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公开(公告)号：KR100947030B1
公开(公告)日：2010-03-11
申请号：KR1020080030655
申请日：2008-04-02
Applicant: 한국과학기술원 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상의 측정장치 및 그 측정방법에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 시편에서 반사되어 나오는 측정광과 차단필터를 통과하고 나온 기준광의 간섭신호를 이용하여 시편의 두께와 형상에 관한 정보를 얻을 수 있는 3차원 두께와 형상의 측정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상의 측정장치는 광대역의 파장을 가지는 광을 출사하는 광원부; 광을 제 1측정광과 제 1기준광으로 분리시키는 빔분할기와; 제 1측정광을 시편에 조사받게 하는 시편부; 제 1기준광을 특정파장 영역만 선별하여 통과시키는 칼라필터를 포함하는 기준부; 시편부 및 기준부로부터 출사된 제2측정광과 제 2기준광에 대한 신호를 검출하는 검출부; 및 검출부로부터 나온 신호에 대하여 신호처리 및 제어하는 신호처리 제어부;를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
음향광학변조필터, 칼라필터, 3차원 두께, 듀얼 분광, 박막-
公开(公告)号：KR1020090105288A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：KR1020080030655
申请日：2008-04-02
Applicant: 한국과학기술원 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A device for measuring 3-dimensional thickness and shape using a color filter and a measuring method thereof are provided to obtain information about the thickness and the shape of a specimen from diffraction signals passed through a reference part and information about the thickness of the specimen from diffraction signals passed through a measuring part by separating the reference part and the measuring part. CONSTITUTION: A device for measuring 3-dimensional thickness and shape using a color filter comprises an optical source part, a beam splitter, a specimen part, a reference part, the detection part, and the signal processing control part. An optical source part(20) irradiates the beam having broadband wavelength. The beam splitter divides the beam into a first measurement beam(8a) and a first reference beam. The first measurement beam is irradiated on the specimen part(30). The reference part(40) comprises a color filter(41) selecting a specific wavelength region and passing the specific wavelength region. The detection part(60) detects the signals on a second measurement beam(8b) and a second reference beam incident from the specimen part and the reference part. The signal processing control part processes and controls the signals from the detection part.
Abstract translation: 目的：提供一种使用滤色器测量3维厚度和形状的装置及其测量方法，以通过参考部分的衍射信号获得关于样本的厚度和形状的信息以及关于厚度的信息 来自衍射信号的样品通过分离参考部件和测量部件而通过测量部件。 构成：使用滤色器测量三维厚度和形状的装置包括光源部分，分束器，样本部分，参考部分，检测部分和信号处理控制部分。 光源部（20）照射宽带波长的光束。 分束器将光束分成第一测量光束（8a）和第一参考光束。 第一测量光束照射在样本部分（30）上。 参考部分（40）包括选择特定波长区域并通过特定波长区域的滤色器（41）。 检测部（60）检测第二测量光束（8b）和从样本部分和参考部分入射的第二参考光束的信号。 信号处理控制部分处理和控制来自检测部分的信号。
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公开(公告)号：KR101016207B1
公开(公告)日：2011-02-25
申请号：KR1020090017416
申请日：2009-03-02
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H05B37/02
Abstract: 본 발명은 입사광을 발생 및 확대하는 광원부; 광원부에서 발생된 입사광을 복수의 다중광으로 분리하고, 복수의 다중광을 피드백 제어신호에 기초하여 능동적으로 제어하는 입사광 제어부; 및 입사광 제어부에서 입사되는 다중광의 간섭을 이용하여 소정의 형상과 크기의 3차원 멀티스팟 형태의 조명을 생성하는 멀티스팟 생성부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명장치 및 조명 발생 방법을 구현한바, 다양한 크기와 모양의 3차원 멀티스팟 형태의 조명을 별도의 프리즘 또는 회절격자를 제조하지 않고 생성할 수 있는 효과가 있다. 이로 인해, 다양한 3차원 멀티스팟 조명을 편리하고 빠르게 제공할 수 있는 효과가 있다. 또한, 다양한 크기와 모양의 3차원 멀티스팟 형태의 조명을 조사하여 리소그래피 공정 시 마스크(Mask)를 대체할 수 있는 효과가 있다. 이러한 멀티스팟의 형상은 능동적으로 편리하게 조절이 가능하므로 다양한 마스크를 대신하여 사용할 수 있는 효과가 있다.
