公开(公告)号：TWI531675B

公开(公告)日：2016-05-01

申请号：TW099110511

申请日：2010-04-06

Applicant: ASM美國公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 哈爾平 麥可 ,  HALPIN, MIKE ,  馬瑞司 丹 ,  MAURICE, DAN ,  席羅 艾瑞克 ,  SHERO, ERIC ,  特豪斯特 赫伯特 ,  TERHORST, HERBERT ,  佛吉斯 摩希茲 ,  VERGHESE, MOHITH ,  懷特 卡爾 ,  WHITE, CARL

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/54

CPC classification number: C23C16/45502 ,  C23C16/45504 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/45591 ,  H01L21/0228 ,  Y10T137/85938

公开(公告)号：TWI439680B

公开(公告)日：2014-06-01

申请号：TW097118365

申请日：2008-05-19

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 雅可布斯 勞恩 ,  JACOBS, LOREN ,  海爾賓 邁克 ,  HALPIN, MIKE

IPC: G01K1/14 ,  G01K7/02 ,  G01K1/08 ,  H01L35/00

CPC classification number: G01K1/08 ,  G01K7/02 ,  G01K7/04