公开(公告)号：CN104952679A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510132049.7

申请日：2015-03-25

Applicant: FEI公司

Inventor： P.波托塞克 ,  C.S.库伊曼 ,  H.N.斯林格兰德 ,  G.N.A.范维恩 ,  F.博霍贝 ,  J.S.发伯 ,  A.A.S.斯鲁特曼

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/30 ,  G01N23/22 ,  G01N21/63

CPC classification number: H01J37/261 ,  G01N21/6458 ,  G01N23/225 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/427 ,  G02B21/0016 ,  H01J37/06 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2447 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2602

Abstract: 用多个射束和多个检测器对样本成像。一种用于用大量聚焦射束来检查或处理样本的多射束装置，该装置被装配成在样本上扫描大量的N个射束，该装置装配有用于检测在所述样本被大量射束照射时由样本发射的二次辐射的大量的M个检测器，检测器中的每个能够输出表示由检测器检测的二次辐射的强度的检测器信号，在工作中，每个检测器信号包括由多个射束引起的信息，由一个射束引起的信息因此遍布多个检测器，该装置装配有可编程控制器，其用于使用加权因数来将大量的检测器信号处理成大量输出信号，使得每个输出信号表示由单个射束引起的信息，其特征在于加权因数是取决于射束相对于检测器的扫描位置以及样本与检测器之间的距离的动态加权因数。