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公开(公告)号：WO2017135641A1
公开(公告)日：2017-08-10
申请号：PCT/KR2017/000934
申请日：2017-01-26
Applicant: 전북대학교산학협력단
Inventor： 김대석
Abstract: 일체형 편광간섭계 및 이를 적용한 스냅샷 분광편광계가 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 일체형 편광간섭계는, 입사되는 복합파를 분리하는 편광 빔 스플리터, 편광 빔 스플리터의 제1 면에 부착되어 편광 빔 스플리터를 투과한 제1 편광을 편광 빔 스플리터로 반사하는 제1 미러 및 편광 빔 스플리터의 제2 면에 부착되어 편광 빔 스플리터에서 반사된 제2 편광을 편광 빔 스플리터로 반사하는 제2 미러를 포함한다. 이에 의해, 일체형 편광간섭계를 이용하여 외부 진동 등에 의한 외란에 강인한 분광편광 현상 스냅샷 측정이 가능해져, 측정의 반복도와 정확도를 향상시킬 수 있게 된다.
Abstract translation: 提供了一种集成偏振干涉仪和一种使用其的快照光谱旋光仪。 根据本发明的一个实施例的集成偏振干涉仪，附接至偏振分束器，用于分离入射合成波为第一用于反射通过偏振分束器的偏振分束器传送的第一偏振光的偏振分束器的所述第一表面 1反射镜和附接到偏振分束器的第二表面的第二反射镜，以将由偏振分束器反射的第二偏振光反射到偏振分束器。 这使得可以使用集成的偏振干涉仪来测量抵抗由于外部振动等引起的干扰的光谱偏振现象快照，从而提高测量的重复性和准确性。
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公开(公告)号：KR100947030B1
公开(公告)日：2010-03-11
申请号：KR1020080030655
申请日：2008-04-02
Applicant: 한국과학기술원 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상의 측정장치 및 그 측정방법에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 시편에서 반사되어 나오는 측정광과 차단필터를 통과하고 나온 기준광의 간섭신호를 이용하여 시편의 두께와 형상에 관한 정보를 얻을 수 있는 3차원 두께와 형상의 측정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상의 측정장치는 광대역의 파장을 가지는 광을 출사하는 광원부; 광을 제 1측정광과 제 1기준광으로 분리시키는 빔분할기와; 제 1측정광을 시편에 조사받게 하는 시편부; 제 1기준광을 특정파장 영역만 선별하여 통과시키는 칼라필터를 포함하는 기준부; 시편부 및 기준부로부터 출사된 제2측정광과 제 2기준광에 대한 신호를 검출하는 검출부; 및 검출부로부터 나온 신호에 대하여 신호처리 및 제어하는 신호처리 제어부;를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
음향광학변조필터, 칼라필터, 3차원 두께, 듀얼 분광, 박막-
公开(公告)号：KR1020090105288A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：KR1020080030655
申请日：2008-04-02
Applicant: 한국과학기술원 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A device for measuring 3-dimensional thickness and shape using a color filter and a measuring method thereof are provided to obtain information about the thickness and the shape of a specimen from diffraction signals passed through a reference part and information about the thickness of the specimen from diffraction signals passed through a measuring part by separating the reference part and the measuring part. CONSTITUTION: A device for measuring 3-dimensional thickness and shape using a color filter comprises an optical source part, a beam splitter, a specimen part, a reference part, the detection part, and the signal processing control part. An optical source part(20) irradiates the beam having broadband wavelength. The beam splitter divides the beam into a first measurement beam(8a) and a first reference beam. The first measurement beam is irradiated on the specimen part(30). The reference part(40) comprises a color filter(41) selecting a specific wavelength region and passing the specific wavelength region. The detection part(60) detects the signals on a second measurement beam(8b) and a second reference beam incident from the specimen part and the reference part. The signal processing control part processes and controls the signals from the detection part.
