 산화된것보다크고, 상기블록공중합체는서로다른 2 이상의블록을포함하며, 상기블록중 어느하나는실리콘을포함하는기판제조방법및 기판을제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种基板及其制造方法，包括：准备基板的步骤; 依次在基材上涂布和氧化两种或更多种不同的嵌段共聚物的步骤，其中预先涂覆和氧化的嵌段共聚物具有比后来涂覆和氧化的嵌段共聚物更高的经涂覆和氧化的嵌段共聚物的折射率 ，并且嵌段共聚物包含两个或更多个不同的嵌段，并且嵌段中的一个嵌段含有硅。
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公开(公告)号：KR101655154B1
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：KR1020140052377
申请日：2014-04-30
Abstract: 본발명은기판을준비하는단계; 및상기기판에서로다른 2 이상의블록공중합체를차례로코팅및 산화시키는단계를포함하고, 상기코팅및 산화된블록공중합체의굴절률은먼저코팅및 산화된것이나중에코팅및 산화된것보다크고, 상기블록공중합체는서로다른 2 이상의블록을포함하며, 상기블록중 어느하나는실리콘을포함하는기판제조방법및 기판을제공한다.
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Patent Agency Ranking4.发明授权블록 공중합체의 유도 자기 조립을 이용한 동심원 나노갭 구조 기반 표면강화 라만 분광 기판 및 그 제조 방법 有权使用方向自组装的嵌段共聚物的基于纳米结构的表面增强的拉曼散射基板及其制造方法
公开(公告)号：KR101555306B1
公开(公告)日：2015-09-25
申请号：KR1020140125053
申请日：2014-09-19
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J3/44
Abstract: 본 발명에 따른 표면강화 라만 분광기판의 제조 방법은 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 규칙적으로 배열되는 원형 구조체를 형성하는 단계; 상기 기판 및 상기 원형 구조체 상에 제1 증착 금속을 1차적으로 코팅하는 단계; 상기 원형 구조체를 제거하여 나노 크기의 구멍을 형성하는 단계; 상기 나노 크기의 구멍 상에 서로 다른 2 이상의 블록 공중합체의 코팅, 유도 자기 조립 과정 및 산화를 통해 동심원 나노 구조체를 형성하는 단계; 상기 동심원 나노 구조체 상에 제2 증착 금속을 2차적으로 코팅하는 단계; 및 상기 제2 증착 금속의 식각을 통해 복수의 동심원 금속 나노갭을 형성하는 단계;를 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的表面增强拉曼散射基板的制造方法包括以下步骤：制备基板; 形成规则地布置在基板上的圆形结构; 首先用第一沉积金属涂覆基底和圆形结构; 通过去除圆形结构形成纳米孔; 通过涂层在纳米孔上形成同心纳米结构，诱导磁体自组装，两种或更多种不同的嵌段共聚物的氧化; 其次用第二沉积金属涂覆同心纳米结构; 以及通过蚀刻所述第二沉积金属形成多个同心金属纳米膜。
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公开(公告)号：KR101932195B1
公开(公告)日：2018-12-24
申请号：KR1020170140942
申请日：2017-10-27
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 빠르고 손쉬운 전기화학적 방법을 이용해 고밀도의 나노갭(nanogap)을 갖는 금속 나노구조체, 예컨대, 금(Au) 나노구조를 형성하고, 이를 통한 폭넓은 플라즈모닉 공명(plasmonic resonance) 위치를 갖는 표면강화 라만 분광용(Surface Enhanced Raman Spectroscopy; SERS) 기판의 제조방법에 관한 것이다. 구체적으로는, 본 발명은 기판 상에 금속 박막을 증착시키고, 수용액 상에서 상기 금속 박막의 표면에 양극전압을 인가하여 전기화학적 산화반응 및 환원반응을 수행함으로써 고밀도의 나노기둥, 나노기공, 나노입자 및 10nm 이하의 나노갭 또는 이들의 조합을 포함하는 금속 나노구조체를 포함하고, 플라즈모닉 공명 위치의 제어를 통해 표면강화 라만 분광 신호의 극대화할 수 있는 표면강화 라만 분광용 기판의 제조방법을 제공할 수 있다. 나아가, 검출 면적 내에 수많은 금속 나노구조체를 포함, 특히 10nm 이하의 나노갭을 포함할 수 있으므로 다수의 나노갭으로부터 발생하는 라만 신호 증폭을 통해 표면강화 라만 분광 신호의 균일성 및 재현성을 보다 높은 수준으로 확보할 수 있으므로, 식품 내 유해인자 탐지 및 분석에 용이하게 사용될 수 있다. 또한 종래의 리소그래피 기술을 배제하되 수용액 중에서 전기화학공정을 통해 금속 나노구조체를 형성함으로써 대면적화에 응용가능하고, 제작비용 절감, 공정 편의성 등의 효과도 기대된다.
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公开(公告)号：KR1020170032093A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：KR1020150129896
申请日：2015-09-14
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/02 , H01L29/06 , H01L21/027 , H01L21/70
Abstract: 일실시예에따른나노전사프린팅방법은표면패턴이형성된템플릿기판상에고분자박막을코팅하는단계; 상기고분자박막및 접착필름을이용하여상기고분자박막을복제박막몰드로제작하는단계; 상기복제박막몰드상에나노구조체를형성하는단계; 상기접착필름과상기복제박막몰드간접착력을선택적으로약화시키는단계; 및상기나노구조체를대상물체에전사하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101932334B1
公开(公告)日：2019-03-20
申请号：KR1020170035880
申请日：2017-03-22
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027 , H01L21/3065 , G03F7/00 , H01L21/02 , H01L21/324
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8.发明授权
公开(公告)号：KR101761010B1
公开(公告)日：2017-07-25
申请号：KR1020150129896
申请日：2015-09-14
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/02 , H01L29/06 , H01L21/027 , H01L21/70
Abstract: 일실시예에따른나노전사프린팅방법은표면패턴이형성된템플릿기판상에고분자박막을코팅하는단계; 상기고분자박막및 접착필름을이용하여상기고분자박막을복제박막몰드로제작하는단계; 상기복제박막몰드상에나노구조체를형성하는단계; 상기접착필름과상기복제박막몰드간접착력을선택적으로약화시키는단계; 및상기나노구조체를대상물체에전사하는단계를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例，提供了一种纳米转印印刷方法，包括：在其上形成有表面图案的模板基板上涂覆聚合物薄膜; 使用聚合物薄膜和粘合膜制造聚合物薄膜作为复制薄膜模具; 在复制薄膜模具上形成纳米结构; 选择性地弱化粘合剂膜和复制薄膜模具之间的粘合力; 并将纳米结构转移到目标物体上。
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