Abstract:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a phase change memory element connected to the edge part of a thin film electrode, and to provide a method of manufacturing the same. SOLUTION: A phase change memory (PCM) cell structure includes a first electrode 60E, a phase change element 70E, and a second electrode 80E, wherein the phase change element 70E is inserted between the first electrode 60E and the second electrode 80E, and only an edge part 75 of the first electrode 60E is contacted with the phase change element 70E, thereby reducing a contact area between the phase change element 70E and the first electrode 60E to increase a current density flowing through the phase change element 70E and effectively cause a phase change by a first programming power by a comparatively small current. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
Abstract:
Einheit (400), aufweisend:eine erste Verbindungsstruktur (470);eine zweite Verbindungsstruktur (490);eine erste Zelle (C1), welche einen ersten Transistor (420-2; 420-3) aufweist;eine zweite Zelle (C2; C3), welche einen zweiten Transistor (420-1; 420-4) aufweist, wobei der erste und der zweite Transistor (420-2, 420-1; 420-3, 420-4) ein Gabelblatt-Feldeffekttransistor-Paar mit einer dielektrischen Wand (417) umfassen, die zwischen dem ersten und dem zweiten Transistor angeordnet ist, wobei eine Breite der dielektrischen Wand einen Abstand von Zelle zu Zelle zwischen der ersten und der zweiten Zelle definiert;einen ersten Kontakt (460; 461), welcher ein Source/Drain-Element (422; 424) des ersten Transistors mit der ersten Verbindungsstruktur verbindet; undeinen zweiten Kontakt (481; 482), welcher ein Source/Drain-Element (422; 424) des zweiten Transistors mit der zweiten Verbindungsstruktur verbindet;wobei die erste Zelle in Nachbarschaft zu der zweiten Zelle angeordnet ist, wobei der erste Transistor in Nachbarschaft zu dem zweiten Transistor angeordnet ist; undwobei die erste und die zweite Zelle zwischen der ersten und der zweiten Verbindungsstruktur angeordnet sind.