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公开(公告)号：KR1020080082265A
公开(公告)日：2008-09-11
申请号：KR1020070022899
申请日：2007-03-08
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L39/2432 , C23C14/562 , H01L39/2422
Abstract: An apparatus for continuously manufacturing a superconducting tape is provided to apply an EDDC(Evaporation using Drum in Dual Chamber) scheme to an arbitrarily long tape member by continuously supplying and recollecting the tape without damaging the superconducting tape. An apparatus for continuously manufacturing a superconducting tape includes a chamber, a hollow cylindrical drum(102), a release reel(104a), a winding reel(104b), and a transfer unit. A superconducting material is deposited in the chamber. The hollow cylindrical drum is installed in the chamber and arranges a superconducting tape material on an outer periphery thereof. The cylindrical drum heats the superconducting tape material. The release reel is installed on one end of the cylindrical drum and supplies the superconducting tape material, on which the superconducting material is deposited. The winding reel is implemented on the other end of the cylindrical drum and recollects the superconducting tape material after a deposition process. The transfer unit transfers the superconducting tape material from the release reel to the winding reel.
Abstract translation: 提供一种用于连续制造超导带的设备，用于通过连续地提供和回收带而不损坏超导带来将EDDC（使用双腔蒸发鼓）方案应用于任意长的带部件。 一种用于连续制造超导带的装置，包括一个腔室，一个中空的圆筒形鼓（102），一个释放卷轴（104a），一个卷绕卷轴（104b）和一个传送单元。 超导材料沉积在腔室中。 中空圆柱形滚筒安装在腔室中，并在其外周上布置超导带材料。 圆柱形滚筒加热超导带材料。 释放卷轴安装在圆筒形滚筒的一端，并提供超导材料，超导材料在其上沉积。 卷绕卷轴在圆柱形滚筒的另一端上实现，并且在沉积工艺之后重新收集超导带材料。 转印单元将超导带材料从释放卷轴传送到卷绕卷轴。
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公开(公告)号：KR100856545B1
公开(公告)日：2008-09-04
申请号：KR1020070055508
申请日：2007-06-07
IPC: H01L21/203 , H01L21/20 , H01L21/02 , B82Y40/00
CPC classification number: H01L21/02601 , B82Y40/00 , C23C14/223 , C23C14/3407 , H01L21/02266
Abstract: A method and an apparatus for fabricating a thin film by using a nano-particle beam are provided to form easily the thin film having a complicated ratio of components by eliminating an additional chemical reaction. Nano-particles are formed by using nano-powders(106) as components of a thin film. The nano-particles are electrified. The electrified nano-particles are changed into the accelerated nano-particle beams by applying electric field to the electrified nano-particles. The accelerated nano-particle beams become components of a thin film by causing collision between the accelerated nano-particle beams and a substrate(136). The process for electrifying the nano-particles includes a process for generating plasma in a mixing state of the nano-powders and an inert gas.
