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公开(公告)号：KR100211025B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019960069277
申请日：1996-12-20
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
진동형 마이크로 자이로스코프
2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
본 발명은 압저항체을 이용하여 휨(bending) 변형으로부터 감지(sensing) 방향의 진동 크기를 측정하고, 이를 이용해 감지 방향의 변형이 상대적으로 크게 생기도록 구조체를 설계하여 우수한 감도를 가지는 진동형 마이크로 자이로스코프를 제공하는데 그 목적이 있다.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 상하부에 지지부가 형성되며, 상하방향으로 진동하는 외부구조물; 상기 외부구조물의 내부 중앙부에 구비되며, 가로방향으로 진동하여 외부로부터 평면에 수직한 축을 갖는 회전 각속도가 가해짐에 따라 회전속도에 비례하는 코리올리 힘을 수직방향으로 전달하는 진동질량; 상기 질량의 양측에 구비되며, 그에 가로방향 정전력을 제공하는 빗살전극; 및 상기 외부구조물의 상측 지지부 양단에 연결되며, 각기 다른 가진신호를 출력하여 진동을 발생시키도록 각각 전극이 구비된 제1 및 제2 앵커를 포함하는 진동형 마이크로 자이로스코프를 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
가진축과 수직한 방향으로 회전 각속도에 비례하는 진동의 크기는 압저항체를 이용하여 측정하는 것임.-
公开(公告)号：KR100231715B1
公开(公告)日：1999-11-15
申请号：KR1019970062770
申请日：1997-11-25
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01C19/00
Abstract: 본 발명은 진동형 마이크로 자이로스코프에 관한 것으로, 종래의 회전형 자이로스코프는 부피가 크고 고정밀도를 유지하기 위한 가격이 높으며, 충격과 진동에 쉽게 손상되는 등의 많은 단점을 갖고 있다. 이에 본 발명은 정전력(electrostatic force)을 이용해 구조체를 공진시키며, 이때 공진 구조체를 지지하는 스프링을 상하 좌우 대칭으로 배열하여 구동 방향에 수직인 검출 방향으로도 항상 공진이 발생할 수 있도록 설계하므로써 기존의 진동형 자이로스코프에 비해 공진 모드 주파수의 조율이 필요없이 감도가 우수한 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR100258173B1
公开(公告)日：2000-06-01
申请号：KR1019970034952
申请日：1997-07-25
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01C19/56
Abstract: PURPOSE: A micro-gyroscope is provided to ensure detection electrodes easy in formation and excellent in sensitivity by using a micro-bridge stationary wave capable of being manufactured by micro-machining. CONSTITUTION: An anchor(17) is placed at both ends of a silicon beam(11) for fixing the beam(11). The first pseudo-vibration electrode(12) is positioned the upper center of the silicon beam(11). The second and third pseudo-vibration electrodes(15,16) are positioned at both ends of the silicon beam(11). The first and second detection electrodes(13,14) are positioned at inflection points of the first vibration mode due to the bending of the silicon beam(11). When the silicon beam(11) is resonated along the direction(A) perpendicular to the plane defined by the silicon beam(11) and a resonance mode is deformed by the Coriolis' force generated by a rotative angular velocity(B) perpendicular to the longitudinal direction and the vibration direction(B) of the silicon beam(11), the detection electrodes(13,14) detect the magnitude of the deformation.
Abstract translation: 目的：提供一种微型陀螺仪，通过使用能够通过微加工制造的微桥静止波，确保检测电极形成容易，灵敏度高。 构成：锚固件（17）被放置在用于固定梁（11）的硅梁（11）的两端。 第一伪振动电极（12）位于硅光束（11）的上部中心。 第二和第三伪振动电极（15,16）位于硅光束（11）的两端。 第一和第二检测电极（13,14）由于硅梁（11）的弯曲而位于第一振动模式的拐点处。 当硅光束（11）沿与垂直于由硅光束（11）限定的平面垂直的方向（A）共振时，共振模式由垂直于...的旋转角速度（B）产生的科里奥利力变形 长度方向和硅梁（11）的振动方向（B），检测电极（13,14）检测变形的大小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019990042067A
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019970062770
申请日：1997-11-25
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01C19/00
Abstract: 본 발명은 진동형 마이크로 자이로스코프에 관한 것으로, 종래의 회전형 자이로스코프는 부피가 크고 고정밀도를 유지하기 위한 가격이 높으며, 충격과 진동에 쉽게 손상되는 등의 많은 단점을 갖고 있다. 이에 본 발명은 정전력(electrostatic force)을 이용해 구조체를 공진시키며, 이때 공진 구조체를 지지하는 스프링을 상하 좌우 대칭으로 배열하여 구동 방향에 수직인 검출 방향으로도 항상 공진이 발생할 수 있도록 설계하므로써 기존의 진동형 자이로스코프에 비해 공진 모드 주파수의 조율이 필요없이 감도가 우수한 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1019990011743A
公开(公告)日：1999-02-18
申请号：KR1019970034952
申请日：1997-07-25
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01C19/56
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 공진형 마이크로 자이로스코프에 관한 것으로, 특히 미세 가공 기술로 제작 가능한 마이크로 브리지의 정상파를 이용하는 자이로스코프 및 그 제조 방법과 이를 이용한 각속도 측정 방법에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명에 의한 공진형 마이크로 자이로스코프는 미세 가공 기술로 제작된 브리지 형태의 구조체를 압전소자를 이용해 공진시켜 휨 변형을 일으키고, 외부의 회전 속도에 의한 코리올리 힘이 발생할 때 이로 인한 공진 모드의 변화를 압전 소자를 이용해서 검출하는 방법을 이용한다. 그러므로 기존의 진동형 자이로스코프에 비해 고진공 내에서의 작동과 공진 모드 주파수의 조율 등의 문제가 심각히 요구되지 않는다.
