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公开(公告)号：KR102230001B1
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：KR1020150148491A
申请日：2015-10-26
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01J3/42 , H01S1/02 , G01J2003/423
Abstract: 포토닉 크리스탈 구조의 대구경 테라헤르츠 발생 장치는 제1 방향으로 확장된 제1 라인 패턴, 상기 제1 라인 패턴과 연결되고 상기 제1 방향과 교차된 제2 방향으로 확장된 복수의 제2 라인 패턴들 및 상기 제1 라인 패턴과 연결되고 상기 제2 방향으로 확장되고 상기 복수의 제2 라인 패턴들의 사이에 위치되고 상기 제2 라인 패턴들에 비해 긴 길이를 갖는 복수의 제3 라인 패턴들을 포함하는 제1 전극; 및 상기 제1 방향으로 확장된 제4 라인 패턴, 상기 제4 라인 패턴과 연결되고 상기 제2 방향으로 확장된 복수의 제5 라인 패턴들 및 상기 제4 라인 패턴과 연결되고 상기 제2 방향으로 확장되고 상기 복수의 제5 라인 패턴들의 사이에 위치되고 상기 제5 라인 패턴들에 비해 긴 길이를 갖는 복수의 제6 라인 패턴들을 포함하고, 상기 제1 전극과 마주하여 배치된 제2 전극을 포함한다.
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公开(公告)号：WO2014046465A1
公开(公告)日：2014-03-27
申请号：PCT/KR2013/008415
申请日：2013-09-17
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S1/00
CPC classification number: G02F1/353 , G02F2203/13 , H01L31/02161 , H01L31/03046 , H01L31/14 , H01L31/1844
Abstract: 기존 광대역 테라헤르츠 분광시스템의 핵심부품인 PCA 및 포토믹서의 현존하는 제한적인 요소를 근본적으로 해결한 포토믹서 및 그의 제조방법을 제시한다. 제시된 포토믹서는 기판의 상면에 형성되되 광이 입사되는 영역에 형성된 활성층, 및 기판의 상면에 형성되되 광이 입사되는 영역을 제외한 나머지 영역에 형성된 열전도층을 포함한다. 활성층은 메사형 단면을 갖도록 형성되고, 열전도층은 광이 입사되는 영역을 제외한 영역에 MOCVD법으로 재성장되어 평탄화된 표면을 갖게 된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种基本上解决现有宽带太赫兹光谱系统的关键组件的PCA和光混合器的现有局限性的光混合器及其制造方法。 根据本发明的光混合器包括：形成在形成在基板的上表面上的光入射区域中的有源层; 以及形成在所述光入射区域以外的区域中并且形成在所述基板的上表面上的导热层。 有源层形成为具有台面型横截面，并且通过MOCVD方法在除了光入射区域之外的区域中重新生长导热层以具有平坦的表面。
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公开(公告)号：KR100900320B1
公开(公告)日：2009-06-02
申请号：KR1020080086907
申请日：2008-09-03
Applicant: 한국전자통신연구원 , 숭실대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 각 영역에 회절격자를 포함하는 두 개의 DFB 영역과 위상 변조 영역으로 구성된 다중 영역 DFB 레이저 소자를 이용하는 테라헤르츠파 발생 방법에 관한 것이다.
기판 상에 하부 도파로, 상기 하부 도파로 상부에 활성층 및 상기 활성층 상부에 상부 도파로를 포함하는 제1 DFB 영역에 제1 회절 격자를 형성하는 단계, 상기 기판 상에 형성된 상기 하부 도파로, 상기 활성층 및 상기 상부 도파로를 포함하며 상기 제1 DFB영역과 이격 거리에 위치된 제2 DFB 영역에 제2 회절 격자를 형성하는 단계, 상기 제1 회절 격자가 형성된 제1 DFB영역과 상기 제2 회절 격자가 형성된 제2 DFB영역 사이에 위상 변조 영역을 형성하는 단계, 상기 제1 회절 격자가 형성된 제1 DFB 영역에 제1 전류를 공급하고, 상기 제2 회절 결자가 형성된 제2 DFB 영역에 제2 전류를 공급하여 상기 제1 DFB 영역 및 상기 제2 DFB 영역에서 제1 발진파 및 제2 발진파를 발생시키는 단계, 상기 위상 변조 영역에 위상 조정 전류를 공급하여 상기 제1 발진파 및 제2 발진파의 위상을 조정하는 단계 및 상기 위상이 조정된 제1 발진파 및 제2 발진파를 포토믹싱하는 단계를 포함하되, 상기 제1 발진파 및 제2 발진파의 브래그 파장 차이에 비례하여 상기 제1 발진파의 발진파장은 감소하고 상기 제2 발진파의 발진파장은 증가하는 것을 특징으로 하는 테라 헤르츠파를 발생하는 방법을 제공할 수 있다.