Abstract translation: 目的：提供一种使用滤色器测量3维厚度和形状的装置及其测量方法，以通过参考部分的衍射信号获得关于样本的厚度和形状的信息以及关于厚度的信息 来自衍射信号的样品通过分离参考部件和测量部件而通过测量部件。 构成：使用滤色器测量三维厚度和形状的装置包括光源部分，分束器，样本部分，参考部分，检测部分和信号处理控制部分。 光源部（20）照射宽带波长的光束。 分束器将光束分成第一测量光束（8a）和第一参考光束。 第一测量光束照射在样本部分（30）上。 参考部分（40）包括选择特定波长区域并通过特定波长区域的滤色器（41）。 检测部（60）检测第二测量光束（8b）和从样本部分和参考部分入射的第二参考光束的信号。 信号处理控制部分处理和控制来自检测部分的信号。
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公开(公告)号：KR1020140123335A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：KR1020130040570
申请日：2013-04-12
Applicant: 전북대학교산학협력단
CPC classification number: G03B21/53 , G03B21/142 , H04N9/3129 , H04N9/3141
Abstract: 빔 프로젝터 투사영상위치 자동조절장치가 개시된다. 개시된 빔 프로젝터 투사영상위치 자동조절장치는 본체; 상기 본체의 상부에 이격되게 설치되며, 빔 프로젝터를 고정하여 장착하는 프로젝터 장착부; 상기 본체와 상기 프로젝터 장착부 사이에 설치되어, 상기 프로젝터 장착부를 상기 본체에 대해 좌우회동 및 상하회동시키는 좌우/상하 틸팅모듈; 상기 프로젝터 장착부 일측에 설치되거나, 상기 프로젝터 장착부에 고정된 상기 빔 프로젝터의 일측에 설치되는 씨씨디 카메라; 및, 상기 좌우/상하 틸팅모듈 및 상기 씨씨디 카메라와 전기적으로 연결되며, 상기 씨씨디 카메라로부터 획득된 영상에서 스크린을 검색한 후, 상기 빔 프로젝터로부터 투사되는 투사영상이 상기 검색된 스크린에 중심에 위치하도록 상기 좌우/상하틸팅모듈을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 公开了一种用于自动调整光束投影仪的投影图像位置的装置。 该装置包括：身体; 投影仪安装单元，其安装成与所述主体的上部间隔开以固定和安装投影仪; 水平/垂直倾斜模块，安装在主体和投影仪安装单元之间，以基于主体水平和垂直地旋转投影仪安装单元; CCD摄像机，其安装在投影仪安装单元的一侧，或者安装在固定在投影仪安装单元上的光束投影仪的一侧; 以及控制单元，其电连接到水平/垂直倾斜模块和CCD相机，以搜索由CCD照相机获取的图像中的屏幕，然后控制水平/垂直倾斜模块，以便投影投影图像 从投影仪到位于搜索屏幕的中心。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101798957B1
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：KR1020160117279
申请日：2016-09-12
Applicant: 전북대학교산학협력단 , 보드 오브 리전츠, 더 유니버시티 오브 텍사스 시스템
Abstract: 본발명에따른고속분광편광측정장치는, 광대역백색광을평행광으로변환시키고, 상기평행광의크기를조절하여측정물을향하여평행광을조사하는평행광모듈; 상기측정물을투과한평행광의광경로를빔 스플리터로직행경로와변조경로로나누고, 변조경로로나뉘어진평행광을편광자를통하여편광상태를변조시키고, 직행경로로의평행광과변조경로의평행광을수광하고듀얼스펙트럼감지모듈로조사하는편광변조모듈; 상기편광변조모듈로부터입사된평행광을빔 스플리터로분리하고, 분리된평행광을각각 s선형편광상태와 p선형편광상태로편광하고, 듀얼분광기로연결하여각각편광된평행광의간섭스펙트럼을스냅샷으로측정하는듀얼스펙트럼감지모듈; 상기듀얼스펙트럼감지모듈이측정한스냅샷의측정값을기초로하여분광정보를갖는스토크스벡터를계산하는컴퓨터장치; 를포함할수 있으며, 스냅샷방식으로측정함으로써기존발명과대비하여수십배 이상의고속측정이가능하여다이나믹한측정이필요한반도체나디스플레이생산공정인라인모니터링분야에큰 효과를가져올수 있다. 또한, 본발명의고속분광편광측정장치의구성을변형함으로써, 고속분광타원계측기및 고속분광반사계측기의구성도도출해낼수 있다.