광원, 멀티스팟, 조명, 장치, 방법-
公开(公告)号：KR100877887B1
公开(公告)日：2009-01-12
申请号：KR1020070101981
申请日：2007-10-10
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B60R1/08
Abstract: An extended viewer module or front glass to overcome the blind spot of automobile by front pillar of a car and Design Method thereof is provided to show left region even at narrow alley by substituting an optical module or a front lens with a concave lens. An optical module demonstrates a concave lens property, attached to side of a front pillar(20) located between a windshield(10) and side glasses(30), in order to secure view of blind area. One surface of the optical module is a curvature having a radius of R2. The other surface facing to one surface is a curvature having a radius of R1. The optical module satisfies the following equation 1/f=(n-1)(1/R1+1/R2) and 1/f=(n-1)(1/R1+1/R2). The other surface of the optical module shaped like a cylinder or a sphere.
Abstract translation: 提供了一种用于克服汽车前柱的汽车盲点的扩展观察器模块或前玻璃及其设计方法，以通过用具有凹透镜的光学模块或前透镜代替狭窄的小巷。 光学模块显示出凹透镜性质，附着在位于挡风玻璃（10）和侧眼镜（30）之间的前柱（20）的侧面，以确保盲区的视野。 光学模块的一个表面是半径为R2的曲率。 面向一个表面的另一表面是具有半径R1的曲率。 光模块满足下式1 / f =（n-1）（1 / R1 + 1 / R2）和1 / f =（n-1）（1 / R1 + 1 / R2）。 光学模块的另一个表面形状像圆柱体或球体。
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公开(公告)号：KR100926034B1
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：KR1020070109389
申请日：2007-10-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J3/02
Abstract: 본 발명은 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 방법, 그 시스템 및 이것을 이용한 광학기기에 관한 것으로, 음향광학변조필터의 분광 및 편광 특성을 이용하여 정상파와 비정상파로 분광되어 서로 다른 정보가 담긴 2개의 회절광을 듀얼모드로 측정함으로써, 다층 박막을 포함한 반도체 박막의 굴절률이나 두께 또는 그 형상 및 세포의 굴절률 및 분광 물성치 등을 고속으로 정밀하게 측정할 수 있는 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 방법, 그 시스템 및 이것을 이용한 광학기기를 제공하는데 그 목적이 있다.
이를 해결하기 위한 수단으로서 본 발명에 따른 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 시스템은, 광원으로부터 생성된 광을 측정광과 기준광으로 분광시켜 조사해 주는 광원부; 측정광을 시편에 조사하여 반사된 측정광을 얻는 시편부; 기준광을 편광시켜 주는 기준부; 반사된 측정광과 편광된 기준광을 편광시켜 얻은 간섭광으로부터 편광 상태가 다른 2개의 회절광으로 분광시켜 주는 음향광학변조필터; 각 회절광을 검출하는 검출부; 및 검출된 회절광을 이용하여 결상처리 및 음향광학변조필터를 제어하는 신호처리 및 제어부;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명은 이러한 이미징 시스템을 이용하여 이미징하는 방법 및 이미징 방법을 수행하는 광학부재를 포함하는 광학기기를 제공한다.
음향광학변조필터, 복굴절, 편광, 듀얼모드, 편광 및 분광-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090043697A
公开(公告)日：2009-05-07
申请号：KR1020070109389
申请日：2007-10-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J3/02
Abstract: 본 발명은 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 방법, 그 시스템 및 이것을 이용한 광학기기에 관한 것으로, 음향광학변조필터의 분광 및 편광 특성을 이용하여 정상파와 비정상파로 분광되어 서로 다른 정보가 담긴 2개의 회절광을 듀얼모드로 측정함으로써, 다층 박막을 포함한 반도체 박막의 굴절률이나 두께 또는 그 형상 및 세포의 굴절률 및 분광 물성치 등을 고속으로 정밀하게 측정할 수 있는 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 방법, 그 시스템 및 이것을 이용한 광학기기를 제공하는데 그 목적이 있다.
