이면 조사형 실리콘 광전자 증배센서 및 그 제조방법
    3.
    发明授权
    이면 조사형 실리콘 광전자 증배센서 및 그 제조방법 有权
    背照式硅光电子倍增传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR101762430B1

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:KR1020150184026

    申请日:2015-12-22

    Abstract: 광검출효율을향상시킬수 있는실리콘광전자증배센서가제공된다. 본발명의일 실시예에따른실리콘광전자증배센서는 p층위에 n웰이형성되는복수개의가이거모드아발란치포토다이오드(Geiger mode avalanche photodiode; GAPD) 구조체; 및상기가이거모드아발란치포토다이오드구조체상의 IC 기판;을구비하는실리콘광전자증배센서이며, 센싱하고자하는광은상기 p층에서상기 IC 기판방향으로조사되는광을포함하는이면조사형실리콘광전자증배센서이다.

    Abstract translation: 提供了一种能够提高光检测效率的硅光电子倍增传感器。 根据本发明的实施例的硅光伏倍增传感器包括:其中在p层上形成n阱的多个盖革模式雪崩光电二极管(GAPD)结构; 以及盖革模式雪崩光电二极管结构上的IC基板,其中待感测的光是包括从p层向IC基板发射的光的背照式硅光伏放大传感器, 一。

    크로스톡 방지 구조를 가지는 실리콘 광전자 증배센서
    4.
    发明公开
    크로스톡 방지 구조를 가지는 실리콘 광전자 증배센서 有权
    具有串扰防护结构的硅光伏延伸传感器

    公开(公告)号:KR1020170074579A

    公开(公告)日:2017-06-30

    申请号:KR1020150184020

    申请日:2015-12-22

    Abstract: 크로스톡현상을방지할수 있는실리콘광전자증배센서가제공된다. 본발명의일 실시예에따른실리콘광전자증배센서는복수개의가이거모드아발란치포토다이오드(Geiger mode avalanche photodiode; GAPD) 구조체; 상기가이거모드아발란치포토다이오드구조체상의 IC 기판; 및하나의가이거모드아발란치포토다이오드구조체에서발생하는 2차광자가인접한가이거모드아발란치포토다이오드구조체로이동하는것을차단하도록, 상기복수개의가이거모드아발란치포토다이오드구조체각각과상기 IC 기판사이에개재되는차단막;을포함한다.

    Abstract translation: 提供了可以防止串扰现象的硅光电子倍增传感器。 硅光电传感器是多个根据本发明的一个实施例中乘法盖革模式雪崩光电二极管的(盖革模式雪崩光电二极管; GAPD)结构; 盖革模式Avalanche光电二极管结构上的IC基板; 并且在该结构中自盖革模式雪崩啊,所述多个盖革模式的,所产生的盖革模式雪崩光电二极管相邻的次级光阻止的运动作为各和IC基板之间的光电二极管结构的雪崩光电二极管结构 并且在阻挡层之间插入阻挡层。

    크로스톡 방지 구조를 가지는 실리콘 광전자 증배센서

    公开(公告)号:KR101762431B1

    公开(公告)日:2017-07-28

    申请号:KR1020150184020

    申请日:2015-12-22

    Abstract: 크로스톡현상을방지할수 있는실리콘광전자증배센서가제공된다. 본발명의일 실시예에따른실리콘광전자증배센서는복수개의가이거모드아발란치포토다이오드(Geiger mode avalanche photodiode; GAPD) 구조체; 상기가이거모드아발란치포토다이오드구조체상의 IC 기판; 및하나의가이거모드아발란치포토다이오드구조체에서발생하는 2차광자가인접한가이거모드아발란치포토다이오드구조체로이동하는것을차단하도록, 상기복수개의가이거모드아발란치포토다이오드구조체각각과상기 IC 기판사이에개재되는차단막;을포함한다.

    이면 조사형 실리콘 광전자 증배센서 및 그 제조방법

    公开(公告)号:KR1020170074582A

    公开(公告)日:2017-06-30

    申请号:KR1020150184026

    申请日:2015-12-22

    Abstract: 광검출효율을향상시킬수 있는실리콘광전자증배센서가제공된다. 본발명의일 실시예에따른실리콘광전자증배센서는 p층위에 n웰이형성되는복수개의가이거모드아발란치포토다이오드(Geiger mode avalanche photodiode; GAPD) 구조체; 및상기가이거모드아발란치포토다이오드구조체상의 IC 기판;을구비하는실리콘광전자증배센서이며, 센싱하고자하는광은상기 p층에서상기 IC 기판방향으로조사되는광을포함하는이면조사형실리콘광전자증배센서이다.

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