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公开(公告)号：TWI540221B
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW099127063
申请日：2010-08-13
Applicant: ASM美國公司 , ASM AMERICA, INC.
Inventor： 席羅 艾瑞克 , SHERO, ERIC , 瑞薩能 派提I , RAISANEN, PETRI I. , 鄭相鎬 , JUNG, SUNG HOON , 王強剛 , WANG, CHANG-GONG
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/52 , C23C16/515
CPC classification number: C23C16/40 , C01B13/11 , C01B2201/64 , C23C16/45553 , C23C16/52
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