公开(公告)号：TWI557261B

公开(公告)日：2016-11-11

申请号：TW100113130

申请日：2011-04-15

Applicant: ASM美國公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 方杜魯利亞 凱勒 ,  FONDURULIA, KYLE ,  席羅 艾瑞克 ,  SHERO, ERIC ,  佛吉斯 摩希茲E ,  VERGHESE, MOHITH E. ,  懷特 卡爾L ,  WHITE, CARL L.

IPC: C23C16/448

公开(公告)号：TWI540221B

公开(公告)日：2016-07-01

申请号：TW099127063

申请日：2010-08-13

Applicant: ASM美國公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 席羅 艾瑞克 ,  SHERO, ERIC ,  瑞薩能 派提I ,  RAISANEN, PETRI I. ,  鄭相鎬 ,  JUNG, SUNG HOON ,  王強剛 ,  WANG, CHANG-GONG

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/515

CPC classification number: C23C16/40 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64 ,  C23C16/45553 ,  C23C16/52

公开(公告)号：TWI531675B

公开(公告)日：2016-05-01

申请号：TW099110511

申请日：2010-04-06

Applicant: ASM美國公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 哈爾平 麥可 ,  HALPIN, MIKE ,  馬瑞司 丹 ,  MAURICE, DAN ,  席羅 艾瑞克 ,  SHERO, ERIC ,  特豪斯特 赫伯特 ,  TERHORST, HERBERT ,  佛吉斯 摩希茲 ,  VERGHESE, MOHITH ,  懷特 卡爾 ,  WHITE, CARL

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/54

CPC classification number: C23C16/45502 ,  C23C16/45504 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/45591 ,  H01L21/0228 ,  Y10T137/85938

公开(公告)号：TWI426155B

公开(公告)日：2014-02-11

申请号：TW096137980

申请日：2007-10-11

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 樊都魯黎亞 凱爾 ,  FONDURULIA, KYLE ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  莫西斯 維埃茲E. ,  VERGHESE, MOHITH E. ,  懷特 卡爾L. ,  WHITE, CARL L.

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4481 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/4402

公开(公告)号：TWI506721B

公开(公告)日：2015-11-01

申请号：TW098142134

申请日：2009-12-09

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 懷特 卡爾L ,  WHITE, CARL L. ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  李德 朱歐 ,  REED, JOE

IPC: H01L21/683

CPC classification number: C23C16/45544 ,  C23C16/4585 ,  H01L21/67011 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68771

公开(公告)号：TWI410513B

公开(公告)日：2013-10-01

申请号：TW096137237

申请日：2007-10-04

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 王長工 ,  WANG, CHANG-GONG ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  威爾克 格蘭 ,  WILK, GLEN

IPC: C23C16/00 ,  C30B25/14

CPC classification number: C23C16/405 ,  C23C16/401 ,  C23C16/45531

公开(公告)号：TWI515816B

公开(公告)日：2016-01-01

申请号：TW099101229

申请日：2010-01-18

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 里德 約瑟夫C ,  REED, JOSEPH C. ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/68764 ,  H01L21/68742

公开(公告)号：TWI509108B

公开(公告)日：2015-11-21

申请号：TW099112156

申请日：2010-04-19

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 瑞格哈瓦 斯里尼 ,  RAGHAVAN, SRINI ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  維埃茲 莫西斯 ,  VERGHESE, MOHITH

IPC: C23F1/32 ,  C23F1/36 ,  C23F1/38 ,  C23F11/06

CPC classification number: C09K13/02 ,  C11D7/06 ,  C11D7/10 ,  C11D7/265 ,  C11D11/0041 ,  C23C16/4405 ,  C23C16/4407 ,  C23C16/45525 ,  C23G1/18 ,  C23G1/205 ,  C23G1/22

公开(公告)号：TWI412063B

公开(公告)日：2013-10-11

申请号：TW095101879

申请日：2006-01-18

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 馬伊夫 維基 ,  VERGHESE, MOHITH ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  貝比克 達寇 ,  BABIC, DARKO ,  特后司特 赫伯特 ,  TERHORST, HERBERT ,  沛薩 瑪寇 ,  PEUSSA, MARKO ,  洋 敏 ,  YAN, MIN

IPC: H01L21/00 ,  C23C16/455 ,  C30B25/14

CPC classification number: H01L21/68785 ,  C23C16/4408 ,  C23C16/455 ,  C23C16/45517 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/45582 ,  C23C16/45587 ,  C23C16/45591 ,  C23C16/458 ,  C23C16/4582 ,  C23C16/4583 ,  C23C16/4586 ,  C30B35/00 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/68714 ,  H01L21/68742