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公开(公告)号：KR102231275B1
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：KR1020160088781A
申请日：2016-07-13
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01J35/08
CPC classification number: H01J35/08 , H01J2235/087
Abstract: 본 발명은 엑스선 튜브에 관한 것으로, 구체적으로 자기 렌즈 등 전자빔 집속에 필요한 구성 요소를 제거하고, 단순한 구조로 나노미터 급 크기의 포컬 스팟(focal spot)을 갖는 엑스선을 발생시키는 엑스선 튜브에 관한 것이다.
이에 따른 본 발명은, 전자빔을 방출하는 전자빔 발생부, 상기 전자빔 발생부에서 방출된 전자빔을 제한하는 제한 전극부 및 상기 제한된 전자빔이 충돌하여 엑스선을 방출하는 타겟 물질을 포함하는 타겟부로 구성되되, 상기 제한 전극부는, 상기 방출된 전자빔 중 일부의 전자빔을 통과시켜 상기 타겟부로 전달하는 전자빔 제한 전극으로 구성되는 것을 특징으로 하는 엑스선 튜브에 관한 것이다.-
公开(公告)号：KR102238574B1
公开(公告)日：2021-04-12
申请号：KR1020170082825A
申请日：2017-06-29
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01J35/14 , H01J35/065
Abstract: 본 발명은 전계 방출 장치에 관한 것이다. 본 발명의 전계 방출 장치는 서로 이격된 캐소드 전극과 아노드 전극; 상기 캐소드 전극 상의 에미터; 상기 캐소드 전극과 상기 아노드 전극 사이에 위치되고, 상기 에미터와 중첩되는 게이트 개구를 갖는 게이트 전극; 및 상기 게이트 전극 상에 위치되고, 상기 게이트 개구와 중첩되는 복수의 미세 개구들을 갖는 전자 투과 시트를 포함한다.
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公开(公告)号：KR100670945B1
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：KR1020050051981
申请日：2005-06-16
Applicant: 한국전자통신연구원 , 선문대학교 산학협력단
IPC: H01L21/02
Abstract: LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이에 대해 개시한다. 그 마이크로칼럼 어레이는 배선이 형성된 LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic) 기판과 상기 LTCC 기판의 적어도 일측에 접합되며, 전자빔을 편향시키는 복수개의 편향소자가 배열된 상기 웨이퍼 크기의 편향기 어레이를 포함한다. LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이에 의하면 시간당 반도체 웨이퍼 처리량을 획기적으로 증가시킬 수 있고, 제조공정을 간단하게 하고 소요되는 경비를 크게 낮출 수 있다.
웨이퍼 규모, LTCC 기판, 편향소자, 동일한 방위각-
公开(公告)号：KR1020060070398A
公开(公告)日：2006-06-23
申请号：KR1020050051981
申请日：2005-06-16
Applicant: 한국전자통신연구원 , 선문대학교 산학협력단
IPC: H01L21/02
Abstract: LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이에 대해 개시한다. 그 마이크로칼럼 어레이는 배선이 형성된 LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic) 기판과 상기 LTCC 기판의 적어도 일측에 접합되며, 전자빔을 편향시키는 복수개의 편향소자가 배열된 상기 웨이퍼 크기의 편향기 어레이를 포함한다. LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이에 의하면 시간당 반도체 웨이퍼 처리량을 획기적으로 증가시킬 수 있고, 제조공정을 간단하게 하고 소요되는 경비를 크게 낮출 수 있다.
웨이퍼 규모, LTCC 기판, 편향소자, 동일한 방위각-
公开(公告)号：KR100687726B1
公开(公告)日：2007-02-27
申请号：KR1020050049196
申请日：2005-06-09
Applicant: 한국전자통신연구원 , 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J37/147
Abstract: 본 발명은 배선 수를 감축시킬 수 있는 마이크로 컬럼 전자빔 장치를 개시한다. 개시된 본 발명의 마이크로 컬럼 전자빔 장치는, LTCC(low temperature Co-fired Ceramic) 기판을 포함한다. 상기 LTCC 기판의 상면 소정 부분에 수 개의 편향기 전극이 형성되어 있으며, 상기 LTCC 기판의 상면 가장자리에 상기 편향기 전극에 외부 신호를 전달하는 패드 전극이 형성된다. 상기 LTCC 기판 내에는 상기 편향기 전극 및 패드 전극을 전기적으로 연결하는 연결수단이 형성된다.
LTCC(low temperature Co-fired Ceramic), 편향기(deflector), 전자빔 리소그라피, RC 지연-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060070396A
公开(公告)日：2006-06-23
申请号：KR1020050049196
申请日：2005-06-09
Applicant: 한국전자통신연구원 , 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J37/147
Abstract: 본 발명은 배선 수를 감축시킬 수 있는 마이크로 컬럼 전자빔 장치를 개시한다. 개시된 본 발명의 마이크로 컬럼 전자빔 장치는, LTCC(low temperature Co-fired Ceramic) 기판을 포함한다. 상기 LTCC 기판의 상면 소정 부분에 수 개의 편향기 전극이 형성되어 있으며, 상기 LTCC 기판의 상면 가장자리에 상기 편향기 전극에 외부 신호를 전달하는 패드 전극이 형성된다. 상기 LTCC 기판 내에는 상기 편향기 전극 및 패드 전극을 전기적으로 연결하는 연결수단이 형성된다.
LTCC(low temperature Co-fired Ceramic), 편향기(deflector), 전자빔 리소그라피, RC 지연-
公开(公告)号：KR102231275B1
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：KR1020160088781
申请日：2016-07-13
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01J35/08
Abstract: 본발명은엑스선튜브에관한것으로, 구체적으로자기렌즈등 전자빔집속에필요한구성요소를제거하고, 단순한구조로나노미터급 크기의포컬스팟(focal spot)을갖는엑스선을발생시키는엑스선튜브에관한것이다. 이에따른본 발명은, 전자빔을방출하는전자빔발생부, 상기전자빔발생부에서방출된전자빔을제한하는제한전극부및 상기제한된전자빔이충돌하여엑스선을방출하는타겟물질을포함하는타겟부로구성되되, 상기제한전극부는, 상기방출된전자빔중 일부의전자빔을통과시켜상기타겟부로전달하는전자빔제한전극으로구성되는것을특징으로하는엑스선튜브에관한것이다.
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