Abstract:
Embodiments include a silicon-containing antireflective material including a silicon- containing base polymer, a non-polymeric silsesquioxane material, and a photoacid generator. The silicon-containing base polymer may contain chromophore moieties, transparent moieties, and reactive sites on an SiOx background, where x ranges from approximately 1 to approximately 2. Exemplary non-polymeric silsesquioxane materials include polyhedral oligomeric silsesquioxanes having acid labile side groups linked to hydrophilic groups Exemplary acid labile side groups may include tertiary alkyl carbonates, tertiary alkyl esters, tertiary alkyl ethers, acetals and ketals, Exemplary hydrophilic groups may include phenols, alcohols, carboxylic acids, amides, and sulfonamides. Embodiments further include lithographic structures including an organic anti-reflective layer, the above-described silicon-containing anti-reflective layer above the organic anti-reflective layer, and a photoresist layer above the above-described silicon-containing anti-reflective layer. Embodiments further include a method of forming a lithographic structure utilizing the above-described silicon-containing anti- reflective layer.
Abstract:
The present invention relates to a near-infrared (NIR) film composition for use in vertical alignment and correction in the patterning of integrated semiconductor wafers and a pattern forming method using the composition. The NIR absorbing film composition includes a NIR absorbing dye having a polymethine cation and a crosslinkable anion, a crosslinkable polymer and a crosslinking agent. The patterning forming method includes aligning and focusing a focal plane position of a photoresist layer by sensing near- infrared emissions reflected from a substrate containing the photoresist layer and a NIR absorbing layer formed from the NIR absorbing film composition under the photoresist layer. The NIR absorbing film composition and the pattern forming method are especially useful for forming material patterns on a semiconductor substrate having complex buried topography.
Abstract:
Antireflexmaterial, das aufweist:ein Silicium enthaltendes Basis-Polymer;ein Material aus einem nicht-polymeren Silsesquioxan; undeinen Photosäure-Generator (PAG),wobei das Material aus einem nicht-polymeren Silsesquioxan ein polyedrisches oligomeres Silsesquioxan (POSS) mit einer hydrophilen Seitengruppe aufweist, die mit einer säurelabilen Funktion geschützt ist, wobei das Antireflexmaterial 80-99 Gewichtsprozent des Silicium enthaltenden Basis-Polymers und 0.5-10 Gewichtsprozent des Materials aus einem nicht-polymeren Silsesquioxan aufweist.
Abstract:
Embodiments include a silicon-containing antireflective material including a silicon- containing base polymer, a non-polymeric silsesquioxane material, and a photoacid generator. The silicon-containing base polymer may contain chromophore moieties, transparent moieties, and reactive sites on an SiOx background, where x ranges from approximately 1 to approximately 2. Exemplary non-polymeric silsesquioxane materials include polyhedral oligomeric silsesquioxanes having acid labile side groups linked to hydrophilic groups Exemplary acid labile side groups may include tertiary alkyl carbonates, tertiary alkyl esters, tertiary alkyl ethers, acetals and ketals, Exemplary hydrophilic groups may include phenols, alcohols, carboxylic acids, amides, and sulfonamides. Embodiments further include lithographic structures including an organic anti-reflective layer, the above-described silicon-containing anti-reflective layer above the organic anti-reflective layer, and a photoresist layer above the above-described silicon-containing anti-reflective layer. Embodiments further include a method of forming a lithographic structure utilizing the above-described silicon-containing anti- reflective layer.
Abstract:
Ein Silizium enthaltendes, antireflektierendes Beschichtung-(SiARC, Silicon-containing Antireflective Coating-)Material wird auf einem Substrat aufgetragen. Das SiARC-Material, das ein Basispolymer enthält, kann ein Bor-Silikat-Polymer enthalten, das Silsesquioxan enthält. Es wird eine Ätzfolge verwendet, die eine erste Nassätzung aufweist, wobei eine basische Lösung verwendet wird, eine zweite Nassätzung, wobei eine saure Lösung verwendet wird, und eine dritte Nassätzung, wobei eine andere basisches Lösung verwendet wird. Die erste Nassätzung kann dazu verwendet werden, das Bor-Silikat-Polymer aufzubrechen, und die zweite Nassätzung kann das Basispolymermaterial entfernen, und die dritte Nassätzung kann das restliche Bor-Silikat-Polymer und andere Restmaterialien entfernen. Das SiARC-Material kann von einem Substrat mittels der Ätzfolge entfernt werden, und das Substrat kann zu Monitoring-Zwecken wiederverwendet werden.