이를 해결하기 위한 수단으로서 본 발명에 따른 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 시스템은, 광원으로부터 생성된 광을 측정광과 기준광으로 분광시켜 조사해 주는 광원부; 측정광을 시편에 조사하여 반사된 측정광을 얻는 시편부; 기준광을 편광시켜 주는 기준부; 반사된 측정광과 편광된 기준광을 편광시켜 얻은 간섭광으로부터 편광 상태가 다른 2개의 회절광으로 분광시켜 주는 음향광학변조필터; 각 회절광을 검출하는 검출부; 및 검출된 회절광을 이용하여 결상처리 및 음향광학변조필터를 제어하는 신호처리 및 제어부;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명은 이러한 이미징 시스템을 이용하여 이미징하는 방법 및 이미징 방법을 수행하는 광학부재를 포함하는 광학기기를 제공한다.
음향광학변조필터, 복굴절, 편광, 듀얼모드, 편광 및 분광-
公开(公告)号：KR100454263B1
公开(公告)日：2004-10-26
申请号：KR1020020021061
申请日：2002-04-17
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J3/36
Abstract: PURPOSE: A near-infrared ray spectrophotometer having an acoustic-optical tunable filter is provided to stably achieve near-infrared ray information from various measuring points using one spectrophotometer. CONSTITUTION: A near-infrared ray spectrophotometer includes a light source(10) generating light having near-infrared ray band, a multi-channel optical fiber probe(20) for transferring light information to a spectrophotometer system(90), an acoustic-optical tunable filter(50) for simultaneously splitting light transmitted into the spectrophotometer system(90), and a sensor(70) for measuring split light. A tungsten-halogen lamp is used as the light source(10). The tungsten-halogen lamp is connected to the multi-channel optical fiber probe(20) by using an SMA connector(21). The acoustic-optical tunable filter(50) and the sensor(70) are driven by means of a frequency controller and a sensor amplifying circuit.
Abstract translation: 目的：提供具有声光可调滤光器的近红外分光光度计，以使用一个分光光度计从各个测量点稳定地获得近红外线信息。 本发明的目的在于提供一种近红外分光光度计，该近红外分光光度计具备：产生近红外线频带的光的光源（10），将光信息传递到分光光度计系统（90）的多通道光纤探针（20），声光 用于同时分离透射到分光光度计系统（90）中的光的可调谐滤波器（50）以及用于测量分光的传感器（70）。 钨卤灯用作光源（10）。 钨卤灯通过使用SMA连接器（21）连接到多通道光纤探针（20）。 声光可调谐滤波器（50）和传感器（70）通过频率控制器和传感器放大电路来驱动。
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公开(公告)号：KR100451881B1
公开(公告)日：2004-10-08
申请号：KR1020020038873
申请日：2002-07-05
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02F1/11
Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring a three-dimensional shape of a transparent thin film using an acoustic optics tunable filter is provided to independently extract thickness information and shape information about a multi-level structure. CONSTITUTION: An apparatus for measuring a three-dimensional shape of a transparent thin film includes a light source(10) for emitting monochromatic rays, the first and second beam splitters(20,32), a Michelson interferometer module(30), an acoustic optics tunable filter, a CCD sensor(70). The second beam splitter splits the monochromatic rays emitted from the light source to send a part of the rays to a reference plane(33) and send another part of the rays to a measurement unit(80). The Michelson interferometer module includes a block plate(34) that selectively blocks irradiation of the monochromatic rays on the reference plane. The acoustic optics tunable filter selects monochromatic rays of a specific wavelength band from monochromatic rays irradiated on the filter. The first beam splitter allows reflection and transmission of the monochromatic rays among the light source, the second beam splitter and the acoustic optics tunable filter to be sequentially carried out. The CCD sensor forms an image from the monochromatic rays.
