-
公开(公告)号：WO2016072668A1
公开(公告)日：2016-05-12
申请号：PCT/KR2015/011614
申请日：2015-11-02
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 자기 부상 스테이지 장치에 사용되는 가동자에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자극의 방향이 상하면에 위치하는 사각기둥 형상의 제1종 영구자석과 자극의 방향이 측면에 위치하는 육각기둥 형상의 제2종 영구자석을 2차원 할바흐 배열(Halbach array) 형태로 배치함에 따라 제1종 영구자석과 제2종 영구자석의 사이에 비자성체로 채워지는 스페이스가 존재하지 않게 함으로써 자속의 왜곡을 최소화하여 정밀한 위치 제어를 가능하게 하는 비자성체 스페이스가 없는 2차원 할바흐 배열을 갖는 가동자에 관한 것이다. 이러한 본 발명은 자극의 방향이 상하면에 위치하고 사각기둥(육면체) 형상으로 형성된 복수 개의 제1종 영구자석과, 자극의 방향이 측면에 위치하고 육각기둥 형상으로 형성된 복수 개의 제2종 영구자석으로 배열되는 것을 특징으로 하는 비자성체 스페이스가 없는 2차원 할바흐 배열을 갖는 가동자를 기술적 요지로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于磁悬浮台装置中的可移动元件，更具体地说，涉及一种具有无磁空间的二维Halbach阵列的可移动元件，该可移动元件允许方柱形第一型永磁体， 其中磁极分别指向上侧和下侧，并且其中磁极分别指向侧面的六角柱形第二型永磁体被布置成二维Halbach阵列形式，使得 在第一型永久磁铁和第二型永磁体之间没有填充有非磁性物质的空间，从而通过最小化磁通的失真来实现精确的位置控制。 具有上述结构的本发明作为其主题提供了具有无磁空间的二维Halbach阵列的可移动元件，其中形成为方形柱（六面体）形状的多个第一型永久磁铁 并且其磁极分别指向上侧和下侧，并且布置有形成为六边形柱状并且其磁极分别指向侧面的多个第二类型永磁体。
-
公开(公告)号：KR1020160056534A
公开(公告)日：2016-05-20
申请号：KR1020140156853
申请日：2014-11-12
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/68 , H01L21/027 , H01L21/02
Abstract: 본발명은원통형초정밀자기부상스테이지에관한것으로, 더욱상세하게는 가동자를중심으로복수개의자기부상모듈이원형으로배치되고가동자의일측에자성체가설치되며자성체의상측에보조자기부상모듈이설치되어가동자의가동시자기부상모듈의배치형태에의해흡인력과반발력이일정하게발생하여가동자의외란을방지할수 있고가동자의자중에의한흡인력부족을자성체와보조자기부상모듈간의흡인력을통해극복할수 있는원통형초정밀자기부상스테이지에관한것이다. 이러한본 발명은원통체에각각영구자석의배열로이루어진회전운동형의제1가동자와직선운동형의제2가동자가설치되는가동부; 상기제1가동자와상기제2가동자를각각중심으로하여복수개의제1자기부상모듈과제2자기부상모듈이원형으로설치되어상기가동부를자력으로부상시킨상태에서회전운동및 직선운동시키는자기부상부; 및상기제1가동자와상기원통체의사이와상기제2가동자와원통체의사이에각각제1자성체와제2자성체가설치되고상기제1자성체와상기제2자성체를상방으로당기는흡인력을각각발생시키는제1보조자기부상모듈과제2보조자기부상모듈이각각구비되는보조자기부상부;를포함하여구성되는것을특징으로하는원통형초정밀자기부상스테이지를기술적요지로한다. 그리고본 발명은원통체에영구자석의배열로이루어진가동자가설치되는가동부; 상기가동자의중심으로복수개의자기부상모듈이원형으로설치되어상기가동자를자력으로부상시키면서가동시키는자기부상부; 및상기가동자와원통체의사이에자성체가설치되고상기자성체의상측에상기자성체를상방으로당기는흡인력을발생시키는보조자기부상모듈이구비되는보조자기부상부;를포함하여구성되는것을특징으로하는원통형초정밀자기부상스테이지도기술적요지로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种圆柱形超精密磁悬浮台，更具体地涉及一种圆柱形超精密磁悬浮台，其可以防止作为吸引力的车辆的扰动，并且通过布置类型不断地产生排斥力 当由操作员操作磁悬浮模块时。 本发明提供了一种圆柱形超精密磁悬浮台，其包括：操作单元，其中第一操作元件和第二操作元件安装在圆柱体中; 磁悬浮单元悬浮操作单元，用磁力进行旋转和直线运动; 以及辅助磁悬浮单元，其中分别设置有第一辅助磁悬浮模块和第二辅助磁悬浮模块。
