Gesteuerte Silicium-Gleichrichter (SCR), Herstellungsverfahren und Entwicklungsstrukturen

    公开(公告)号:DE112012000233T5

    公开(公告)日:2013-11-28

    申请号:DE112012000233

    申请日:2012-01-06

    Applicant: IBM

    Abstract: Hierin werden gesteuerte Silicium-Gleichrichter (SCR), Herstellungsverfahren und Entwicklungsstrukturen offenbart. Das Verfahren weist das Bilden einer gemeinsamen P-Wanne (12) auf einer vergrabenen Isolatorschicht (28b) eines Silicium-auf-Isolator(SOI)-Wafers (28) auf. Das Verfahren weist ferner das Bilden einer Vielzahl von gesteuerten Silicium-Gleichrichtern (SCR) (10) in der gemeinsamen P-Wanne auf, so dass N+-Diffusionskathoden (20) von jedem aus der Vielzahl von SCRs durch die gemeinsame P-Wanne zusammengekoppelt sind.

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