-
公开(公告)号：WO2017014442A1
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：PCT/KR2016/007110
申请日：2016-07-01
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2608
Abstract: 본 발명은 전자빔을 방출하는 전자빔 소스; 상기 전자빔 소스쪽에 구비되며, 상기 전자빔을 집속하여 주는 하나이상의 중간 집속렌즈, 및 최종 집속렌즈로서 시료쪽에 구비되며, 시료위에 집속되는 전자빔 스폿을 형성시키는 대물렌즈를 포함하는 집속렌즈군; 상기 전자빔 소스 및 집속렌즈군을 내부에 구비하며, 상기 전자빔 소스로부터 방출된 전자빔이 대물렌즈를 거쳐 시료에 조사되는 통로인 어퍼처를 구비하는 진공챔버; 상기 전자빔의 조사 방향을 제어하여 바꾸어 주는 하나 이상의 편향기; 및 관찰하려는 시료를 지지하는 시료 스테이지;를 포함하는 주사전자현미경에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种扫描电子显微镜，包括：用于照射电子束的电子束源; 包括至少一个中间聚光透镜的聚光透镜组，其设置成与电子束源相邻并且使电子束冷凝，并将物镜作为最终的聚光透镜设置在与样品相邻并形成电子 在样品上凝结的束斑; 真空室，其内部包括电子束源和聚光透镜组，并且具有作为从电子束源照射的电子束通过物镜照射到样品的通道的孔; 至少一个偏转器，用于控制和改变电子束的照射方向; 以及用于支撑要观察的样品的样品台。
-
公开(公告)号：KR1020170010917A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：KR1020150102133
申请日：2015-07-20
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2608
Abstract: 본발명은전자빔을방출하는전자빔소스; 상기전자빔소스쪽에구비되며, 상기전자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는전자빔스폿을형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군; 상기전자빔소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기전자빔소스로부터방출된전자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버; 상기전자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 및관찰하려는시료를지지하는시료스테이지;를포함하는주사전자현미경에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种扫描电子显微镜，包括：用于照射电子束的电子束源; 包括至少一个中间聚光透镜的聚光透镜组，该中心聚光透镜与电子束源相邻设置并使电子束冷凝;以及物镜，其被设置为最终的聚光透镜，邻近样品并形成电子 在样品上凝结的束斑; 在其内部包括电子束源和聚光透镜组的真空室，具有从电子束源照射的电子束通过物镜照射到样品的通道的孔; 至少一个偏转器，用于控制和改变电子束的照射方向; 以及用于支撑要观察的样品的样品台。
-
公开(公告)号：KR101725506B1
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：KR1020150102133
申请日：2015-07-20
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2608
Abstract: 본발명은전자빔을방출하는전자빔소스; 상기전자빔소스쪽에구비되며, 상기전자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는전자빔스폿을형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군; 상기전자빔소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기전자빔소스로부터방출된전자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버; 상기전자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 및관찰하려는시료를지지하는시료스테이지;를포함하는주사전자현미경에관한것이다.
-
-
Search Results
3
records
(took 0.016 seconds)
