公开(公告)号：NL2014008A

公开(公告)日：2015-07-20

申请号：NL2014008

申请日：2014-12-18

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUTLER HANS ,  HOON CORNELIUS ADRIANUS LAMBERTUS ,  KERP INGMAR AUGUST ,  MEIJERS PIETER JOHANNES GERTRUDIS ,  OOMS WESLEY ,  STARREVELD JEROEN PIETER ,  HOOPEN DERK ,  DUIJNHOVEN MARTINUS ,  HAGE EDWARD ,  DRAAIJER EVERT HENDRIK JAN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

公开(公告)号：NL2005735A

公开(公告)日：2011-06-27

申请号：NL2005735

申请日：2010-11-22

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUTLER HANS ,  VERMEULEN JOHANNES ,  WIJST MARC ,  STARREVELD JEROEN ,  HOON CORNELIUS ADRIANUS LAMBERTUS ,  DEBIESME FRANCOIS

IPC: G03F7/00

公开(公告)号：NL1036161A1

公开(公告)日：2009-05-25

申请号：NL1036161

申请日：2008-11-06

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUTLER HANS ,  WIJST MARC WILHELMUS MARIA VAN ,  PEE JOOST DE ,  HOON CORNELIUS ADRIANUS LAMBERTUS ,  BOSCHKER STIJN

IPC: H01L21/68 ,  G03F9/00

公开(公告)号：NL2013666A

公开(公告)日：2015-04-30

申请号：NL2013666

申请日：2014-10-22

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUTLER HANS ,  HOON CORNELIUS ADRIANUS LAMBERTUS ,  WIJST MARC WILHELMUS MARIA ,  VERHEES THIJS ,  KERSSEMAKERS SANDER

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL1036160A1

公开(公告)日：2009-05-25

申请号：NL1036160

申请日：2008-11-06

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUTLER HANS ,  WIJST MARC WILHELMUS MARIA VAN ,  PEE JOOST DE ,  HOON CORNELIUS ADRIANUS LAMBERTUS ,  BOSCHKER STIJN

IPC: G03F9/00 ,  H01L21/68