公开(公告)号：WO2015004567A3

公开(公告)日：2015-05-14

申请号：PCT/IB2014062747

申请日：2014-07-01

Applicant: BASF SE ,  BASF CHINA CO LTD

Inventor： REICHARDT ROBERT ,  KALLER MARTIN ,  LAUTER MICHAEL ,  LI YUZHUO ,  KLIPP ANDREAS

IPC: C09G1/02 ,  C09G1/00 ,  C09G1/04 ,  H01L21/02 ,  H01L21/321

CPC classification number: C09K3/1463 ,  C09G1/02 ,  H01L21/3212

Abstract: A chemical-mechanical polishing (CMP) composition is provided comprising (A) one or more compounds selected from the group of benzotriazole derivatives which act as corrosion inhibitors and (B) inorganic particles, organic particles, or a composite or mixture thereof. The invention also relates to the use of certain compounds selected from the group of benzotriazole derivatives as corrosion inhibitors, especially for increasing the selectivity of a chemical mechanical polishing (CMP) composition for the removal of tantalum or tantalum nitride from a substrate for the manufacture of a semiconductor device in the presence of copper on said substrate.

Abstract translation: 提供化学机械抛光（CMP）组合物，其包含（A）一种或多种选自作为防腐剂的苯并三唑衍生物的化合物和（B）无机颗粒，有机颗粒或其复合物或混合物。 本发明还涉及使用选自苯并三唑衍生物的某些化合物作为缓蚀剂，特别是用于提高化学机械抛光（CMP）组合物从用于制造钽酸铅的基材中除去钽或氮化钽的选择性 在所述衬底上存在铜的半导体器件。

公开(公告)号：EP3019569A4

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：EP14823844

申请日：2014-07-01

Applicant: BASF SE

Inventor： REICHARDT ROBERT ,  KALLER MARTIN ,  LAUTER MICHAEL ,  LI YUZHUO ,  KLIPP ANDREAS

IPC: C09G1/02 ,  C09G1/00 ,  C09G1/04 ,  H01L21/02 ,  H01L21/321

CPC classification number: C09K3/1463 ,  C09G1/02 ,  H01L21/3212

Abstract: A chemical-mechanical polishing (CMP) composition is provided comprising (A) one or more compounds selected from the group of benzotriazole derivatives which act as corrosion inhibitors and (B) inorganic particles, organic particles, or a composite or mixture thereof. The invention also relates to the use of certain compounds selected from the group of benzotriazole derivatives as corrosion inhibitors, especially for increasing the selectivity of a chemical mechanical polishing (CMP) composition for the removal of tantalum or tantalum nitride from a substrate for the manufacture of a semiconductor device in the presence of copper on said substrate.

Abstract translation: 提供化学机械抛光（CMP）组合物，其包含（A）一种或多种选自苯并三唑衍生物（用作腐蚀抑制剂）和（B）无机颗粒，有机颗粒或其复合物或混合物的化合物。 本发明还涉及选自苯并三唑衍生物的某些化合物作为腐蚀抑制剂的用途，尤其是用于提高化学机械抛光（CMP）组合物用于从基底去除钽或氮化钽的选择性，用于制造 在所述衬底上存在铜的情况下的半导体器件。

公开(公告)号：AU2018219660B2

公开(公告)日：2022-11-24

申请号：AU2018219660

申请日：2018-02-09

Applicant: BASF SE

Inventor： FLECKENSTEIN CHRISTOPH ,  BARO JUERGEN ,  BECK ERICH ,  KALLER MARTIN ,  MISSKE ANDREA ,  FLEISCHHAKER FRIEDERIKE

IPC: C09D11/101 ,  B41M7/00 ,  C09D4/00 ,  C09D11/30

Abstract: The invention relates to compositions, comprising a) 1.00 to 65.00% by weight of at least one compound of formula (I), wherein R

公开(公告)号：ES2926235T3

公开(公告)日：2022-10-24

申请号：ES18703337

申请日：2018-02-09

Applicant: BASF SE

Inventor： FLECKENSTEIN CHRISTOPH ,  BARO JUERGEN ,  BECK ERICH ,  KALLER MARTIN ,  MISSKE ANDREA ,  FLEISCHHAKER FRIEDERIKE