Abstract translation: 目的：提供一种使用声学光学可调谐滤波器测量透明薄膜的三维形状的设备，以独立地提取关于多级结构的厚度信息和形状信息。 用于测量透明薄膜的三维形状的设备包括用于发射单色光的光源（10），第一和第二分束器（20,32），迈克尔逊干涉仪模块（30），声学 光学可调谐滤波器，CCD传感器（70）。 第二分束器分离从光源发射的单色光，以将一部分光线发送到参考平面（33），并将另一部分光线发送到测量单元（80）。 迈克尔逊干涉仪模块包括阻挡板（34），其选择性地阻挡单色光线在参考平面上的照射。 声光学可调谐滤波器从照射在滤波器上的单色光线中选择特定波段的单色光线。 第一分束器允许依次执行光源，第二分束器和声学可调滤波器之间的单色光线的反射和透射。 CCD传感器从单色光线形成图像。
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公开(公告)号：KR1020100098765A
公开(公告)日：2010-09-10
申请号：KR1020090017416
申请日：2009-03-02
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H05B37/02
Abstract: PURPOSE: An active type three dimensional multi-spot illuminating apparatus and a method for illuminating light are provided to realize three dimensional multi spots by generating three dimensional multi-spot shape lamp without a prism or a diffracting grid. CONSTITUTION: Light source(100) generates and magnifies incident light. An incident light controller(200) separates incident light generated from the light source into a plurality of multi-lights and actively controls the multi-lights based on a feedback controlling signal. A multi-spot generator(300) generates a three dimensional multi-spot shape lamp using the interference of the multi-lights from the incident light controller.
Abstract translation: 目的：提供一种主动式三维多点照明装置和照明光的方法，通过生成不带棱镜或衍射网格的三维多点形状灯来实现三维多点。 构成：光源（100）产生并放大入射光。 入射光控制器（200）将从光源产生的入射光分离成多个多光源，并且基于反馈控制信号主动地控制多光。 多点发生器（300）使用来自入射光控制器的多光的干涉来产生三维多点形灯。
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公开(公告)号：KR100870132B1
公开(公告)日：2008-11-25
申请号：KR1020070049409
申请日：2007-05-21
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: A spectroscopic ellipsometer using an acoustic-optic tunable filter and an ellipsometric method using the same are provided to implement a spectroscopic ellipsometer including a spectral imaging ellipsometer more conveniently by using an acoustic-optic tunable filter(40) as both spectral and polarization devices. A spectroscopic ellipsometer includes a light source(2) emitting homogeneous light; a specimen part(3) in which the homogeneous light emitted from the light source is reflected; a polarization and modulation part(4) which includes an acoustic-optic tunable filter(40) having a wavelength bandwidth determined according to the homogeneous light reflected from the specimen part and an RF signal(63) from an acoustic-optic tunable filter driver(61), and generates two diffracted lights whose wave fronts are perpendicular to each other; a detection unit(5) measuring the two diffracted lights from the acoustic-optic tunable filter(40) to a two-dimensional imaging device at the same time and compensating for the polarized light confusion error generated in the acoustic-optic tunable filter; and a signal processing control part(6) synchronizing and controlling the two-dimensional imaging device to compensate for the polarized light confusion error and calculating the refractive index and thickness of specimen.
Abstract translation: 提供使用声光可调谐滤光器的分光椭偏仪和使用其的椭偏方法，以通过使用声光可调谐滤光器（40）作为光谱和偏振装置来更方便地实现包括光谱成像椭偏仪的光谱椭偏仪。 光谱椭偏仪包括发射均匀光的光源（2）; 其中从光源发射的均匀光被反射的样本部分（3） 偏振和调制部分（4），其包括具有根据从样本部分反射的均匀光确定的波长带宽的声光可调滤波器（40）和来自声光可调谐滤波器驱动器的RF信号（63） 61），并产生波前彼此垂直的两个衍射光; 检测单元（5），同时测量从声光可调滤波器（40）到二维成像装置的两个衍射光，并补偿在声光可调滤波器中产生的偏振光混淆误差; 以及信号处理控制部（6），其同步和控制二维成像装置，以补偿偏振光混淆误差并计算样本的折射率和厚度。
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