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公开(公告)号：KR1020120114778A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：KR1020110032529
申请日：2011-04-08
Applicant: 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A 3D measuring device using coherent characteristics and a measuring method thereof are provided to obtain 3D images by using short-wavelength lasers or white lights depending on a size of an object and to acquire high quality images in short time regardless of the size of the object. CONSTITUTION: A 3D measuring device using coherent characteristics comprises a light source(100), a monochromatic filter(200), a beam splitter(300), a reference beam reflecting mirror(400), a measurement light reflecting mirror(500), and a photographing element(600). The monochromatic filter transmits lights of a constant wavelength from lights generated by the light source. The beam splitter divides the lights penetrated through the monochromatic filter into reference lights and measurement lights. The reference light reflecting mirror reflects the reference lights to the beam splitter. The measurement light reflecting mirror reflects the measurement lights to the beam splitter. The height of the measurement light reflecting mirror is adjusted. The photographing element obtains images by detecting the interference of the measurement lights and reference lights reflected to the beam splitter.
Abstract translation: 目的：提供使用相干特征的3D测量装置及其测量方法，以通过使用短波长激光器或白光取决于物体的尺寸来获得3D图像，并且在短时间内获得高质量图像，而不管其尺寸如何 物体。 构成：使用相干特征的3D测量装置包括光源（100），单色滤光器（200），分束器（300），参考光束反射镜（400），测量光反射镜（500）和 拍摄元件（600）。 单色滤光片从光源产生的光线透过恒定波长的光。 分束器将穿过单色滤光片的光线分成参考光和测量灯。 参考光反射镜将参考光反射到分束器。 测量光反射镜将测量光反射到分束器。 测量光反射镜的高度被调节。 拍摄元件通过检测测量光和反射到分束器的参考光的干涉来获得图像。
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公开(公告)号：KR101056926B1
公开(公告)日：2011-08-12
申请号：KR1020090014507
申请日：2009-02-20
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 Off-axis 방식의 이중 파장 디지털 홀로그래피를 이용한 3D 측정장치에 관한 것으로, 제1 촬상부 및 제2 촬상부와; 제1 선형 편광 빔을 방출하는 제1 광원부와; 상기 제1 선형 편광 빔의 편광 방향과 수직인 편광 방향을 가지며 상기 제1 선형 편광 빔과 상이한 파장의 제2 선형 편광 빔을 방출하는 제2 광원부와; 상기 제1 광원부 및 상기 제2 광원부로부터 각각 입사되는 상기 제1 선형 편광 빔과 상기 제2 선형 편광 빔을 측정 빔 경로와 기준 빔 경로로 분할하여 출력하는 제1 빔 스플리터와; Off-axis 방식이 적용 가능하도록 상기 기준 빔 경로에 대해 기울어져 배치된 기준 미러와; 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔이 상기 기준 미러로부터 반사되도록 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔을 상기 기준 미러 방향으로 향하게 하는 제2 빔 스플리터와; 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔이 측정 대상물로부터 반사되도록 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔을 상기 측정 대상물 방향으로 향하게 하는 제3 빔 스플리터와; 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔이 각각 상기 기준 미러로부터 반사되어 형성된 제1 기준빔 및 제2 기준빔과, 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔이 각각 상기 측정 대상물로부터 반사되어 형성된 제1 측정빔 및 제2 측정빔을 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부 방향으로 분할하여 출력하기 위한 제4 빔 스플리터와; 상기 제1 촬상부와 상기 제4 빔 스플리터 사이에 배치되며, 상기 제1 측정빔 및 상기 제1 기준빔 간의 간섭에 의해 형성된 제1 간섭빔이 통과되고 상기 제2 측정빔 및 상기 제2 기준빔 간의 간섭에 의해 형성된 제2 간섭빔의 통과가 차단 가능한 편광 상태로 정렬된 제1 선형 편광판과; 상기 제2 