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公开(公告)号：KR1020120118269A
公开(公告)日：2012-10-26
申请号：KR1020110035742
申请日：2011-04-18
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L41/0472 , H01L41/193 , H01L41/293 , H01L41/331 , H02N2/18
Abstract: PURPOSE: An energy gaining system and a manufacturing method thereof are provided to convert external pressure or mechanical vibration into an electric energy. CONSTITUTION: A conductive spiral core electrode(401) has elastic force or elasticity. A ferroelectric polymer layer(402) is selectively formed on a surface of a center electrode. A surface electrode(403) is formed on a surface of the ferroelectric polymer layer. The center electrode includes Fe, Ni, Cr, Ti, Mo, Ag, Au, Al, Cu, W, or TiN.
Abstract translation: 目的：提供能量获取系统及其制造方法，以将外部压力或机械振动转换为电能。 构成：导电螺旋芯电极（401）具有弹性力或弹性。 在中心电极的表面上选择性地形成铁电聚合物层（402）。 表面电极（403）形成在铁电聚合物层的表面上。 中心电极包括Fe，Ni，Cr，Ti，Mo，Ag，Au，Al，Cu，W或TiN。
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公开(公告)号：KR1020120107166A
公开(公告)日：2012-10-02
申请号：KR1020110024685
申请日：2011-03-21
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/8247 , H01L29/66
Abstract: PURPOSE: A ferroelectric nano dot device and a manufacturing method thereof are provided to improve storage density by forming a small cell using a PbTiO3 nano dot. CONSTITUTION: A substrate is made of insulating materials. A bottom electrode(102) is formed on the upper side of the substrate. A ferroelectric nano dot is formed on a part of the upper side of the bottom electrode with a spherical shape. The ferroelectric nano dot includes a top electrode(202) and is made of PbTiO3.
Abstract translation: 目的：提供一种铁电纳米点器件及其制造方法，通过使用PbTiO3纳米点形成小电池来提高存储密度。 构成：基材由绝缘材料制成。 底部电极（102）形成在基板的上侧。 铁电纳米点形成在底部电极的上侧的一部分上，具有球形。 铁电纳米点包括顶电极（202），并由PbTiO 3制成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101231564B1
公开(公告)日：2013-02-15
申请号：KR1020110024685
申请日：2011-03-21
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/8247 , H01L29/66
Abstract: 본 발명은 TiO
2 나노도트 배열 박막과 PbO 증기를 반응시켜 생성한 PbTiO
3
나노도트를 이용한 강유전체 나노도트 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 절연물질로 이루어진 기판, 기판 상면에 형성된 하부 전극, 하부 전극 상면의 일부 영역에 구 형상으로 형성된 나노도트, 나노도트 표면에 형성된 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
나아가, 구 형상으로 형성된 나노도트는 PbTiO
3 로 이루어지는 것을 특징으로 하며, Pb(ZrTi)TiO
3 또는 BiTiO
3 로 형성할 수 있다. 이 나노도트는 하부 전극 상면에 점 접촉하는 것을 특징으로 한다.
나아가, 본 발명에 따른 강유전체 나노도트 소자의 제조방법은 기판을 준비하는 단계, 기판 상면에 하부 전극을 형성하는 단계, 공중합체(Copolymer) 용액과 졸겔(Sol-gel) 용액을 혼합해 솔루션 용액을 형성하는 단계, 솔루션 용액을 하부 전극 상면에 도포하고, 교질 입자 박막을 형성하는 단계, 교질 입자 박막이 증착된 기판을 건조하고, 템플레이트를 제거하여, TiO
2
나노도트를 형성하는 단계
, 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 템플레이가 제거된 TiO
2
나노도트 배열 박막에서 PbTiO
3 나노도트를 형성하는 단계 및 PbTiO
3 나노도트 상면에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1020120097932A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：KR1020110017515
申请日：2011-02-28
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H02N2/18 , H01L41/0472 , H01L41/113 , H01L41/193 , H01L41/29 , H01L41/31 , Y10S977/837
Abstract: PURPOSE: An energy acquisition system using a piezoelectric nano-rod and manufacture method thereof are provided to improve mechanical properties using a polymer nano-rod as a piezoelectric device. CONSTITUTION: A piezoelectric nano-rod(303) includes a lower electrode(301) corresponding to a conductive polymer electrode and the piezoelectric nano-rod of a tube shape which is vertically formed on the lower electrode. The piezoelectric includes a lower electrode formed on the piezoelectric nano-rod. The lower and the upper electrode are formed on the upside of the piezoelectric nano-rod by accumulating atomic layers on the conductive polymer electrode. The lower and the upper electrode are formed on the surface of the piezoelectric nano-rod using a thin-film formation method like an evaporation method or a sputtering method.