-
公开(公告)号：KR1020150017093A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：KR1020130092939
申请日：2013-08-06
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G02B5/30 , G02F1/1335
CPC classification number: G02B5/3058 , B32B17/10862 , G02F2001/133548
Abstract: 본 발명은 고분자 성형, 증착 및 식각 공정으로 이루어진 연속 공정을 적용하여, 나노 패턴을 갖는 필름 형태의 와이어 그리드 편광자를 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명은 고분자 성형, 증착 및 식각 공정으로 이루어진 롤투롤(Roll to Roll) 연속 공정을 적용하여, 나노 패턴을 갖는 필름 형태의 와이어 그리드 편광자를 제조하는 한편, 특히 금속 재질의 나노 패턴 형성시 증착 공정과 식각 공정(또는 이온 밀링 공정)를 교대로 진행하면서 금속 패턴을 형성하는 새로운 형태의 필름형 와이어 그리드 편광자 제조방식을 구현함으로써, 연속 공정의 적용이 가능하고 균일한 나노 패턴을 형성시킬 수 있는 와이어 그리드 편광자의 제조방법을 제공한다.Abstract translation: 本发明涉及通过应用由高分子成型，蒸发和蚀刻工艺形成的连续工艺制造具有纳米图案的膜型线栅偏振器的方法。 本发明通过应用由高分子成型，蒸发和蚀刻工艺形成的辊对辊连续工艺，制造具有纳米图案的膜型线状偏振器，并形成新型薄膜型线型偏振器的制造方法 当金属材料的纳米图案特别形成时，通过执行蒸发处理和蚀刻工艺（或离子研磨处理）来轮流形成金属图案。 因此，提供了能够应用连续工艺并形成均匀的纳米图案的线束偏振片的制造方法。
-
公开(公告)号：KR101172743B1
公开(公告)日：2012-08-14
申请号：KR1020090115109
申请日：2009-11-26
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은, 새로운 비접촉식 임프린트 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 롤투롤 임프린트 공정에서 기존의 롤러에서의 분진 발생, 임프린트된 제품의 품질 저하, 롤의 신뢰성 등의 문제를 비접촉 방식인 자기베어링을 사용함으로써 해결할 수 있는 비접촉식 임프린트 장치에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명에서는 롤투롤 임프린트 장치에 있어서, 연성기판에 패턴을 형성하도록 회전운동하는 원통 금형과; 전자기력에 의해 반경방향의 운동을 제어하는 레이디얼 베어링과; 축방향의 운동을 제어하도록 상기 원통 금형의 회전축 방향으로 좌우 양단에 구비되는 한 쌍의 스러스트 베어링과; 상기 레이디얼 베어링 및 상기 스러스트 베어링의 회전자와 상기 원통 금형을 포함하는 롤과; 상기 원통 금형과 상기 연성 기판 사이에 장력을 형성하는 한 쌍의 반송 롤러를 포함하며, 상기 레이디얼 베어링 각각의 고정자는 상측의 제1고정자부와 상기 제1고정자부에 분리된 하측의 제2고정자부로 구성되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 임프린트 장치를 제공한다.
이러한 구성을 포함하는 본 발명의 비접촉식 임프린트 장치는 기존의 롤 임프린트 공정보다 분진이 적고, 임프린트된 제품의 품질이 양호하며, 상기 롤의 신뢰성이 향상되며, 유지보수성 및 양산성이 매우 뛰어난 효과가 있다.
