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公开(公告)号:KR102119409B1
公开(公告)日:2020-06-08
申请号:KR1020180108811
申请日:2018-09-12
Applicant: 한국화학연구원
Inventor: 임종선 , 김창균 , 정택모 , 안기석 , 이선숙 , 송우석 , 명성 , 박보근 , 김자희 , 임이랑
IPC: C07F11/00 , C23C16/30 , H01L21/02