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公开(公告)号：CN105717078A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510959643.3
申请日：2015-12-21
Applicant: FEI公司
IPC: G01N21/64 , G01N23/223
CPC classification number: H01J37/222 , G01N21/6428 , G01N21/6456 , G01N21/6458 , G01N21/6486 , G01N2021/6439 , G02B21/0032 , G02B21/0076 , G02B21/008 , G02B21/16 , G02B21/365 , H01J37/26 , H01J2237/221 , H01J2237/24578 , H01J2237/2611 , G01N23/223
Abstract: 本发明涉及基于基准点的相关显微术。提供了一种用于制备用于相关的光学和电子成像的样本以及校正在图像处理过程中由于样本变形而引起的像差的方法。涂有染料的基准标记遍及样本体积而分布。基准标记优选地以聚苯乙烯纳米球体的形式，该聚苯乙烯纳米球体在其表面上被功能化以及随后用荧光染料来处理。该染料并不渗入球体而是仅绑定到表面。通过将染料限制到纳米球体的表面上，在iPALM图像中以及在带电粒子图像中可以确定球体的形状，从而帮助追踪可能对样本体积发生的物理变化。
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公开(公告)号：CN102812533A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201180016692.3
申请日：2011-04-07
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/06 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/3056 , H01J2237/2815 , H01J2237/2855 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
Abstract: 一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。
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公开(公告)号：CN105390358A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510738998.X
申请日：2011-04-07
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/305
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/3056 , H01J2237/2815 , H01J2237/2855 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
Abstract: 一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。
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公开(公告)号：CN102543639A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110349835.4
申请日：2011-11-08
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/02
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/244 , H01J2237/024 , H01J2237/2001 , H01J2237/2003 , H01J2237/2445
Abstract: 本发明涉及用于带电粒子束系统的环境单元。一种用于带电粒子束系统的环境单元允许安装在X-Y镜台上的单元与聚焦镜筒的光轴之间的相对运动，从而消除了对单元内的子镜台的需要。诸如可缩回盖的柔性单元配置允许多种过程，包括束致和热致过程。在带电粒子束系统中且使用光电子的气体级联放大执行的光子产额光谱术允许分析单元中的材料并监视单元中的处理。还可以使用可缩回反射镜来执行发光分析。
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公开(公告)号：CN105321787A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510365464.7
申请日：2015-06-29
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/02
CPC classification number: H01J37/12 , H01J37/228 , H01J2237/006 , H01J2237/31749
Abstract: 带电粒子透镜中的集成光学件和气体输送。一种用于将光或气体或两者指引到离带电粒子束柱的下端约2mm内安置的样品的方法和装置。该带电粒子束柱组件包括定义样品保持位置的平台，并且具有每个包括一组电极的一组静电透镜。该组件包括最后静电透镜，其包括最接近于样品保持位置的最后电极。此最后电极定义至少一个内部通路，其具有接近于且指向样品保持位置的终点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102149510B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN200980135212.8
申请日：2009-07-09
Applicant: FEI公司
IPC: B23K26/36 , B23K26/362 , B23K26/60 , G01N23/225 , G01N23/00
CPC classification number: B23K26/03 , B23K26/0622 , B23K26/0853 , B23K26/14 , B23K26/1423 , B23K26/348 , H01J2237/2813
Abstract: 带电粒子束和激光束被一起用于对基底进行微加工。第一射束改变工件的区域的状态，并且第二射束去除状态被改变的材料。在一个实施例中，离子束可以产生光子吸收缺陷以降低局部烧蚀阈值，从而允许激光束去除由离子束限定的区域中的材料。激光束和带电粒子束的组合允许以由于由激光束提供的增加的能量而比带电粒子处理更大的铣削速率产生在尺寸上与带电粒子束斑点尺寸相似的特征。
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公开(公告)号：CN103668109A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310385527.6
申请日：2013-08-30
Applicant: FEI公司
CPC classification number: C23C16/0281 , C23C16/047 , C23C16/18
Abstract: 一种在基底表面上以第一靶图案生成靶沉积材料层的方法。将该基底表面放置在真空中并且将其暴露于具有用于一种晶种沉积材料的前体分子的第一化学蒸气中，由此形成已经吸附了这些前体分子的第一基底表面区域。然后，将一个带电粒子束以第二靶图案应用于第一基底表面区域上，该第二靶图案大体上与第一靶图案相同，由此以第三靶图案形成一个晶种层。将该晶种层暴露于具有靶沉积材料前体分子的第二化学蒸气中，这些前体分子被吸附至该晶种层上。最后，将一个激光束应用于该晶种层和邻近区域，由此在已经暴露于该激光束的该晶种层上以及其附近形成一个靶沉积材料层。
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公开(公告)号：CN102812533B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201180016692.3
申请日：2011-04-07
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/06 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/3056 , H01J2237/2815 , H01J2237/2855 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
Abstract: 一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。
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公开(公告)号：CN103681190A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310404108.2
申请日：2013-09-06
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/22 , H01J37/305
CPC classification number: H01J37/3045 , G21K5/00 , G21K5/08 , H01J37/226 , H01J37/228 , H01J37/3056 , H01J2237/1501 , H01J2237/28
Abstract: 一种用于将激光束对准成与带电粒子束重合的方法和装置。所述发明提供了一种用于对准激光束穿过物镜的中心并最终瞄准多束系统的共心点的方法。该装置利用了定位于带电粒子系统的真空室内或外的激光束对准系统的部件。
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公开(公告)号：CN102149510A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200980135212.8
申请日：2009-07-09
Applicant: FEI公司
IPC: B23K26/36 , B23K26/42 , G01N23/225 , G01N23/00
CPC classification number: B23K26/03 , B23K26/0622 , B23K26/0853 , B23K26/14 , B23K26/1423 , B23K26/348 , H01J2237/2813
Abstract: 带电粒子束和激光束被一起用于对基底进行微加工。第一射束改变工件的区域的状态，并且第二射束去除状态被改变的材料。在一个实施例中，离子束可以产生光子吸收缺陷以降低局部烧蚀阈值，从而允许激光束去除由离子束限定的区域中的材料。激光束和带电粒子束的组合允许以由于由激光束提供的增加的能量而比带电粒子处理更大的铣削速率产生在尺寸上与带电粒子束斑点尺寸相似的特征。
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