자기부상, 자기베어링, 비접촉식, 임프린트-
公开(公告)号：KR101070327B1
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：KR1020080120921
申请日：2008-12-02
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 이를위해, 본발명은제1 및제2레일과, 상기제1 및제2레일을따라승하강가능하게배치되는적재함및 이를둘러싸며일체로된 리프트프레임를포함하는자기안내리프트에있어서, 상기자기안내리프트의각 코너위치에서, 상기제1 및제2레일의각 돌출부를사이에두고양편에서 X축방향을따라위치되면서 X축방향의힘을지지하는 X축전자석을이격배치하는동시에상기제1 및제2레일의각 돌출부의전면에서 Y축방향을따라위치되면서 Y축방향의힘을지지하는 Y축전자석을이격배치하되, 상기 X축및 Y축전자석들이상호간에독립적으로운동할수 있도록전자석프레임및 지지부재를매개로조립시킨것을특징으로하는외란제거특성을갖는자기안내리프트를제공한다.
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110057295A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：KR1020090113633
申请日：2009-11-24
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/3065 , H01L21/302 , H01L21/02
CPC classification number: H01J37/08 , C23C14/48 , H01J37/305 , H01J37/32009
Abstract: PURPOSE: A device and method for processing various kinds of spices using plasma immersion ions are provided to efficiently polish a surface of large cylindrical processing materials by colliding ions accelerated to a sheath with rotary processing materials. CONSTITUTION: Plasma is filled in a vacuum chamber. A support(12) and a rotation device(13) are installed in a vacuum chamber. A cover(15) includes a slot(14) arranged along the surface of the processing materials. The cover is electrically connected to the processing materials. A power source(16) supplies power to the processing materials and the cover.
Abstract translation: 目的：提供使用等离子体浸渍离子处理各种香料的装置和方法，以通过与旋转处理材料碰撞加速到护套的离子来有效地抛光大圆柱形处理材料的表面。 构成：将等离子体填充在真空室中。 支撑件（12）和旋转装置（13）安装在真空室中。 盖（15）包括沿着处理材料的表面布置的槽（14）。 盖子与处理材料电连接。 电源（16）向处理材料和盖子供电。
-
公开(公告)号：KR1020100043724A
公开(公告)日：2010-04-29
申请号：KR1020080102897
申请日：2008-10-21
Applicant: 한국전기연구원
IPC: B60L13/06
Abstract: PURPOSE: A gap sensor location adjusting device is provided to accurately adjust the location of an up/down movement bracket upward and downward by using a screw for controlling a position. CONSTITUTION: A gap sensor(14) is installed in an up/down movement bracket(16). The up/down movement bracket are installed in a mount block(15). The mount block is attached to a support stand(12). The support stand is installed in an electromagnet in a horizontal direction. A fixed bracket(19) is attached to the bottom part of the mount block. A screw(18) for controlling a position is supported in one side of the fixed bracket to be rotatable in order to adjust the location of the bracket upward and downward. The upper part of the screw is combined in the bottom part of the up/down movement bracket. A guide groove enabling the bracket to be moved upward and downward is formed in one side of the mount block.
Abstract translation: 目的：提供一种间隙传感器位置调节装置，通过使用用于控制位置的螺钉来上下精确地调节上/下移动支架的位置。 构成：间隙传感器（14）安装在上/下移动支架（16）中。 上/下移动支架安装在安装座（15）中。 安装块连接到支撑架（12）。 支撑架在水平方向安装在电磁铁中。 固定支架（19）安装在安装座的底部。 用于控制位置的螺钉（18）被支撑在固定支架的一侧以便可旋转，以便上下调整支架的位置。 螺丝的上部组合在上/下移动支架的底部。 能够使支架上下移动的引导槽形成在安装块的一侧。
-
公开(公告)号：KR100875624B1
公开(公告)日：2008-12-26
申请号：KR1020070073499
申请日：2007-07-23
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/677 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/67709 , B66C1/04 , B66C1/06 , G05B19/4189 , G05B2219/45031
Abstract: The guideline control system of the magnetism guideline lift is provided to control easily the coil current because the guiding force of each channel has the linear proportion to the coil current. The guideline control system of the magnetism guideline lift comprises the frame(22), the guide rail(9a), the gap sensor(20a~20f), the top and bottom magnet module(19a~19h), the loads(23), the guideline controller, and the power amp. The loads move up and down by the rope. The load frame surrounds the loads. The guide rail is installed at the left side and right side of the frame in the vertical direction and guides up and down motion of the loading box. The gap sensor measures a gap between the guide rail and the magnet modules of the top and bottom. The top and bottom magnet module are apart from the guide rail. The top and bottom magnet module support the loading box in the up and down motion by the contactless method. The guideline controller controls the guiding force to regularly maintain the gap between the guide rail and the magnet module. The magnet module for controlling X-axis among the top and bottom magnet module is formed in parallel. The magnet module for controlling X-axis is formed in parallel. The magnet module for controlling Y-axis is formed in parallel.