전술한 바와 같은 방법으로 생성되는 테라헤르츠파는 , 각각 회절격자의 주 기 차이를 변화시킴으로써 다중 영역 DFB 레이저에서 방출하는 두 모드의 주파수 차이를 매우 낮은 주파수에서 THz 영역까지 변화시킬 수 있다.
다중 영역 DFB LD, 테라헤르츠파 생성, 회절격자-
公开(公告)号：KR1020070088356A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：KR1020070017161
申请日：2007-02-20
Applicant: 한국전자통신연구원 , 숭실대학교산학협력단
IPC: H01S5/00
CPC classification number: H01S3/0675 , H01S5/0602 , H01S5/0656
Abstract: A multiple section DFB(Distributed FeedBack) laser device, a manufacturing method thereof, and a method for generating tera hertz waves are provided to vary a frequency difference of two modes discharged from a multiple section DFB laser device, from a low frequency to a tera hertz frequency by varying a periodic difference of a complex-coupled diffraction grating. A multiple section DFB laser device includes an active layer(110), a first DFB section, a second DFB section, and a phase modulation section. The active layer(110) is formed on an upper part of a substrate(101). The first DFB section is formed on one region of an upper part and a lower part of the active layer(110), and has a plurality of first diffraction gratings. The second DFB section is formed to be spaced apart from the first DFB section, and has a plurality of second diffraction gratings which are formed on one region of the lower part and the upper part of the active layer(110). The phase modulation section is formed between the first DFB section and the second DFB section. The first and second DFB sections have a waveguide(102) which is formed on the substrate(101), a first SCH(Separate Confinement Hetero) layer(109a) which is formed on the waveguide(102) of the lower part of the active layer(110), and a second SCH layer(109b) which is formed on the active layer(110).
Abstract translation: 提供多段DFB（分布式反馈）激光装置及其制造方法和用于产生多赫兹波的方法，以改变从多段DFB激光装置放出的两种模式的频率差，从低频到Tera 通过改变复耦合衍射光栅的周期性差异来产生赫兹频率。 多段DFB激光装置包括有源层（110），第一DFB部分，第二DFB部分和相位调制部分。 有源层（110）形成在基板（101）的上部。 第一DFB部分形成在有源层（110）的上部和下部的一个区域上，并且具有多个第一衍射光栅。 第二DFB部分形成为与第一DFB部分间隔开，并且具有形成在有源层（110）的下部和上部的一个区域上的多个第二衍射光栅。 相位调制部分形成在第一DFB部分和第二DFB部分之间。 第一DFB部分和第二DFB部分具有形成在基板（101）上的波导（102），形成在活动的下部的波导（102）上的第一SCH（分离限制异质）层（109a） 层（110）和形成在有源层（110）上的第二SCH层（109b）。
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公开(公告)号：KR1020080096634A
公开(公告)日：2008-10-31
申请号：KR1020080086907
申请日：2008-09-03
Applicant: 한국전자통신연구원 , 숭실대학교산학협력단
CPC classification number: H01S5/06258 , G02B6/136 , H01S5/12
Abstract: A method for generating terahertz waves using a DFB(Distributed feedback) laser device is provided to change difference between two mode frequencies emitted from a multiregional DFB laser device from a low frequency to a THz region by changing period difference of a diffraction grating. A first diffraction grating is formed in a first DFB region including a lower waveguide(102) on a substrate(101), an active layer(110) formed on the lower waveguide, and a waveguide on the active layer. A second diffraction grating is formed in a second DFB region which is separated from the first DFB region and includes the lower waveguide, the active layer, and the upper waveguide on the substrate. A phase tuning section is formed between the first DFB region with the first diffraction grating and the second DFB region with the second diffraction grating. A first oscillating wave and a second oscillating wave are generated in the first and second DFB regions by supplying a first current to the first DFB region with the first diffraction grating and a second current to the second DFB region with the second diffraction grating. The phases of the fist and second oscillating waves are controlled by supplying a phase control current to the phase tuning section. The first and second oscillating waves with controlled phases are photo-mixed.
