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公开(公告)号：KR101276560B1
公开(公告)日：2013-06-24
申请号：KR1020110023698
申请日：2011-03-17
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 강유전체 폴리머(Ferroelectric Polymer)인 P(VDF-TrFE)로 이루어져, 소자의 특성을 개선시킨 강유전체 폴리머 나노도트 소자 및 그 제조를 위한 디웨팅 프로세스(Dewetting Process)에 관한 것으로, 강유전체 폴리머 나노도트 소자는 절연물질로 이루어진 기판, 기판 상면에 형성된 하부 전극, 하부 전극 상면의 일부 영역에 요철 구조로 형성되고, P(VDF-TrFE)로 이루어진 P(VDF-TrFE) 나노도트 및 P(VDF-TrFE) 나노도트 상면에 형성된 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
나아가, 본 발명에 따른 강유전체 폴리머 나노도트 소자 제조를 위한 디웨팅 프로세스(Dewetting process)는 기판을 준비하는 단계, 기판 상면에 하부 전극을 형성하는 단계, P(VDF-TrFE) 폴리머 용액을 획득하는 단계, 하부 전극 상면에 P(VDF-TrFE) 폴리머 용액을 도포하는 단계, 어닐링(Annealing) 공정으로 P(VDF-TrFE) 나노도트를 획득하는 단계 및 P(VDF-TrFE) 나노도트 표면에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR101251344B1
公开(公告)日：2013-04-05
申请号：KR1020110076965
申请日：2011-08-02
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 마스터 몰드에 의해 음각이나 양각의 단일 패턴 또는 다단 패턴(Multi-Level)이 형성된 고분자 화합물 필러(Pillar) 구조체를 이용한 3차원 전극 및 그 제조방법에 관한 것으로, 패턴이 형성된 마스터 몰드를 준비하는 단계, 패턴이 형성된 마스터 몰드에 고분자 화합물 레진을 도포하는 단계, 고분자 화합물 레진의 상부에 고분자 화합물로 이루어진, 후면 지지 필름(Back Supporting Film)을 부착하는 단계, 고분자 화합물 레진을 경화하는 단계, 경화된 고분자 화합물 레진을 마스터 몰드에서 분리하여 패턴이 형성된 고분자 화합물 필러(Pillar) 구조체를 취득하는 단계 및 고분자 화합물 필러(Pillar) 구조체의 표면에 전도성 폴리머를 증착하여 고분자 화합물 필러(Pillar) 구조의 3차원 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
나아가, 본 발명에 따른 고분자 화합물 필러 구조체를 이용한 3차원 전극은 고분자 화합물로 이루어진, 후면 지지 필름(Back Supporting Film), 후면 지지 필름의 상부에 음각 또는 양각의 패턴(Pattern)이 형성된 고분자 화합물 필러(Pillar) 구조체 및 고분자 화합물 필러(Pillar) 구조체 표면에 형성된 전도성 폴리머층을 포함한다.-
公开(公告)号：KR1020130015128A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：KR1020110076965
申请日：2011-08-02
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A 3D electrode using a polymer pillar structure and a manufacturing method thereof are provided to simplify a pattern manufacturing process by using a master mold for manufacturing a single pattern or multilevel pattern. CONSTITUTION: A rear support film(203) is attached to the upper side of a polymer compound resin. The polymer compound resin is cured. A polymer compound pillar structure(202a) with a pattern is obtained by separating the cured polymer compound resin from the master mold. A conductive polymer(205) is deposited on the surface of the polymer compound pillar structure. A 3D electrode of the polymer compound pillar structure is formed.