Abstract translation: 目的：提供使用压电纳米棒的能量采集系统及其制造方法，以提高使用聚合物纳米棒作为压电装置的机械性能。 构成：压电纳米棒（303）包括对应于导电聚合物电极的下电极（301）和垂直形成在下电极上的管状压电纳米棒。 压电体包括形成在压电纳米棒上的下电极。 下电极和上电极通过在导电聚合物电极上堆积原子层而形成在压电纳米棒的上侧上。 下电极和上电极使用蒸发法或溅射法等薄膜形成方法形成在压电纳米棒的表面上。
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公开(公告)号：KR1020130109391A
公开(公告)日：2013-10-08
申请号：KR1020120031089
申请日：2012-03-27
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: C23C16/409 , B82B3/0038 , B82Y40/00 , C23C16/407
Abstract: PURPOSE: A manufacturing apparatus of a ferroelectric nanostructure is provided to synthesize a ferroelectric material at a desired temperature, and to decrease the synthesize temperature of the ferroelectric material. CONSTITUTION: A manufacturing apparatus of a ferroelectric nanostructure includes a tube type furnace (100), a gas inlet (10), a material powder supplier (20), a starting material supplier (30), and an outlet (40). The gas inlet is for inserting inert gas into the tube type furnace. The material powder supplier supplies material powder into the tube type furnace. The supply point of the material powder is maintained at the evaporation temperature of the material powder. The starting material supplier supplies a starting material. The starting material reacts with the evaporated material powder, to be synthesized into a ferroelectric nanostructure. The evaporated material powder flows by the flow of the inert gas flowing toward an exit of the tube type furnace. The starting material has a form selected from a nanotube, a nanowire, a nanorod, or a simple thin film. The outlet discharges the inert gas. [Reference numerals] (AA) Cylindrical furnace; (BB) Temperature gradient in furnace; (CC) Position
Abstract translation: 目的：提供铁电体纳米结构的制造装置，以在期望的温度下合成铁电材料，并降低铁电材料的合成温度。 构成：铁电体纳米结构的制造装置包括管式炉（100），气体入口（10），材料粉末供应器（20），起始材料供应器（30）和出口（40）。 气体入口用于将惰性气体插入管式炉中。 材料粉末供应商将材料粉末供应到管式炉中。 材料粉末的供应点保持在材料粉末的蒸发温度。 起始原料供应商提供原料。 起始材料与蒸发的材料粉末反应，合成为铁电纳米结构。 蒸发的材料粉末通过流向管式炉的出口的惰性气体流动。 原料具有选自纳米管，纳米线，纳米棒或简单薄膜的形式。 出口排出惰性气体。 （附图标记）（AA）圆柱形炉; （BB）炉内温度梯度; （CC）职位
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公开(公告)号：KR101231569B1
公开(公告)日：2013-02-08
申请号：KR1020110017515
申请日：2011-02-28
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 수직 방향으로 배향되고, 폴리머 전극을 형성한 압전 나노로드를 이용한 에너지 수확 시스템 및 그 제조방법에 관한 것으로, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 압전체 나노로드를 이용한 에너지 수확 시스템은 도전성 폴리머 전극인 하부 전극, 하부 전극의 상부에 45도~90도의 범위에 속하는 각도로 형성되고, P(VDF-TrFE) 또는 PVDF 폴리머 압전소자 물질로 이루어진 폴리머 나노로드, 폴리머 나노로드 표면에 형성된 도전성 폴리머 전극인 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
나아가, 압전체 나노로드를 이용한 에너지 수확 시스템의 제조방법은 템플레이트를 구비하는 단계, 템플레이트 상부에 폴리머 용액을 도포하여, 상기 템플레이트를 따라 하부로 스며들도록 하는 단계, 폴리머 용액을 결정화시키는 단계, 폴리머 용액 결정체에 하부 전극을 형성하는 단계, 폴리머 용액 결정체와 상기 나노 템플레이트를 분리하여 폴리머 나노로드를 획득하는 단계 및 폴리머 나노로드에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함한다.-
公开(公告)号：KR101212958B1
公开(公告)日：2012-12-18
申请号：KR1020110035742
申请日：2011-04-18
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은탄성력또는탄력을가지는나선형중심전극(Core Electrode)에강유전성중합체(Ferroelectric Polymer)층및 표면전극이형성된압전소자를이용한에너지수확시스템및 그제조방법에관한것으로, 탄성력또는탄력을가지는나선형의중심전극(Core Electrode), 중심전극(Core Electrode)의표면에선택적으로형성된강유전성중합체(Ferroelectric Polymer)층의표면에형성된표면전극(Surface Electrode)을포함하고, 제조방법으로도전성중심전극을준비하는단계, 중심전극의표면에딥 코팅(Dip Coating) 방식에의해선택적으로강유전성중합체(Ferroelectric Polymer)층을형성하는단계, 강유전성중합체(Ferroelectric Polymer)층이형성된상기중심전극을건조및 열처리하는단계, 강유전성중합체(Ferroelectric Polymer)층표면에표면전극을형성하여압전소자를생성하는단계및 고전압폴링공정으로상기압전소자내부의영구이중극자(Permanent Dipole)를단방향으로정렬시키는단계를포함한다.
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