公开(公告)号：NL2012291A

公开(公告)日：2014-08-21

申请号：NL2012291

申请日：2014-02-19

Applicant: ASML NETHERLANDS BV ,  ASML HOLDING NV

Inventor： CUYPERS KOEN ,  ANDRADE OLIVEIRA MARCELO ,  REMIE MARINUS ,  SINGH CHATTARBIR ,  BOKHOVEN LAURENTIUS ,  VEN HENRICUS ,  FONSECA JUNIOR JOS ,  BOXTEL FRANK ,  BURBANK DANIEL ,  LOOPSTRA ERIK ,  ONVLEE JOHANNES ,  SCHUSTER MARK ,  BALLEGOIJ ROBERTUS ,  WARD CHRISTOPHER ,  WESTERLAKEN JAN

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2003933A

公开(公告)日：2010-06-14

申请号：NL2003933

申请日：2009-12-10

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KEMPER NICOLAAS ,  BALLEGOIJ ROBERTUS ,  VERMEULEN MARCUS ,  BERKVENS PAUL ,  METSENAERE CHRISTOPHE ,  ROPS CORNELIUS ,  RIEPEN MICHEL ,  HEUVEL MARTINUS ,  WINKEL JIMMY

IPC: G03F7/20