Abstract translation: 目的：提供使用聚合物柱结构的3D电极及其制造方法，以通过使用用于制造单一图案或多层图案的母模来简化图案制造工艺。 构成：后支撑膜（203）附着在高分子化合物树脂的上侧。 高分子化合物树脂固化。 通过将固化的聚合物复合树脂与母模分离，得到具有图案的聚合物复合柱结构（202a）。 导电聚合物（205）沉积在聚合物复合柱结构的表面上。 形成高分子化合物柱结构的3D电极。
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公开(公告)号：KR1020140039750A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：KR1020120106371
申请日：2012-09-25
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L41/45
CPC classification number: H01L41/45 , H01L41/193 , H01L41/317 , H01L41/332
Abstract: The present invention relates to a method for manufacturing a piezoelectric polymer core-shell structure and, more specifically, to a method for manufacturing a piezoelectric polymer core-shell structure, by manufacturing an electrode by depositing a conductive polymer solution on polyurethane acrylate pillars, and depositing a piezoelectric polymer P(VDE-TrFE) solution on the electrode. By an embodiment of the present invention, the method can reduce manufacturing costs and can perform a large area process by being able to copy the polyurethane acrylate pillars several times through one mold. Also, the method of the present invention can be applied in various fields such as not only a piezoelectric device and an energy harvest using the same, but also a nonvolatile memory device and a bio device by manufacturing a vertically aligned nanostructure and a vertically aligned micro structure. [Reference numerals] (AA) Electrode
Abstract translation: 本发明涉及一种制造压电聚合物核 - 壳结构的方法，更具体地说，涉及通过在聚氨酯丙烯酸酯柱上沉积导电聚合物溶液来制造电极的压电聚合物芯 - 壳结构的制造方法，以及 在电极上沉积压电聚合物P（VDE-TrFE）溶液。 通过本发明的一个实施方案，该方法可以降低制造成本，并且可以通过一次模具将聚氨酯丙烯酸酯柱多次复制来进行大面积的加工。 此外，本发明的方法也可以应用于各种领域，例如不仅压电器件和使用其的能量收集，还可以应用非易失性存储器件和生物器件，通过制造垂直排列的纳米结构和垂直排列的微结构 结构体。 （标号）（AA）电极
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公开(公告)号：KR101303086B1
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：KR1020120010135
申请日：2012-02-01
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G11B11/10
Abstract: 본 발명은 강유전 고분자 박막을 이용한 정보 저장 매체 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 강유전 고분자 박막을 기판 일면에 형성된 전극층의 상면에 형성하여 정보 저장 및 보존이 가능한, 강유전 고분자 박막을 이용한 정보 저장 매체 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명인 강유전 고분자 박막을 이용한 정보 저장 매체는 기판과, 상기 기판 일면에 형성된 전극층과, 상기 전극층 상면에 형성된 VDF와 TrFE가 70:30 내지 80:20 비율인 VDF-TrFE 강유전 고분자 박막을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 기판 일면에 전극층을 형성하는 단계와, VDF와 TrFE를 70:30 내지 80:20 비율로 혼합한 VDF-TrFE 펠렛을 준비하는 단계와, 상기 VDF-TrFE 펠렛을 메틸에틸케톤(Methylethylketone) 용매에 용해시키는 단계와, 상기 용해된 용액을 상기 전극층 상면에 코팅하는 단계와, 상기 코팅된 기판을 어닐링(Annealing) 하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020120118269A
公开(公告)日：2012-10-26
申请号：KR1020110035742
申请日：2011-04-18
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L41/0472 , H01L41/193 , H01L41/293 , H01L41/331 , H02N2/18
Abstract: PURPOSE: An energy gaining system and a manufacturing method thereof are provided to convert external pressure or mechanical vibration into an electric energy. CONSTITUTION: A conductive spiral core electrode(401) has elastic force or elasticity. A ferroelectric polymer layer(402) is selectively formed on a surface of a center electrode. A surface electrode(403) is formed on a surface of the ferroelectric polymer layer. The center electrode includes Fe, Ni, Cr, Ti, Mo, Ag, Au, Al, Cu, W, or TiN.
Abstract translation: 目的：提供能量获取系统及其制造方法，以将外部压力或机械振动转换为电能。 构成：导电螺旋芯电极（401）具有弹性力或弹性。 在中心电极的表面上选择性地形成铁电聚合物层（402）。 表面电极（403）形成在铁电聚合物层的表面上。 中心电极包括Fe，Ni，Cr，Ti，Mo，Ag，Au，Al，Cu，W或TiN。
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公开(公告)号：KR1020120105951A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：KR1020110023698
申请日：2011-03-17
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A ferroelectric polymer nano-dot device and a dewetting process for the manufacturing thereof are provided to have uniform size and density and to be uniformly patterned. CONSTITUTION: A ferroelectric polymer nano-dot device(200) comprises a substrate(101), a lower electrode(102) and P(VDF-TrFE) nano-dots(201). The substrate is composed of insulating materials. The lower electrode is formed on an upper surface of the substrate. The P(VDF-TrFE) nano-dot is formed on the upper surface of the lower electrode in an anti-glare structure and is composed of P(VDF-TrFE) polymers. The ferroelectric polymer nano-dot device additionally includes an upper electrode(104) on the surface of the nano-dot. A dewetting process for manufacturing ferroelectric Polymer nano-dot device comprises the following steps: preparing a substrate; forming a lower electrode on the upper surface of the substrate; obtaining a P (VDF-TrFE) polymer solution; spreading the upper surface of the lower electrode with the P (VDF-TrFE) polymer solution; and obtaining the P (VDF-TrFE) nano-dot through an annealing process.
