公开(公告)号：WO2006032335A8

公开(公告)日：2006-05-18

申请号：PCT/EP2005008964

申请日：2005-08-18

Applicant: EPCOS AG ,  HAUSER MARKUS ,  KNAUER ULRICH ,  LEIDL ANTON ,  RIHA EVELYN ,  RIHA GERD ,  ROESLER ULRIKE ,  RUILE WERNER ,  RUPPEL CLEMENS ,  SCHOLL GERD ,  WOLFF ULRICH

Inventor： HAUSER MARKUS ,  KNAUER ULRICH ,  LEIDL ANTON ,  RIHA EVELYN ,  RIHA GERD ,  ROESLER ULRIKE ,  RUILE WERNER ,  RUPPEL CLEMENS ,  SCHOLL GERD ,  WOLFF ULRICH

IPC: H03H3/10 ,  H03H9/02 ,  H03H9/08

CPC classification number: H03H9/08 ,  H03H3/10 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/02984

Abstract: The invention relates to a component which functions with the aid of acoustic waves, and which combines various measures in order to lower the temperature path, in particular the resonance frequency. Said component comprises a piezoelectric substrate (PS) having a relatively thin thickness (dp) in the region of 5 50 times the wave length capable of expanding in the material. Electrically conductive component structures (BES) are provided on the top surface and on the lower side, a compensation layer (Ks) is mechanically connected to the substrate such that mechanical deformation occurs, or that a deformation is produced in the event of a change in temperature. A Si0 2 layer having a thickness of 5 20 % of the acoustic waves capable of expanding therein is arranged over the component structures (BES).

Abstract translation: 所以建议利用声波工作，它结合了各种措施，以降低在特定的谐振频率的温度响应。 该装置包括具有从5至50倍，在材料的波长中传播的范围内的相对小的厚度（DP）的压电基片（PS）。 在顶部导电部件结构是设置在底机械牢固地与基板，补偿层（KS）连接，该机械应力被创建，或当温度变化时，一个应力积聚（BES）。 关于组件结构（BES）在其繁殖轴的厚度的声学的5〜20％由SiO _{2 布置层。}

公开(公告)号：DE10309250B4

公开(公告)日：2015-10-22

申请号：DE10309250

申请日：2003-03-03

Applicant: EPCOS AG

Inventor： RÖSLER ULRIKE DR ,  HAUSER MARKUS ,  RUILE WERNER DR

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/02 ,  H03H9/25 ,  H03H9/64

Abstract: Elektroakustischer Wandler für ein mit Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement, enthaltend – eine erste Elektrode, die an einer ersten Stromschiene (3) angeschlossene Finger (3b) aufweist, – eine zweite Elektrode, die an einer zweiten Stromschiene (13) angeschlossene Finger (13b) aufweist, – wobei die Finger der ersten und der zweiten Elektrode ineinander greifen, – wobei freie Enden der Finger jeweils an ein Gap (4, 14) grenzen, – wobei eine akustische Welle der Wellenlänge λ anregbar ist, die einerseits ein longitudinales und ein transversales Anregungsprofil und andererseits ein longitudinales und ein transversales Energiedichteprofil aufweist, – wobei die transversale Position der in der Nähe der jeweiligen Stromschiene (3, 13) angeordneten Gaps (4, 14) zur Einstellung des transversalen Anregungsprofils über die verschiedenen Gaps variiert, – wobei das longitudinale Anregungsprofil konstant ist und nach außen hin vom longitudinalen Energiedichteprofil abweicht, – wobei die Finger in longitudinaler Richtung in mehrere Fingergruppen (G1, G2) aufgeteilt sind, die jeweils ein Muster bezüglich der Anordnung der transversalen Positionen ihrer Gaps aufweisen, – wobei die relative transversale Position der Mitten der in der Nähe der jeweiligen Stromschiene (3, 13) angeordneten Gaps (4, 14) in einer Fingergruppe (G1, G2) eine Anzahl M von unterschiedlichen Werten aufweist, wobei gilt: M ≥ 3, – wobei das transversale Anregungsprofil und das transversale Energiedichteprofil übereinstimmen – wobei zur Reduktion der Anregungsstärke zur Einstellung des transversalen Anregungsprofils in den Gaps (4, 14) jeweils zumindest eine floatende Metallstruktur (2, 2a, 2b) angeordnet ist.

