公开(公告)号：DE68920944D1

公开(公告)日：1995-03-16

申请号：DE68920944

申请日：1989-08-24

Applicant: IBM

Inventor： BICKFORD HARRY RANDALL ,  BREGMAN MARK FIELDING ,  CIPOLLA THOMAS MARIO ,  GOW JOHN ,  LEDERMANN PETER GERARD ,  MIERSCH EKKEHARD FRITZ ,  OLSON LEONARD THEODORE ,  PAGNINI DAVID PETER ,  REILEY TIMOTHY CLARK ,  TSOU UH-PO ERIC ,  VILKELIS WALTER VALERIAN

IPC: H01L21/60 ,  H01L23/495 ,  H01L23/498 ,  H01L23/64

公开(公告)号：DE68920944T2

公开(公告)日：1995-08-10

申请号：DE68920944

申请日：1989-08-24

Applicant: IBM

Inventor： BICKFORD HARRY RANDALL ,  BREGMAN MARK FIELDING ,  CIPOLLA THOMAS MARIO ,  GOW JOHN ,  LEDERMANN PETER GERARD ,  MIERSCH EKKEHARD FRITZ ,  OLSON LEONARD THEODORE ,  PAGNINI DAVID PETER ,  REILEY TIMOTHY CLARK ,  TSOU UH-PO ERIC ,  VILKELIS WALTER VALERIAN

IPC: H01L21/60 ,  H01L23/495 ,  H01L23/498 ,  H01L23/64