Abstract translation: 由于各通道的引导力与线圈电流成线性关系，因此提供了磁导向电梯的指导控制系统，以便于控制线圈电流。 磁性导向升降机的导向控制系统包括框架（22），导轨（9a），间隙传感器（20a〜20f），顶部和底部磁体模块（19a〜19h），负载（23）， 指南控制器和功率放大器。 负载通过绳索上下移动。 负载框架围绕负载。 导轨沿垂直方向安装在框架的左侧和右侧，并引导装载箱的上下运动。 间隙传感器测量导轨和顶部和底部的磁体模块之间的间隙。 顶部和底部磁体模块与导轨分开。 顶部和底部磁体模块通过非接触式方式在上下运动中支撑装载箱。 引导控制器控制引导力以定期地保持导轨和磁体模块之间的间隙。 用于控制顶部和底部磁体模块中的X轴的磁体模块平行地形成。 用于控制X轴的磁体模块平行地形成。 用于控制Y轴的磁体模块平行地形成。
-
公开(公告)号：KR101416628B1
公开(公告)日：2014-07-08
申请号：KR1020120142434
申请日：2012-12-10
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G02B5/30
Abstract: 본 발명은 와이어 그리드 편광자와 이의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 나노패턴을 갖는 금형 및 전주 도금공정을 이용하여 단순하면서도 생산 효율이 높은 구조로 제조되는 와이어 그리드 편광자와 이의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 나노 패턴이 가공된 평판형 금형 또는 원통 금형과, 자외선 또는 열에 경화되는 고분자 재료를 구비하여, 기판의 금속층 표면에 레진 패턴을 형성함과 함께 전주 도금 공정을 이용하여 레진 패턴 사이에 도금 패턴이 형성되도록 한 후, 레진 패턴 및 금속 도금 패턴이 유연성 기판의 투명 접착제에 접착되며 전사되도록 함으로써, 연속 공정으로 와이어 그리드 편광자 제조가 가능하고, 제조 시간 및 생산 단가를 크게 줄일 수 있도록 한 와이어 그리드 편광자와 이의 제조 장치 및 방법을 제공하고자 한 것이다.-
公开(公告)号：KR1020120076805A
公开(公告)日：2012-07-10
申请号：KR1020100138525
申请日：2010-12-30
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/68 , H01L21/02 , H01L21/027
CPC classification number: H02K7/09 , H02K16/00 , H02K21/12 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18 , H01L21/682 , G03F7/70716 , G03F7/70775 , G03F9/7003 , H01L21/02027 , H01L21/0274
Abstract: PURPOSE: A cylindrical magnetic levitation stage is provided to directly process a pattern of nanometer size on the cylinder surface of large size by actively controlling the location of a cylinder with an error of the nanometer size. CONSTITUTION: A cylinder movable unit is composed of a rotary cylinder movable unit(110b) and a linear transfer cylinder movable unit(110a). A base unit supports the cylinder movable unit which can be rotated without contact. The base unit comprises electromagnet arrangement bodies(122a, 123a, 122b, 123b). A horizontal magnetic levitation auxiliary unit(140) controls the horizontal direction location of a cylinder mold and the cylinder movable unit. The horizontal magnetic levitation auxiliary unit comprises an electromagnet arrangement body(141).
Abstract translation: 目的：提供圆柱形磁悬浮台，通过主动控制圆柱体的位置，以纳米尺寸的误差直接处理大尺寸圆柱体表面的纳米尺寸图案。 构成：缸体可动单元由旋转圆筒可动单元（110b）和直线传动滚筒活动单元（110a）构成。 基座单元支撑可旋转而不接触的气缸可动单元。 基座单元包括电磁铁排列体（122a，123a，122b，123b）。 水平磁悬浮辅助单元（140）控制气缸模具和气缸活动单元的水平方向位置。 水平磁悬浮辅助单元包括电磁体排列体（141）。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
52
records
(took 0.023 seconds)
