公开(公告)号：KR1020160089952A

公开(公告)日：2016-07-29

申请号：KR1020150009502

申请日：2015-01-20

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 ,  (주) 누리베큠

Inventor： 김경국 ,  김동준 ,  김택균 ,  조하나 ,  김소현 ,  이병길 ,  김환삼

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/35

CPC classification number: C23C14/3407 ,  C23C14/35

Abstract: 본발명은, 원통형의스퍼터링타깃(10), 스퍼터링타깃(10)의내부에스퍼터링타깃(10)의길이방향으로배치되며자기장을형성하는마그넷(20), 마그넷(20)을지지하는마그넷지지유닛(30)을포함하고, 마그넷(20)은스퍼터링타깃(10)의내주면과간극(G)을두고대면하는대향면(22)을가지며대향면(22)이스퍼터링타깃(10)의내주에대응되는곡률을갖도록형성된원통형스퍼터링캐소드를제공한다.

Abstract translation: 本发明提供一种圆柱形溅射阴极，包括：圆柱形溅射靶（10）; 在所述溅射靶（10）内沿所述溅射靶（10）的纵向布置的磁体（20），形成磁场; 以及支撑所述磁体（20）的磁体支撑单元（30）。 所述磁体（20）具有与所述溅射靶（10）的内周面对置的相反面（22），同时留有间隙（G），所述相对面（22）形成为具有与所述内周 的溅射靶（10）。

公开(公告)号：KR102101072B1

公开(公告)日：2020-04-16

申请号：KR1020180020995

申请日：2018-02-22

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 김경국 ,  강수현 ,  조하나 ,  김동준 ,  연규재 ,  정소애 ,  강남우 ,  최희정

IPC: G01N27/04 ,  G01N27/30