Abstract:
Ein Verfahren zum Entfernen einer Silizium enthaltenden antireflektierenden Beschichtungs-(SiARC)-Schicht von einem Substrat, wobei das Verfahren aufweist: Ausbilden einer SiARC-Schicht auf dem Substrat; Behandeln der SiARC-Schicht mit einer ersten Nassätzung, wobei eine erste basische Lösung verwendet wird; Behandeln der SiARC-Schicht mit einer zweien Nassätzung, wobei eine saure Lösung verwendet wird; und Entfernen von Restbereichen der SiARC-Schicht mit einer dritten Nassätzung, wobei eine zweite basische Lösung verwendet wird.
Abstract:
Ausführungsformen beinhalten ein Silicium enthaltendes Antireflexmaterial, das ein Silicium enthaltendes Basis-Polymer, ein Material aus einem nicht-polymeren Silsesquioxan sowie einen Photosäure-Generator beinhaltet. Das Silicium enthaltende Basis-Polymer kann chromophore Anteile, transparente Anteile sowie reaktive Stellen auf einem SiOx-Hintergrund enthalten, wobei x in einem Bereich von ungefähr 1 bis ungefähr 2 liegt. Exemplarische Materialien aus einem nicht-polymeren Silsesquioxan beinhalten polyedrische oligomere Silsesquioxane mit säurelabilen Seitengruppen, die mit hydrophilen Gruppen verbunden sind. Exemplarische säurelabile Seitengruppen können tertiäre Alkylcarbonate, tertiäre Alkylester, tertiäre Alkylether, Acetale und Ketale beinhalten. Exemplarische hydrophile Gruppen können Phenole, Alkohole, Carboxylsäuren, Amide sowie Sulfonamide beinhalten. Ausführungsformen beinhalten des Weiteren lithographische Strukturen, die eine organische Antireflexschicht, die vorstehend beschriebene, Silicium enthaltende Antireflexschicht über der organischen Antireflexschicht sowie eine Photoresistschicht über der vorstehend beschriebenen, Silicium enthaltenden Antireflexschicht beinhalten. Ausführungsformen beinhalten des Weiteren ein Verfahren zum Bilden einer lithographischen Struktur, das die vorstehend beschriebene, Silicium enthaltende Antireflexschicht verwendet.
Abstract:
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine nahinfrarot(NIR)-Dünnschichtzusammensetzung zur Verwendung bei einer vertikalen Ausrichtung und Korrektur in der Strukturierung von integrierten Halbleiter-Wafern und auf ein Strukturierungsausbildungsverfahren unter Verwendung der Zusammensetzung. Die NIR-absorbierende Dünnschichtzusammensetzung beinhaltet einen NIR-absorbierenden Farbstoff, der ein Polymethinkation und ein vernetzbares Anion aufweist, ein vernetzbares Polymer und ein Vernetzungsmittel. Das Strukturierungsausbildungsverfahren beinhaltet ein Ausrichten und Fokussieren einer Fokalebenenposition einer Photolackschicht durch Erfassen von Nahinfrarotemissionen, die von einem Substrat reflektiert werden, das die Photolackschicht und eine NIR-absorbierende Schicht enthält, die aus der NIR-absorbierenden Dünnschichtzusammensetzung unter der Photolackschicht ausgebildet ist. Die NIR-absorbierende Dünnschichtzusammensetzung und das Strukturierungsausbildungsverfahren sind besonders nützlich zum Ausbilden von Materialstrukturen auf einem Halbleitersubstrat mit einer komplexen vergrabenen Topographie.