IPC: C09D11/101 ,  B41M7/00 ,  C09D4/00 ,  C09D11/30

Abstract: La invención se refiere a composiciones que comprenden. a) del 1,00 al 65,00 % en peso de al menos un compuesto de fórmula (I), en la que R1, R2, R3, R4 son cada uno independientemente H, alquilo C1-C6, alcoxi C1-C6 o alcoxi C1-C6 -alquilo C1-C6; R es H o alquilo C1-C6; X es CR6R7, O o NR8; R6R7 son cada uno independientemente H, alquilo C1-C6, alcoxi C1-C6 o alcoxi C1-C6-alquilo C1-C6; R8 es H, alquilo C1-C6 o alcoxi C1-C6-alquilo C1-C6; k es 1, 2, 3, 4 ó 5, como componente A; b) 1,00 a 60,00% en peso de al menos un monómero que tiene dos grupos (met)acrilato y que tiene un peso molecular de no más de 500 Dalton, como componente B; c) 0 a 25% en peso de al menos un monómero que tiene al menos tres grupos (met)acrilato y que tiene un peso molecular de no más de 600 Dalton, como componente C; yd) 1,00 a 30,00% en peso de al menos un polímero que tiene al menos dos grupos (met)acrilato y que tiene un peso molecular de al menos 700 Dalton, como componente D; con la condición de que la cantidad de componentes A + B sea al menos del 50% en peso, así como el uso de estas composiciones como tintas de impresión, en particular tintas de impresión por chorro de tinta. (Traducción automática con Google Translate, sin valor legal)

公开(公告)号：ES2847651T3

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：ES16706350

申请日：2016-02-24

Applicant: BASF SE

Inventor： MISSKE ANDREA ,  FLEISCHHAKER FRIEDERIKE ,  FLECKENSTEIN CHRISTOPH ,  KALLER MARTIN ,  NAIR RITESH ,  STENGEL ULRIK ,  BLANCHOT MATHIEU

IPC: C09J4/00

Abstract: Procedimiento para producir di(met)acrilato de isosorbida mediante la transesterificacion de (met)acrilato de alquilo con isosorbida, el cual comprende las etapas: (i) se hace reaccionar (met)acrilato de alquilo con isosorbida en presencia de un catalizador que contiene titanio(IV) o circonio (IV) y de un estabilizador en presencia de un agente de arrastre, que forma un azeotropo con el alcohol fijado en el (met)acrilato de alquilo, (ii) destilacion continua del azeotropo formado por el agente de arrastre y el alcohol, donde las etapas (i) e (ii) se realizan al mismo tiempo, hasta que la isosorbida esencialmente haya reaccionado por completo, (iii) adicion de agua a la mezcla de productos obtenida en las etapas (i) y (ii), que contiene (met)acrilato de isosorbida, y separacion del hidrolisato del catalizador que contiene titanio(IV) o circonio(IV), (iv) destilacion de (met)acrilato de alquilo que no haya reaccionado y agente de arrastre desde la mezcla de productos, (v) destilacion de agua desde la mezcla de productos, donde la etapa (iv) tambien puede realizarse antes de la etapa (iii), y las etapas (iv) y (v) tambien pueden realizarse en una etapa de destilacion.

公开(公告)号：ES2759099T3

公开(公告)日：2020-05-07

申请号：ES14793073

申请日：2014-10-30

Applicant: BASF SE

Inventor： KALLER MARTIN ,  KOCH MICHAEL ,  BREITSCHEIDEL BORIS

IPC: C07C67/08 ,  C07C69/80 ,  C07C69/82 ,  C08K5/12

Abstract: Procedimiento para la preparación de ésteres de ácidos carboxílicos, en el cual en un sistema de reacción que consiste en uno o varios reactores se hace reaccionar una mezcla de reacción, que comprende al menos un ácido carboxílico y/o al menos un anhídrido de ácido carboxílico y al menos un alcohol R1-OH y/o al menos un alcohol R2- [O-X]n-OH, en el que R1 es elegido de entre radicales alquilo C5-C13 ramificados y no ramificados y radicales cicloalquilo C5-C6, en donde los radicales cicloalquilo están sin sustituir o pueden estar sustituidos por al menos un radical alquilo C1-C10, R2 es elegido de entre radicales alquilo C1-C13 no ramificados y radicales alquilo C3-C13 ramificados, X representa un grupo alquileno C2-C5 no ramificado o grupos alquileno C3-C5 ramificados y n exhibe los valores 1, 2 o 3, teniendo como condición que la reacción ocurre - en presencia de al menos un catalizador que es elegido de entre ácido metanosulfónico, en donde el ácido metanosulfónico exhibe un contenido de sulfato de como máximo 50 ppm, - con alimentación al sistema de reacción, de un gas inerte bajo las condiciones de reacción, - a una temperatura de la mezcla de reacción de 125 °C a 240 °C y - bajo separación por destilación de al menos una parte del agua formada durante la reacción, en forma de una mezcla azeotrópica con el alcohol R1-OH y/o R2-[O-X]n-OH usado, en donde el alcohol R1-OH y/o R2-[O-X]n-OH separado por destilación es retornado por lo menos parcialmente al sistema de reacción.