촬상부와 상기 제4 빔 스플리터 사이에 배치되며, 상기 제1 간섭빔의 통과가 차단되고 상기 제2 간섭빔이 통과 가능한 편광 상태로 정렬된 제2 선형 편광판과; 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부를 통해 촬상된 두 개의 홀로그램을 이용하여 상기 측정 대상물의 표면 형상을 측정하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及使用所述双波长数字全息的离轴方法，所述第一成像单元和所述第二图像拾取单元到一个三维测量设备; 第一光源部件，用于发射第一线偏振光束; 具有垂直于第一线性偏振光束的发射与一个不同的波长，并且所述第一线性偏振光束的第二线性偏振光束的偏振方向的偏振方向的第二光源; 和用于分离所述第一光源单元和输出所述第一线性偏振光束和第二线性偏振光束，它们分别从所述第二光源至所述测量光束路径和参考光束路径入射到第一分束器; 参考反射镜相对于参考光束路径倾斜，从而可以应用离轴方法; 其中，所述第一线性偏振光束和第二线性偏振光束，所述第一线性偏振光束，并从第一分束器发射的第二线性偏振光束被从第一分束器射出的参照反射镜反射 第二分束器，用于将光束引向参考反射镜; 第一线性偏振光束的成本和所述第二第一第一线偏振光束，并且使得线偏振光束是从所述第一分束器出射的被测物体反射的光从所述第一分束器发射的第二线性偏振光束 第三分束器，用于将光束引向测量对象; 第一线性偏振光束和第二线性偏振光束，分别形成从参考反射镜被反射的第一参考光束和第二参考光束和所述第一线性偏振光束和第二线性偏振光束，并且每个测量的 部分1和第二测量光束在测量光束从所形成的第一感测对象，并在图像拾取部分的第二方向上输出该除法的第四分束器反射的光; 第一被设置在成像单元之间，并且所述第二分束器，第一测量光束和一个第一干涉光束被传递和第二测量光束和由所述第一参考光束之间的干涉形成的第二参考光束 第一线性偏振器，布置成偏振状态，其中由第一偏振器和第二偏振器之间的干涉形成的第二干涉光束的通过被阻挡; 第二成像部分和所述第四被设置在分束器之间，所述干涉光束的第一道次被阻挡，并且第二干涉光束被对准以通过偏振状态可能的第二线性偏振片和; 以及控制单元，用于使用通过第一和第二成像单元捕获的两个全息图来测量测量对象的表面形状。
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公开(公告)号：KR1020100095302A
公开(公告)日：2010-08-30
申请号：KR1020090014507
申请日：2009-02-20
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A 3D measure system using a dual wave digital holography of an off-axis mode, which minimizes the structure of hardware is provided to increase a calculating speed in software by applying a single Fourier transform mode in each hologram. CONSTITUTION: A 3D measure system using a dual wave digital holography of an off-axis mode comprises a first photographing part(41), a second photographing part(42), a first optical source part(10), a second optical source part(20), a first beam splitter(31), a reference mirror(60), a second beam splitter(32), a third beam splitter(33), a fourth beam splitter(34), a first linear polarizer(51), a second linear polarizer(52) and a controller. The first optical source part emits the first linear polarized beam. The second optical source part emits the second linear polarized beam of the different wavelength and the first linear polarized beam. The second beam splitter faces the first linear polarized beam and the second linear polarized beam the reference mirror. The third beam splitter faces the first linear polarized beam and the second linear polarized beam the measurement object. The first linear polarizer is arranged between the first photographing part and fourth beam splitter.
Abstract translation: 目的：提供一种使用离轴模式的双波数字全息术的3D测量系统，其最小化硬件的结构，以通过在每个全息图中应用单个傅里叶变换模式来增加软件中的计算速度。 构成：使用离轴模式的双波数字全息术的3D测量系统包括第一拍摄部分（41），第二拍摄部分（42），第一光源部分（10），第二光源部分 第一分束器（31），参考反射镜（60），第二分束器（32），第三分束器（33），第四分束器（34），第一线性偏振器 第二线性偏振器（52）和控制器。 第一光源部分发射第一线性偏振光束。 第二光源部分发射不同波长的第二线偏振光束和第一线偏振光束。 第二分束器面对第一线性偏振光束和第二线性偏振光束参考反射镜。 第三分束器面对第一线偏振光束，第二线偏振光束面对测量对象。 第一线性偏振器布置在第一拍摄部分和第四分束器之间。
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公开(公告)号：KR102166527B1
公开(公告)日：2020-10-15
申请号：KR1020180172974
申请日：2018-12-28
Applicant: 연세대학교 산학협력단 , 전북대학교산학협력단
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