公开(公告)号：NL1036167A1

公开(公告)日：2009-05-25

申请号：NL1036167

申请日：2008-11-07

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUTLER HANS ,  WIJST MARC WILHELMUS MARIA VAN ,  GEERKE JOHAN HENDRIK ,  PEE JOOST DE ,  BEIJERS CLEMENTIUS ANDREAS JOHANNES ,  NIJHUIS MARCO HENDRIKUS HERMAN ,  DEBIESME FRANCOIS XAVIER

IPC: H01L21/68 ,  G03F9/00

公开(公告)号：NL1036192A1

公开(公告)日：2009-06-09

申请号：NL1036192

申请日：2008-11-13

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUTLER HANS ,  WIJST MARC WILHELMUS MARIA VAN ,  GEERKE JOHAN HENDRIK ,  PEE JOOST DE ,  BEIJERS CLEMENTIUS ANDREAS JOHANNES ,  NIJHUIS MARCO HENDRIKUS HERMAN ,  DEBIESME FRANCOIS XAVIER

IPC: H01L21/68 ,  G03F9/00

公开(公告)号：NL1036290A1

公开(公告)日：2009-06-22

申请号：NL1036290

申请日：2008-12-08

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUTLER HANS ,  WIJST MARC WILHELMUS MARIA VAN ,  GEERKE JOHAN HENDRIK ,  HEMPENIUS PETER PAUL ,  VOS YOUSSEF KAREL MARIA DE ,  PEE JOOST DE ,  BEIJERS CLEMENTIUS ANDREAS JOHANNES ,  ROOZEN NICOLAAS BERNARDUS ,  BOOGAERT ERWIN ANTONIUS VAN DE ,  NIJHUIS MARCO HENDRIKUS HERMAN ,  DEBIESME FRANCOIS XAVIER

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL1036161A1

公开(公告)日：2009-05-25

申请号：NL1036161

申请日：2008-11-06

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUTLER HANS ,  WIJST MARC WILHELMUS MARIA VAN ,  PEE JOOST DE ,  HOON CORNELIUS ADRIANUS LAMBERTUS ,  BOSCHKER STIJN

IPC: H01L21/68 ,  G03F9/00

公开(公告)号：NL1036160A1

公开(公告)日：2009-05-25

申请号：NL1036160

申请日：2008-11-06

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUTLER HANS ,  WIJST MARC WILHELMUS MARIA VAN ,  PEE JOOST DE ,  HOON CORNELIUS ADRIANUS LAMBERTUS ,  BOSCHKER STIJN

IPC: G03F9/00 ,  H01L21/68