公开(公告)号：NL2010306A

公开(公告)日：2013-04-09

申请号：NL2010306

申请日：2013-02-15

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： WIJCKMANS MAURICE ,  TEGENBOSCH HENRICUS ,  SWINKELS GERARDUS

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00

公开(公告)号：NL2003207A1

公开(公告)日：2010-01-22

申请号：NL2003207

申请日：2009-07-16

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： TEGENBOSCH HENRICUS ,  STRUYCKEN ALEXANDER ,  KLEIJN JACOB ,  BEERENS RUUD ,  VANDERH IVO

IPC: G03F7/20 ,  G02B7/04