Abstract translation: 目的：提供铁电聚合物纳米点装置和其制造的去湿方法以具有均匀的尺寸和密度并且被均匀地构图。 构成：铁电聚合物纳米点装置（200）包括基板（101），下电极（102）和P（VDF-TrFE）纳米点（201）。 基板由绝缘材料构成。 下电极形成在基板的上表面上。 P（VDF-TrFE）纳米点以防眩光结构形成在下电极的上表面上，由P（VDF-TrFE）聚合物构成。 铁电聚合物纳米点装置还包括在纳米点的表面上的上电极（104）。 用于制造铁电聚合物纳米点装置的去湿方法包括以下步骤：制备基材; 在所述基板的上表面上形成下电极; 获得P（VDF-TrFE）聚合物溶液; 用P（VDF-TrFE）聚合物溶液撒布下电极的上表面; 并通过退火工艺获得P（VDF-TrFE）纳米点。
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公开(公告)号：KR101231569B1
公开(公告)日：2013-02-08
申请号：KR1020110017515
申请日：2011-02-28
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 수직 방향으로 배향되고, 폴리머 전극을 형성한 압전 나노로드를 이용한 에너지 수확 시스템 및 그 제조방법에 관한 것으로, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 압전체 나노로드를 이용한 에너지 수확 시스템은 도전성 폴리머 전극인 하부 전극, 하부 전극의 상부에 45도~90도의 범위에 속하는 각도로 형성되고, P(VDF-TrFE) 또는 PVDF 폴리머 압전소자 물질로 이루어진 폴리머 나노로드, 폴리머 나노로드 표면에 형성된 도전성 폴리머 전극인 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
나아가, 압전체 나노로드를 이용한 에너지 수확 시스템의 제조방법은 템플레이트를 구비하는 단계, 템플레이트 상부에 폴리머 용액을 도포하여, 상기 템플레이트를 따라 하부로 스며들도록 하는 단계, 폴리머 용액을 결정화시키는 단계, 폴리머 용액 결정체에 하부 전극을 형성하는 단계, 폴리머 용액 결정체와 상기 나노 템플레이트를 분리하여 폴리머 나노로드를 획득하는 단계 및 폴리머 나노로드에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함한다.-
公开(公告)号：KR101212958B1
公开(公告)日：2012-12-18
申请号：KR1020110035742
申请日：2011-04-18
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은탄성력또는탄력을가지는나선형중심전극(Core Electrode)에강유전성중합체(Ferroelectric Polymer)층및 표면전극이형성된압전소자를이용한에너지수확시스템및 그제조방법에관한것으로, 탄성력또는탄력을가지는나선형의중심전극(Core Electrode), 중심전극(Core Electrode)의표면에선택적으로형성된강유전성중합체(Ferroelectric Polymer)층의표면에형성된표면전극(Surface Electrode)을포함하고, 제조방법으로도전성중심전극을준비하는단계, 중심전극의표면에딥 코팅(Dip Coating) 방식에의해선택적으로강유전성중합체(Ferroelectric Polymer)층을형성하는단계, 강유전성중합체(Ferroelectric Polymer)층이형성된상기중심전극을건조및 열처리하는단계, 강유전성중합체(Ferroelectric Polymer)층표면에표면전극을형성하여압전소자를생성하는단계및 고전압폴링공정으로상기압전소자내부의영구이중극자(Permanent Dipole)를단방향으로정렬시키는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101453494B1
公开(公告)日：2014-10-27
申请号：KR1020120106371
申请日：2012-09-25
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L41/45
Abstract: 본 발명은 압전 고분자 코어-쉘 구조체 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 폴리우레탄 아크릴레이트 필러 위에 전도성 폴리머 용액을 증착하여 전극을 제조하고, 상기 전극 위에 압전 고분자 P(VDF-TrFE) 용액을 증착하는 압전 고분자 코어-쉘 구조체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 의하면 하나의 몰드를 통해 폴리우레탄 아크릴레이트 필러를 여러번 복제할 수 있다는 점에서 제조단가를 낮출 수 있으며 대면적 공정이 가능하다. 또한, 수직 정렬된 나노 구조체 및 마이크로 구조체를 제조함으로써 압전센서와 이를 이용한 에너지 하베스터 뿐만 아니라 비휘발성 메모리소자 및 바이오소자 등의 다양한 분야에 적용 가능하다.
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