公开(公告)号：SG11202001031QA

公开(公告)日：2020-03-30

申请号：SG11202001031Q

申请日：2018-08-16

Applicant: BASF SE

Inventor： BLANCHOT MATHIEU ,  MEISENBURG UWE ,  MAURER STEFFEN ,  PETZOLDT JOCHEN ,  HOEFENER TOBIAS ,  BREITSCHEIDEL BORIS ,  MISSKE ANDREA ,  FLEISCHHAKER FRIEDERIKE ,  KALLER MARTIN ,  FLECKENSTEIN CHRISTOPH ,  STENGEL ULRIK ,  NAIR RITESH

IPC: C07D317/36

Abstract: A process for preparing an ester of (meth)acrylic acid or a derivative thereof comprises reacting (meth)acrylic acid or a derivative thereof with glycerol carbonate at a reaction temperature of 10 to 150° C. without a solvent in the presence of at least one enzyme catalyzing the esterification reaction.

公开(公告)号：AU2018316502A1

公开(公告)日：2020-02-27

申请号：AU2018316502

申请日：2018-08-16

Applicant: BASF SE

Inventor： BLANCHOT MATHIEU ,  MEISENBURG UWE ,  MAURER STEFFEN ,  PETZOLDT JOCHEN ,  HOEFENER TOBIAS ,  BREITSCHEIDEL BORIS ,  MISSKE ANDREA ,  FLEISCHHAKER FRIEDERIKE ,  KALLER MARTIN ,  FLECKENSTEIN CHRISTOPH ,  STENGEL ULRIK ,  NAIR RITESH

IPC: C07D317/36

Abstract: Process for producing esters of (meth)acrylic acid or a derivative thereof by reaction of (meth)acrylic acid or a derivative thereof with glycerol carbonate in the presence of at least one enzyme which catalyzes the esterification reaction, in the absence of a solvent and at a reaction temperature of 10°C to 150°C.

公开(公告)号：ES2724982T3

公开(公告)日：2019-09-18

申请号：ES15766173

申请日：2015-09-21

Applicant: BASF SE

Inventor： SCHRAUT ARMIN ,  KALLER MARTIN ,  BRONNEBERG ROB ,  STAMMER JASMIN ,  DAS MARTIN ,  HARNISCHMACHER GERRIT

IPC: C07C67/08

Abstract: Procedimiento para la producción de un diéster del ácido tereftálico mediante la reacción de ácido tereftálico con al menos un alcohol, en el cual a) se suspende en el alcohol ácido tereftálico en una cubeta de dispersión, obteniéndose una suspensión previa, b) se conduce la suspensión previa desde la cubeta de dispersión a un reactor y se hace reaccionar en presencia de un catalizador de esterificación, y c) se destila agua de reacción como azeótropo de alcohol-agua con los vapores desprendidos, se condensan al menos parcialmente los vapores desprendidos, se separa el condensado en una fase acuosa y una fase orgánica, se deshidrata la fase orgánica y se conduce la fase orgánica deshidratada al menos parcialmente a la cubeta de dispersión, y el alcohol se selecciona entre monooles C8 a C14 lineales, ramificados o cíclicos, o monooles aromáticos.

公开(公告)号：ES2724981T3

公开(公告)日：2019-09-18

申请号：ES15766172

申请日：2015-09-21

Applicant: BASF SE

Inventor： SCHRAUT ARMIN ,  KALLER MARTIN ,  BRONNEBERG ROB ,  STAMMER JASMIN ,  DAS MARTIN ,  HARNISCHMACHER GERRIT

IPC: C07C67/08 ,  C07C69/82

Abstract: Procedimiento para la preparación de un diéster de ácido tereftálico mediante reacción de ácido tereftálico con al menos un alcohol, en el que a) se suspende ácido tereftálico en un recipiente de dispersión en el alcohol, obteniéndose una suspensión previa, b) la suspensión previa se conduce desde el recipiente de dispersión hacia un reactor y se hace reaccionar en presencia de un catalizador de esterificación, c) una suspensión de reacción se retira de una zona situada entre la zona superior y la zona inferior del reactor, la suspensión de reacción retirada se divide, un primer flujo de la suspensión de reacción se reconduce a la zona superior del reactor y un segundo flujo de la suspensión de reacción se introduce en la zona inferior del reactor y mezcla así la suspensión de reacción, d) en el que se conduce el flujo retirado y/o el primer flujo por un intercambiador de calor situado fuera del reactor y se calienta; y e) se separa por destilación agua de reacción como azeótropo de alcohol-agua con los vapores, se condensan los vapores al menos parcialmente, el condensado se separa en una fase acuosa y una fase orgánica y se reconduce la fase orgánica al menos parcialmente en el sistema de reacción.