公开(公告)号：KR20180019783A

公开(公告)日：2018-02-26

申请号：KR20187004695

申请日：2014-05-02

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BOGAART ERIK ,  BIJNEN FRANCISCUS ,  DEN BOEF ARIE ,  MATHIJSSEN SIMON GIJSBERT JOSEPHUS

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/65 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66

CPC classification number: G03F7/70483 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/656 ,  G03F7/70625

Abstract: 기판에는디바이스구조물및 계측구조물(800)이제공된다. 디바이스구조물은하나이상의파장의여기방사선의비탄성산란을나타내는재료를포함한다. 디바이스구조물은하나이상의치수에서충분히작아서비탄성산란의특성이양자구속에의하여크게영향받게하는구조를포함한다. 계측구조물(800)은조성및 치수에있어서디바이스피쳐와유사한디바이스-유사구조물(800b), 및교정구조물(800a)을포함한다. 교정구조물은조성에있어서디바이스피쳐와유사하지만적어도하나의치수에있어서상이하다. 라만분광을구현하는검사장치및 방법을사용하면, 디바이스-유사구조물의치수는디바이스-유사구조물및 교정구조물로부터비탄성적으로산란된방사선의스펙트럼피쳐를비교함으로써측정될수 있다.

Abstract translation: 衬底配备有器件结构和度量结构（800）。 器件结构包括显示一个或多个波长的激发辐射的非弹性散射的材料。 器件结构包括在一个或多个维度上足够小的结构，非弹性散射的特性受量子限制的显着影响。 度量结构（800）包括类似于器件特征和校准结构（800a）的组成和尺寸的器件状结构（800b）。 校准结构与组成装置中的装置特征类似，但在至少一个维度上不同。 使用实施拉曼光谱学的检查设备和方法，可以通过比较来自类似装置的结构和校准结构的非弹性散射辐射的光谱特征来测量装置状结构的尺寸。

公开(公告)号：NL2012744A

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：NL2012744

申请日：2014-05-02

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BOGAART ERIK ,  BIJNEN FRANCISCUS ,  BOEF ARIE ,  MATHIJSSEN SIMON

IPC: G01N21/65 ,  G03F7/20