公开(公告)号：DE3267927D1

公开(公告)日：1986-01-23

申请号：DE3267927

申请日：1982-09-08

Applicant: IBM

Inventor： BERGENDAHL ALBERT STEPHEN ,  HAKEY MARK CHARLES ,  WILSON JOHN PAUL

IPC: G03F7/26 ,  G03F7/095 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/312 ,  H01L21/47

公开(公告)号：DE3371837D1

公开(公告)日：1987-07-02

申请号：DE3371837

申请日：1983-10-11

Applicant: IBM

Inventor： BADAMI DINESH ARVINDLAL ,  BERGENDAHL ALBERT STEPHEN ,  HAKEY MARK CHARLES

IPC: H01L21/76 ,  H01L21/265 ,  H01L21/31 ,  H01L21/762 ,  H01L29/06

公开(公告)号：DE3579879D1

公开(公告)日：1990-10-31

申请号：DE3579879

申请日：1985-07-23

Applicant: IBM

Inventor： BERGENDAHL ALBERT STEPHEN ,  CADE PAUL EDMAND ,  LUECKE FRANCIS STEPHEN ,  PETERSEN KURT EDWARD ,  GONNELLA NORMAN THOMAS

IPC: G11B7/26 ,  G11B23/00

公开(公告)号：DE3279615D1

公开(公告)日：1989-05-18

申请号：DE3279615

申请日：1982-11-10

Applicant: IBM

Inventor： BERGENDAHL ALBERT STEPHEN

IPC: H01L21/68 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66 ,  H01L23/544 ,  H01L23/54 ,  G03B41/00