公开(公告)号：TWI540221B

公开(公告)日：2016-07-01

申请号：TW099127063

申请日：2010-08-13

Applicant: ASM美國公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 席羅 艾瑞克 ,  SHERO, ERIC ,  瑞薩能 派提I ,  RAISANEN, PETRI I. ,  鄭相鎬 ,  JUNG, SUNG HOON ,  王強剛 ,  WANG, CHANG-GONG

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/515

CPC classification number: C23C16/40 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64 ,  C23C16/45553 ,  C23C16/52

公开(公告)号：TWI493071B

公开(公告)日：2015-07-21

申请号：TW096124005

申请日：2007-07-02

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 王長工 ,  WANG, CHANG-GONG ,  雪洛 艾立克J. ,  SHERO, ERIC J. ,  威爾克 格蘭 ,  WILK, GLEN ,  梅斯 強 威廉 ,  MAES, JAN WILLEM

IPC: C23C16/30 ,  C23C16/44

CPC classification number: H01L21/3141 ,  C23C16/401 ,  C23C16/405 ,  C23C16/45531 ,  C23C16/45542 ,  H01L21/28194 ,  H01L21/31612 ,  H01L21/31645

公开(公告)号：TWI410513B

公开(公告)日：2013-10-01

申请号：TW096137237

申请日：2007-10-04

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 王長工 ,  WANG, CHANG-GONG ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  威爾克 格蘭 ,  WILK, GLEN

IPC: C23C16/00 ,  C30B25/14

CPC classification number: C23C16/405 ,  C23C16/401 ,  C23C16/45531