公开(公告)号：DE102007012382A1

公开(公告)日：2008-09-18

申请号：DE102007012382

申请日：2007-03-14

Applicant: EPCOS AG

Inventor： RUILE WERNER ,  ROESLER ULRIKE ,  HAUSER MARKUS

IPC: H03H9/17

公开(公告)号：DE102005029249A1

公开(公告)日：2006-12-28

申请号：DE102005029249

申请日：2005-06-23

Applicant: EPCOS AG

Inventor： RUILE WERNER ,  HAUSER MARKUS ,  ROESLER ULRIKE

IPC: H03H9/25

Abstract: SAW structure comprises a serial signal path arranged between an input gate and an output gate, a serial resonator (R) arranged in a serial branch and having a converter with partial electrodes (TE1, TE2) having regularly arranged electrode fingers (EF). A stub finger (SF) is assigned to each electrode finger of a partial electrode on opposite-lying electrodes. The stub fingers are separated by a gap (G). Preferred Features: A parallel resonator is arranged in the path which branches from the signal path. Neighboring stub fingers are short circuited using a short circuit structure.

公开(公告)号：DE10302633A1

公开(公告)日：2004-07-29

申请号：DE10302633

申请日：2003-01-23

Applicant: EPCOS AG

Inventor： HAUSER MARKUS ,  RUILE WERNER ,  WOLFF ULRICH ,  ROESLER ULRIKE ,  KNAUER ULRICH ,  LEIDL ANTON ,  SCHOLL GERD

IPC: H03H3/10 ,  H03H9/02 ,  H03H9/145 ,  H03H9/64 ,  H03H9/72

Abstract: A SAW component comprises a piezoelectric substrate (S), a converter electrode arranged on the substrate and having a metallization (M) consisting of one or more metals having an average specific density of at least 50 % above that of aluminum, and a thin compensation layer (K) of a material with a temperature dependency of the elastic coefficient which interacts with the temperature path of the substrate. The compensation layer partially or completely reduces the temperature path over the metallization.

公开(公告)号：DE102008033704A1

公开(公告)日：2010-02-04

申请号：DE102008033704

申请日：2008-07-18

Applicant: EPCOS AG

Inventor： ROESLER ULRIKE ,  HAUSER MARKUS

IPC: H03H9/145 ,  H01L41/047 ,  H03H9/25

公开(公告)号：DE102005027457A1

公开(公告)日：2006-12-28

申请号：DE102005027457

申请日：2005-06-14

Applicant: EPCOS AG

Inventor： RIHA GERD ,  RUILE WERNER ,  HAUSER MARKUS ,  MEISTER VEIT

IPC: H03H9/25 ,  H03H9/15

Abstract: Component has a substrate, which has a piezoelectric layer and has a electrically conducting structure for generating, guiding or reflecting of acoustic waves in the piezoelectric layer. The relative geometrical arrangement of the electrically conductive structure is alterable opposite to the piezoelectric layer. An independent claim is also included for the method for frequency adjustment of a SAW, BAW or GBAW components.

公开(公告)号：DE102009032840A1

公开(公告)日：2011-02-03

申请号：DE102009032840

申请日：2009-07-13

Applicant: EPCOS AG

Inventor： THOMAS RALF ,  KUBAT FRANZ DR ,  DETLEFSEN ANDREAS ,  HAUSER MARKUS

IPC: H03H9/25 ,  H03H9/64

Abstract: Es wird eine SAW-Filterschaltung mit verbesserter ESD-Festigkeit angegeben, in der eine Serienverschaltung aus SAW-Resonatoren zwischen einem ersten Signalport und einem DMS-Port verschaltet ist, wobei die statische Kapazität der Serienverschaltung maximal das Vierfache der statischen Kapazität der damit verschalteten DMS-Wandler beträgt.

公开(公告)号：DE102007012383A1

公开(公告)日：2008-09-18

申请号：DE102007012383

申请日：2007-03-14

Applicant: EPCOS AG

Inventor： RUILE WERNER ,  HAUSER MARKUS ,  ROESLER ULRIKE

IPC: H03H9/17

Abstract: A component working with guided bulk acoustic waves is disclosed with at least one substrate and a layer system that is connected to this substrate and suitable for wave propagation. The layer system includes a metallization layer, a first dielectric layer, and a second dielectric layer. The velocity of the acoustic wave is greater in the second dielectric layer than in the first dielectric layer. At least one of the dielectric layers contains TeO2.

公开(公告)号：DE10309250A1

公开(公告)日：2004-09-16

申请号：DE10309250

申请日：2003-03-03

Applicant: EPCOS AG

Inventor： ROESLER ULRIKE ,  HAUSER MARKUS ,  RUILE WERNER

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/145 ,  H03H9/25 ,  H03H9/64