3. 발명의 해결 방법의 요지
본 발명에 의한 자이로스코프는 브리지형 양단의 구속 보가 낮은 공진 모드로 휨에 의한 진동을 하도록 가진 전극을 보 위의 세 지점에 위치 시키고, 보의 공진 모드의 곡선 중 변곡점으로 작용하는 부분, 즉 휨 모멘트가 작용하지 않아 휨에 의한 응력이 공진중 항상 0이 되는 지점에 검출 전극을 위치시킨다. 보의 길이 방향에 수직하고 동시에 진동 변위에 수직한 방향으로 외부 각속도가 가해지면 코리올리의 힘이 보의 길이 방향으로 가해지게 되므로 공진의 모드를 변형시켜 검출 전극이 위치한 지점에서 0이 아닌 휨 응력이 발생하게 된다. 이 응력에 의한 변형의 크기는 외부의 회전 각속도에 비례하므로 이 변형의 크기를 압전 소자를 이용하여 측정하므로 각속도 검출의 기능을 수행하게 된다.-
公开(公告)号：KR100233829B1
公开(公告)日：1999-12-01
申请号：KR1019970039495
申请日：1997-08-20
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 마이크로 자이로스코프에 관한 것으로, 특히 미세가공기술로 제작 가능한 압전 박막을 이용하여 가진 및 검출이 동일한 평면상에서 이루어지도록 하는 마이크로 자이로스코프 및 그 제조 방법과 이를 이용한 각속도 측정 방법에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
실리콘 미세가공기술을 이용해 정전기력 및 자기력으로 구동되는 종래의 진동형 마이크로 자이로스코프는 진동 방향과 수직한 방향으로 발생하는 코리올리 힘을 이용하여 각속도를 측정하게 되는데, 공기 감쇠의 효과를 줄여 감도를 높이기 위해서는 진공 패키징이 요구되며, 가진과 검출의 진동 모드를 가능한 정확히 조율해야 하는 문제점이 발생한다.
3. 발명의 해결 방법의 요지
본 발명은 센서의 구조가 실리콘, 압전 박막 및 금속의 적층형으로 구성되어 있어 반도체 제조 공정으로 구현이 가능하고, 직선적으로 전파되는 진행파를 압전박판에 발생시켰을 때 외부 회전 각속도에 의해 받게되는 코리올리 힘을 전기적 신호로 검출되도록 함으로써, 가진 및 검출이 동일한 평면상에서 이루어지게 되어 제작공정이 단순화되며 진공 패키징 및 주파수 조율이 필요 없는 저가의 고감도 각속도를 제시한다.-
公开(公告)号：KR1019990016809A
公开(公告)日：1999-03-15
申请号：KR1019970039495
申请日：1997-08-20
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 마이크로 자이로스코프에 관한 것으로, 특히 미세가공기술로 제작 가능한 압전 박막을 이용하여 가진 및 검출이 동일한 평면상에서 이루어지도록 하는 마이크로 자이로스코프 및 그 제조 방법과 이를 이용한 각속도 측정 방법에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
실리콘 미세가공기술을 이용해 정전기력 및 자기력으로 구동되는 종래의 진동형 마이크로 자이로스코프는 진동 방향과 수직한 방향으로 발생하는 코리올리 힘을 이용하여 각속도를 측정하게 되는데, 공기 감쇠의 효과를 줄여 감도를 높이기 위해서는 진공 패키징이 요구되며, 가진과 검출의 진동 모드를 가능한 정확히 조율해야 하는 문제점이 발생한다.
3. 발명의 해결 방법의 요지
본 발명은 센서의 구조가 실리콘, 압전 박막 및 금속의 적층형으로 구성되어 있어 반도체 제조 공정으로 구현이 가능하고, 종래의 정전 용량 검출법의 단점을 보완하기 위해, 원판 구동형이 아닌 직선적으로 전파되는 진행파를 이용한 압전 박판이 외부 회전 각속도에 의해 받게되는 코리올리 힘을 전기적 신호로 검출되도록 함으로써, 가진 및 검출이 동일한 평면상에서 이루지게 되어 회로가 단순화되며 진공 패키징 및 주파수 조율이 필요 없는 저가의 고감도 각속도계를 제시한다.-
公开(公告)号：KR1019980050454A
公开(公告)日：1998-09-15
申请号：KR1019960069277
申请日：1996-12-20
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
진동형 마이크로 자이로스코프
2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
본 발명은 압저항체을 이용하여 휨(bending) 변형으로부터 감지(sensing) 방향의 진동 크기를 측정하고, 이를 이용해 감지 방향의 변형이 상대적으로 크게 생기도록 구조체를 설계하여 우수한 감도를 가지는 진동형 마이크로 자이로스코프를 제공하는데 그 목적이 있다.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 상하부에 지지부가 형성되며, 상하방향으로 진동하는 외부구조물; 상기 외부구조물의 내부 중앙부에 구비되며, 가로방향으로 진동하여 외부로부터 평면에 수직한 축을 갖는 회전 각속도가 가해짐에 따라 회전속도에 비례하는 코리올리 힘을 수직방향으로 전달하는 진동질량; 상기 질량의 양측에 구비되며, 그에 가로방향 정전력을 제공하는 빗살전극; 및 상기 외부구조물의 상측 지지부 양단에 연결되며, 각기 다른 가진신호를 출력하여 진동을 발생시키도록 각각 전극이 구비된 제1 및 제2 앵커를 포함하는 진동형 마이크로 자이로스코프를 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
가진축과 수직한 방향으로 회전 각속도에 비례하는 진동의 크기는 압저항체를 이용하여 측정하는 것임.
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