公开(公告)号：KR100889564B1

公开(公告)日：2009-03-23

申请号：KR1020070066125

申请日：2007-07-02

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 안창근 ,  이성재 ,  양종현 ,  백인복 ,  유한영 ,  아칠성 ,  김안순 ,  박찬우 ,  박선희 ,  정태형

IPC: G01N33/48 ,  G01N33/50

CPC classification number: G01N33/5438 ,  G01N27/4145

Abstract: 본 발명은 타겟분자(Taget molecule)와 프로브분자(probe molecules)간의 상호반응을 통하여 특정 바이오 물질을 검출할 수 있는 바이오 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 이를 위한 본 발명은 제1도전형의 반도체 기판; 상기 반도체 기판에 형성된 제2도전형의 도핑층; 상기 도핑층의 양 끝단 상부에 형성된 전극 및 상기 도핑층에 고정된 프로브분자를 포함하는 바이오 센서를 제공한다.
바이오 센서, 접합 절연, 실리콘 나노선

公开(公告)号：KR1020080050958A

公开(公告)日：2008-06-10

申请号：KR1020070066125

申请日：2007-07-02

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 안창근 ,  이성재 ,  양종현 ,  백인복 ,  유한영 ,  아칠성 ,  김안순 ,  박찬우 ,  박선희 ,  정태형

IPC: G01N33/48 ,  G01N33/50

CPC classification number: G01N33/5438 ,  G01N27/4145

Abstract: A bio sensor is provided to reduce the production costs by using inexpensive bulk silicon substrate instead of expensive SOI(silicon on insulator) substrate, and improve sensing ability by electrically separating the substrate and sensing region through junction insulation. A bio sensor comprises: a first conduction type of semiconductor substrate(100) such as bulk silicon substrate; second conduction type of doped layers(110) formed on the semiconductor substrate; an electrode(120) formed in the upper parts of both ends of the doped layer; and probe molecules(130) immobilized to the doped layers, wherein the semiconductor substrate and doped layer are electronically separated through the junction insulation; and the doped layers have different immobilized probe molecules. A method for fabricating the bio sensor comprises the steps of: forming a second conduction type of doped layer on the first conduction type of semiconductor substrate; forming an electrode in the upper parts of both ends of the doped layer; and immobilizing the probe molecules to the doped layers. Further, the doped layers are epitaxial layers.

Abstract translation: 提供生物传感器以通过使用廉价的体硅衬底而不是昂贵的SOI（绝缘体上硅）衬底来降低生产成本，并且通过通过结绝缘电隔离衬底和感测区域来提高感测能力。 生物传感器包括：第一导电类型的半导体衬底（100），例如体硅衬底; 形成在半导体衬底上的第二导电类型的掺杂层（110）; 形成在所述掺杂层的两端的上部的电极（120） 和固定在掺杂层上的探针分子（130），其中半导体衬底和掺杂层通过结绝缘电子分离; 并且掺杂层具有不同的固定化探针分子。 制造生物传感器的方法包括以下步骤：在第一导电类型的半导体衬底上形成第二导电类型的掺杂层; 在掺杂层的两端的上部形成电极; 并将探针分子固定到掺杂层。 此外，掺杂层是外延层。