Abstract translation: 提供了通过使用纳米粒子束制造薄膜的方法和装置，通过消除额外的化学反应容易地形成具有复杂比例的组分的薄膜。 通过使用纳米粉末（106）作为薄膜的组分形成纳米颗粒。 纳米颗粒通电。 带电的纳米粒子通过向带电的纳米粒子施加电场而变成加速的纳米粒子束。 通过引起加速的纳米粒子束与衬底（136）之间的碰撞，加速的纳米粒子束成为薄膜的成分。 用于使纳米颗粒带电的方法包括在纳米粉末和惰性气体的混合状态下产生等离子体的方法。
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公开(公告)号：KR1019990046937A
公开(公告)日：1999-07-05
申请号：KR1019970065111
申请日：1997-12-01
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 연속적으로 공급되는 띠형 기판 상에 균일한 박막, 예컨대 고온초전도물질의 박막을 형성하는 방법 및 그에 사용되는 장치에 관해 개시하고 있다. 본 발명은, BaCuO
2 , CuO 및 Y
2 O
3 등의 금속산화물을 가늘고 긴 막대형태로 소결한 것을 레이저로 동시에 가열하여 증발시킴으로써 연속된 띠형 금속기판에 고온 초전도체박막을 형성하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 균일한 성질을 나타내는 고온 초전도체 단결정 박막을 연속적으로 제조할 수 있으며, 원통형 챔버의 내벽 전체에 띠형 금속기판을 나선형으로 감아 이동시키면서, 빠른 속도로 대량 생산할 수 있다.-
公开(公告)号：KR100340784B1
公开(公告)日：2002-06-20
申请号：KR1019990057015
申请日：1999-12-13
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L39/2454 , B21B3/00 , C30B1/00 , C30B23/02 , C30B25/18 , C30B29/02 , C30B29/22 , C30B29/225
Abstract: 고온초전도체테이프를제작하기위한테이프형금속기판및 그제조방법에관해개시하고있다. 본발명의기판은 99.9% 이상의순도를가진니켈의결정방향이그 [100]축은테이프면과평행이고, 그 [001]축은상기테이프면에대해일정각도로기울어진것을특징으로한다. 이러한기판을제작하기위해, 순도 99.9% 이상의테이프형니켈을압연-스폿용접-이동식열처리한다. 본발명에따르면, 매우긴 길이의테이프형니켈기판을단결정수준으로제작할수 있다. 이러한니켈기판상에코팅된완충막및 고온초전도막의결정축배열은테이프전체길이에대해서완전성을보이고큰 막두께에대해서도안정성을보인다. 따라서, 이러한결정성에의해테이프전체길이에대한임계전류밀도를매우크게할 수있고, YBCO 고온초전도막의두께를두껍게함으로서총 임계전류도크게할 수있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110039049A
公开(公告)日：2011-04-15
申请号：KR1020090096320
申请日：2009-10-09
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/205 , H01L21/02
CPC classification number: C23C14/0021 , C23C14/505
Abstract: PURPOSE: A tape substrate thin film forming apparatus is provided to improve the productivity by forming the thin film on the substrate while transferring the tape substrate continuously using wheels. CONSTITUTION: A rotary drum(200) is divided into an area where a reaction gas supplying tube(210) is installed on and an open area(220). A bearing(41) for rotation is installed on the rotary drum. A heater(410) is installed on the outside of the lower of a fixed drum(300). A tape substrate(10) is located between the reaction gas supply pipe and the opened area.
Abstract translation: 目的：提供一种胶带基片薄膜形成装置，用于通过在使用轮连续传送带基片的同时在基片上形成薄膜来提高生产率。 构成：将旋转鼓（200）分为安装有反应气体供给管（210）的区域和开放区域（220）。 用于旋转的轴承（41）安装在旋转滚筒上。 加热器（410）安装在固定鼓（300）的下部的外侧。 胶带基板（10）位于反应气体供给管和打开区域之间。
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公开(公告)号：KR1020010055735A
公开(公告)日：2001-07-04
申请号：KR1019990057015
申请日：1999-12-13
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L39/2454 , B21B3/00 , C30B1/00 , C30B23/02 , C30B25/18 , C30B29/02 , C30B29/22 , C30B29/225
Abstract: PURPOSE: A tape type metal substrate is provided to have the crystal form of a single crystal level and maintain the direction and alignment of a crystal even when an YBCO film is thickly grown in more than several micrometers. CONSTITUTION: A tape type metal substrate rolls nickel metal having the purity of 99.9% or more into a tape type. The tape type substrate(20) is partially heated. The partially heated substrate is slowly passed through a heating furnace(10) so that its £100| axis can be parallel to the tape surface and its £001| axis can be inclined by an angle of 20-30 degree against the tape surface, in the crystal direction of nickel.