Abstract translation: 提供了一种使用DFB（分布式反馈）激光装置产生太赫兹波的方法，通过改变衍射光栅的周期差来改变从多波段DFB激光装置发射的两个模式频率从低频到太赫兹区域的差异。 第一衍射光栅形成在包括在基底（101）上的下波导（102），形成在下波导上的有源层（110）和有源层上的波导的第一DFB区域中。 第二衍射光栅形成在与第一DFB区分离并且在衬底上包括下波导，有源层和上波导的第二DFB区中。 在具有第一衍射光栅的第一DFB区域和具有第二衍射光栅的第二DFB区域之间形成相位调谐部分。 通过用第一衍射光栅向第一DFB区域提供第一电流，并且通过用第二衍射光栅向第二DFB区域提供第二电流，在第一和第二DFB区域中产生第一振荡波和第二振荡波。 通过向相位调谐部提供相位控制电流来控制第一和第二振荡波的相位。 具有受控相位的第一和第二振荡波是光混合的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102220889B1
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：KR1020180030826
申请日：2018-03-16
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N21/3586
Abstract: 일실시예에따르면, 시료의깊이영상및 평면영상을획득하는영상획득장치일수 있다. 이때, 영상획득장치는테라헤르츠파를생성하는빔 소스(beam source); 상기빔 소스에서출력되는상기테라헤르츠파의각도보다상기테라헤르츠파의각도를확장하는빔 확장기(beam expander); 상기빔 확장기를투과한테라헤르츠파의교차하는위치에배치되어, 상기테라헤르츠파의진행하는방향을조절하는빔 스플리터(beam splitter); 상기방향이조절된테라헤르츠파가시료(sample)에서반사되고, 상기시료에서반사된테라헤르츠파를수신한빔 스플리터로부터출력되는테라헤르츠파를수신하여, 산란된테라헤르츠파를출력하는빔 산란기(beam diffuser); 상기빔 산란기에서산란된테라헤르츠파의초점위치를결정하는텔레센트릭렌즈(telecentric f-θ lens); 상기텔레센트릭렌즈를투과한상기테라헤르츠파를반사하는빔 스캐너(beam scanner); 및상기시료의영상을획득하기위해상기빔 스캐너에서상기반사된테라헤르츠파를검출하는빔 검출기(beam detector)를포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170055902A
公开(公告)日：2017-05-22
申请号：KR1020160065754
申请日：2016-05-27
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본발명은박막히터가집적된파장가변분포궤환형(distributed feedback; 이하, DFB) 레이저다이오드에관한것이다. 본발명의실시예에의한박막히터집적파장가변분포궤환형레이저다이오드는, 기판과, 상기기판상에적층된하부클래드층, 회절격자, 활성층, 상부클래드층, 오믹층, 상부전극및 절연층과, 상기절연층상에위치되는발열영역을포함한박막히터를포함하며, 상기회절격자의길이가활성층도파로의길이보다작게형성되고, 상기박막히터의발열영역의길이가상기회절격자가배치되는회절격자영역의길이이상인것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明反馈有薄膜加热器集成波长分布类型的变量;涉及（分布式反馈或更少，DFB）激光二极管。 根据本发明，在基板和基板上层叠在衍射光栅，活性层，上部包层，所述欧姆层，所述上部电极和所述绝缘层和所述下包层的实施例的示例性薄膜加热器集成可调谐的分布反馈激光二极管 衍射光栅区包括薄膜加热器包括一个热生成区域位于所述绝缘层上，所述衍射的长度光栅被形成为比所述有源波导的长度小，薄膜加热器的发热区域的长度布置成使得所述衍射光栅 线数超过两个。
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