Abstract translation: 目的：提供带状金属基板以具有单晶层的晶体形式，并且即使当YBCO膜在几个微米厚度生长时也保持晶体的方向和取向。 构成：带状金属基材将纯度为99.9％以上的镍金属卷成带状。 带状基材（20）被部分加热。 部分加热的基底缓慢通过加热炉（10），使其£100 | 轴可以平行于磁带表面和其£001 | 在镍的晶体方向上，轴可以相对于带表面倾斜20-30度的角度。
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公开(公告)号：KR100232062B1
公开(公告)日：1999-12-01
申请号：KR1019970065111
申请日：1997-12-01
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 연속적으로 공급되는 띠형 기판 상에 균일한 박막, 예컨대 고온초전도물질의 박막을 형성하는 방법 및 그에 사용되는 장치에 관해 개시하고 있다. 본 발명은, BaCuO
2 , CuO 및 Y
2 O
3 등의 금속산화물을 가늘고 긴 막대형태로 소결한 것을 레이저로 동시에 가열하여 증발시킴으로써 연속된 띠형 금속기판에 고온 초전도체박막을 형성하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 균일한 성질을 나타내는 고온 초전도체 단결정 박막을 연속적으로 제조할 수 있으며, 원통형 챔버의 내벽 전체에 띠형 금속기판을 나선형으로 감아 이동시키면서, 빠른 속도로 대량 생산할 수 있다.-
公开(公告)号：KR101055611B1
公开(公告)日：2011-08-09
申请号：KR1020090096320
申请日：2009-10-09
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/205 , H01L21/02
Abstract: 테이프 기판의 박막 형성장치에 관하여 개시한다. 본 발명의 장치는, 진공 챔버와; 반응가스 공급관이 설치되고 소스가스들이 유입될 수 있도록 개방 영역이 있는 회전 드럼과; 회전 드럼 내측에 설치되며, 가열장치가 설치된 고정 챔버와; 드럼들을 사이에 두고 일측에 형성되는 테이프 기판 공급 바퀴 및 타측에 설치되는 테이프 기판 회수 바퀴가 구비되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 종래의 드럼에 기판을 감아서 회전시키면서 박막을 형성하는 경우와는 달리 바퀴들을 이용하여 테이프 기판을 계속적으로 이송하면서 기판에 박막을 형성하므로 생산성이 향상되고 용이하게 고품질의 박막을 형성할 수 있다.
테이프 기판, 고정 드럼, 회전 드럼, 바퀴, 차동 배기튜브, 가열장치, 반응가스 공급관Abstract translation: 将描述用于带基底的薄膜形成设备。 本发明的设备包括：真空室; 一种旋转滚筒，其中安装有反应气体供应管，并且其中设置有开放区域以便能够引入源气体; 设置在旋转滚筒内部并设有加热装置的固定室; 提供在其一侧形成有鼓之间的带基材供给轮和设置在另一侧的带基材输出轮。 根据本发明，通过旋转在与轮传统的滚筒卷绕的衬底，与形成薄膜，在基片上，从而形成薄膜，同时连续传送所述带基体的高品质的薄膜，以提高生产效率和便利的情况下 它可以形成。
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公开(公告)号：KR100910613B1
公开(公告)日：2009-08-04
申请号：KR1020070022899
申请日：2007-03-08
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L39/2432 , C23C14/562 , H01L39/2422
Abstract: 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치에 관해 개시한다. EDDC(Evaporation using Drum in Dual Chamber) 방식은 고온 초전도 테이프 선재를 대량 생산하는 데 필요한 적합한 방식으로 확인되었다. 그러나 이 방법은 한정된 길이의 선재에만 공정을 적용할 수 있다는 것이 단점이다. EDDC 방식을 임의로 긴 선재에 적용하기 위하여 드럼에 두 개의 릴을 장착하여 긴 선재를 감고 풀고 하는 방식으로 공급할 수 있다. 그러나 이때 중요한 문제점은 드럼 위에 나선방식으로 감긴 선재의 이송방식이다. 본 발명은 몇 개의 분리된 무한궤도 벨트를 이용한 것으로서, 이 벨트들이 선재를 싣고 드럼의 축 방향으로 이동함으로써, 선재가 드럼 주위에 연속적 나선감김을 실현하면서 이송되도록 한다.
초전도, 테이프, 선재, EDDC, 무한궤도, 벨트, 홈, 이송, 지지턱부, 연속
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